【技術】世界最微細29.9ナノの半導体、米IBMが技術開発

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1未来科学へむちょりん記者φ ★
米IBMは20日、半導体内部の回路線幅を世界最小の29.9ナノメートル(ナノは10億分の1)に
抑える超微細加工技術を開発したと発表した。実用化できれば、デジタル家電などに内蔵される
LSI(大規模集積回路)などの半導体チップをさらに小型化でき、大幅なコスト削減や消費電力の
低下も期待できる。現在、量産レベルでは65ナノ製品が最小で、各社は45ナノ製品の量産技術
の開発を競っている。

半導体の微細加工では、シリコンウエハー基板の上にレーザー光を照射し、
回路図を焼き付けるのが一般的。このレーザー光の屈折率が高いほど細かく加工できるため、
通常はレンズや液体を通過させ、屈折率を高める。
IBMは、レンズや液体の組み合わせを調整して屈折率を高め、超微細加工を実現した。

半導体業界では、18〜24カ月で半導体の集積密度が倍増するとい
う「ムーアの法則」が唱えられ、各社が微細化競争を展開してきた。
これまでは32ナノ製品でムーアの法則は限界に達すると考えられていた。
IBMは「(限界が訪れる時期を)少なくとも7年間延ばせる」としている。


ソース 2006年02月20日
http://www.asahi.com/digital/av/TKY200602200284.html
幅29.9ナノメートルの等間隔で作られた回路線(右は左をさらに拡大)=IBM提供
http://www.asahi.com/digital/image/TKY200602200288.jpg


関連スレ
【技術】Intel、45nmプロセスのチップ製造に成功
http://news18.2ch.net/test/read.cgi/scienceplus/1138257086/l50
【技術】多層構造のLSIチップ 省電力、東北大など開発
http://news18.2ch.net/test/read.cgi/scienceplus/1135247462/l50

2へむちょりん ◆VZxRKqtcqY :2006/02/20(月) 20:55:25 ID:5Kzbzd10
>レンズや液体の組み合わせを調整して屈折率を高め
おそらく液浸リソグラフィーの事だと思われます。
レンズとウエハーの間に液体を挟み込み、解像度を高める技術です。
古いソースですがこんな技術です↓。
http://pcweb.pc.mycom.co.jp/articles/2004/09/19/tsmc/
http://pcweb.pc.mycom.co.jp/photo/articles/2004/09/19/tsmc/images/06l.jpg
http://pcweb.pc.mycom.co.jp/photo/articles/2004/09/19/tsmc/images/09l.jpg
http://pcweb.pc.mycom.co.jp/photo/articles/2004/09/19/tsmc/images/10l.jpg
http://pcweb.pc.mycom.co.jp/photo/articles/2004/09/19/tsmc/images/14l.jpg

3名無しのひみつ:2006/02/20(月) 20:56:55 ID:CYfPuvZU
>>2
画像全部消えてますよ
4名無しのひみつ:2006/02/20(月) 20:57:03 ID:ECN43uOv
45nmもスゴイけど29.9ナノはもっとスゴイなぁ。
未来の超高速パソコンは腕時計みたいになるのかな。
5名無しのひみつ:2006/02/20(月) 21:02:10 ID:5Kzbzd10
>>3
クリッコして出ませんでしょうか?
6名無しのひみつ:2006/02/20(月) 21:04:24 ID:5Kzbzd10
7名無しのひみつ:2006/02/20(月) 21:08:53 ID:5Kzbzd10
>>3
>>6をクリッコしてくださいです。m(__)m
8名無しのひみつ:2006/02/20(月) 21:37:03 ID:3djsU9oZ
リーク電流の発生で回路を細くしても効果は薄れてきてるじゃないの?
9名無しのひみつ:2006/02/20(月) 21:48:03 ID:GkC5QfNU
えー、どのくらい細いかというと。
もしも、この線幅を1センチに拡大してみますと、
あなたの精子がシロナガスクジラぐらいになります。
10名無しのひみつ:2006/02/20(月) 23:28:45 ID:222TShz6
シロナガスクジラが、あの子の顔に襲いかかるの想像しちまった
11名無しのひみつ:2006/02/20(月) 23:39:55 ID:y166gwtI
そろそろ、電気ではなく、導波管か、光を使うべき集積度じゃないか?
>>8の言うように、リーク電流は激しく問題だとおもわれ
12名無しのひみつ:2006/02/21(火) 00:09:40 ID:+Tdq/7C5
完全に量子力学の領域のような
これって本質的にリーク電流っていうの?

おしえて凄まじくエロイしと!
13名無しのひみつ:2006/02/21(火) 02:15:50 ID:iup5xIEV
ここまでは従来の技術で何とかなるわけだが、この先がふふふ・・
14名無しのひみつ:2006/02/21(火) 02:23:14 ID:iup5xIEV
プレスリリース

IBM現在のチップ製造技術を拡張する道を提示 現在の製造技術の路線を延長させるように改良できれば、
高リスクの代替方法を先送りできる可能性
http://www-06.ibm.com/jp/press/20060220001.html

IBM Research demonstrates path for extending current chip-making technique
http://domino.research.ibm.com/comm/pr.nsf/pages/news.20060220_nemorelease.html
15名無しのひみつ:2006/02/21(火) 07:18:08 ID:7uHHlk6R
>半導体業界では、18〜24カ月で半導体の集積密度が倍増するという「ムーアの法則」
>これまでは32ナノ製品でムーアの法則は限界に達すると考えられていた。
>IBMは「(限界が訪れる時期を)少なくとも7年間延ばせる」としている。

法則によると7年だと32ナノ製品より集積度が4倍から16倍程度増えないと駄目ですよね?
16ナノとか8ナノだったら解かるけど、29ナノで、なんで7年も延ばせるの?
16名無しのひみつ:2006/02/21(火) 07:59:07 ID:/8MrhhW4
アッベの液浸対物レンズがいかに偉大な着想だったか良くわかる。
17名無しのひみつ:2006/02/21(火) 23:12:09 ID:IeShp3GB
>>15
俺もそこ引っかかった
18名無しのひみつ:2006/02/22(水) 01:07:26 ID:/fBbG2QB
新製品が出るのとローエンドまで落ちてくるのとの時差だろ。
19名無しのひみつ:2006/02/22(水) 03:02:48 ID:DasNFeFr
>>1

おお、早速明日
秋葉原に行って買ってきます。
20名無しのひみつ:2006/02/22(水) 04:45:57 ID:0W89Q3G7
へーそうナノ
21名無しのひみつ:2006/02/22(水) 06:58:52 ID:ojw19tIO
298じゃなくちゃ
22名無しのひみつ:2006/02/24(金) 21:37:38 ID:MxBcf4Cb
ものすごく密度の高い塩類を溶かした水溶液を用いれば、さらに
屈折率が上がるので、解像度を上げることが可能になる。
さらには、ウェーハーの上のレジストに直接ぴったりと
光学ガラスの平面を貼り付けるような形の固体侵露光技術を
用いると、18ナノメートル程度が可能ではないかともいうが。
23名無しのひみつ:2006/02/27(月) 03:28:13 ID:Q3ndqiNV
>>22
193nmが通りませんがな
24名無しのひみつ:2006/02/27(月) 10:12:11 ID:fLDDQQgn
>>23は固体浸リソグラフィーを知らない香具師のコメントですので
みなさんは気になさらずに、このままこのスレを鑑賞してください。
25名無しのひみつ:2006/02/27(月) 19:09:49 ID:2ziUZVgu
固体に浸すって、頭おかしくない?
26名無しのひみつ:2006/02/27(月) 20:22:20 ID:ex/Yn7mo



こんなに細くしたら焼き切れるね・・・間違いない




27名無しのひみつ:2006/02/28(火) 01:55:28 ID:J4BoEEB7
>>25
な、坊や。この世は気味の知らない事が多数派なんだよ。
自己の無知を認知できたら、割りばしの袋詰め作業に早く戻りな。
28名無しのひみつ:2006/02/28(火) 02:35:21 ID:3HLmnAc+
>27
凄くスレ違いだけど、袋詰めって手作業でやってるの?てっきり自動かと思ってた
29名無しのひみつ:2006/02/28(火) 03:03:05 ID:X69YABRn
密閉タイプは自動機でやるけど、半袋タイプは機械そのものが非常に単純で
かなり手作業の部分が多い。
30あぼーん:あぼーん
あぼーん
31名無しのひみつ:2006/03/04(土) 22:42:21 ID:U6GLMWet
液浸対物レンズという(解像度を特別重視する光学機械である)顕微鏡では
ずっと前から知られていた技術があったのに、なぜ今頃になって持ち出して
来たんだろね。もっと前からでも作れただろうに。それにしてもこんな既知の
事実を使って特許なんか取れるものだろうか?
32名無しのひみつ:2006/03/05(日) 09:20:31 ID:45GpTnVP
>>33
自己紹介ヨロシク
33名無しのひみつ:2006/03/05(日) 13:39:22 ID:7mRVnnZt
ひらがなみっつで、ことみ
3432:2006/03/06(月) 13:44:59 ID:JMMairVq
>>33
おうっ!よろしくな!
35名無しのひみつ:2006/03/06(月) 16:58:22 ID:X8YjYYSC
何なれあってるんだよ(;´Д`)
36あぼーん:あぼーん
あぼーん
37名無しのひみつ:2006/04/21(金) 22:32:50 ID:LeR5xBPd
住友が作っている人造ダイヤモンドの結晶を使って
レンズ(光学コンデンサ)を作り、それをレジスト膜に
押し当てて密着させて露光させれば、さらに光学限界の距離が
短縮できるはずだよ。25nm程度が可能かもしれない。
38名無しのひみつ:2006/04/21(金) 22:50:05 ID:lJq7234b
半導体チップつくるための光学機器は日本企業が最先端だと
聞いていたんだけど、ホラだったか。残念。
39名無しのひみつ:2006/04/21(金) 23:10:42 ID:vx0g9Gxe
なにこの馬鹿文系スレタイ

半導体ならSI原子一個でも半導体だろ
40名無しのひみつ:2006/04/21(金) 23:25:09 ID:9WFcjznr
釣りか
41名無しのひみつ:2006/04/21(金) 23:53:49 ID:2rmZsuBU
半導体は1個じゃ素子にならんがな。
隣へ電子か穴を動かせないと...
42名無しのひみつ:2006/04/22(土) 02:42:27 ID:FGsXNHM7
Si
43名無しのひみつ:2006/04/22(土) 10:54:57 ID:65a495pN
As hole
44名無しのひみつ:2006/04/22(土) 12:04:07 ID:9THy5FCV
>>39
君は理系に向いていないから文系に行ったほうがいいよ
45名無しのひみつ:2006/04/25(火) 00:33:25 ID:yS1CUVl2
ICの集積度が上がるのは良い事だが、電源屋にとっちゃ地獄ですな・・・・・・
従来より動作電圧低下&大電流化されると、電源の効率ガタ落ちですよ。
46名無しのひみつ
いずれ、配線が細くなり、抵抗が増すと、電源電圧や信号電圧が低くては
トランジスタが動作しなくなるので、電源供給や信号も直流的ではなくなり、
パルス状の波形で供給したり、信号を伝達するようになるだろう。

血液を血管を通じて全身に送りだす為には、心臓の鼓動のようなパルス
的ポンプがもっとも合理的であるように。一定の流れを送りだそうとすると
圧力がずっと高くないといけないが、血管が膨れてそれが伝わるやり方
だから、それほどの圧力が無くても済んでいるのだ。それと同じように
論理回路も、パルス状の電源供給になることだろう。