【物理/ナノテク】ぎりぎり安全な極薄シリコン
1 ：pureφ ★：
物理 : ぎりぎり安全なシリコン薄片
マイクロエレクトロニクスの未来にとって朗報だ。M Lagallyたちによれば、シリコンの
膜は、薄くなるにしたがってその電気伝導性を失うというわけではないらしい。彼らは、
最も薄いシリコン板でできた電子デバイスでも、正しく機能すると結論している。
これら極薄のシリコン板は、絶縁性の二酸化シリコン（シリカ）の厚いスラブ上に導電
性シリコン薄膜を重ねた、いわゆるシリコン・オン・インシュレーター（SOI）技術において、
ますます多用されるようになっている。
マイクロエレクトロニクスの最先端を行くSOIデバイスは、特性改善のためにシリコン薄
膜をより薄くしなければならないことが多い。しかし、極端に薄い膜では、シリコンとシリカ
の界面の欠陥が電流の担い手である可動性の荷電粒子（電荷担体）を捕獲し、デバイス
内を電流が通過しにくくなることが懸念されていた。
Lagallyたちは、その心配が無用なことを示したのである。極薄シリコン層の顕微鏡観察
と導電率の測定により、層の表面の原子が層の内部と相関して再配置され、これによって
シリコン薄膜の残りの部分に電荷担体が供給され、導電性を保持することがわかった。
Nature Highlight February 09, 2006
http://www.natureasia.com/japan/nature/updates/index.php?id=1240&issue=7077
物理：ナノメートルスケールのシリコン・オン・インシュレーター膜における電子輸送
Pengpeng Zhang, Emma Tevaarwerk, Byoung-Nam Park, Donald E. Savage, George K. Celler, Irena Knezevic, Paul G.
Evans, Mark A. Erikssonand Max G. Lagally
Nature 439, 703-706 (9 February 2006) | doi:10.1038/nature04501
http://www.nature.com/nature/journal/v439/n7077/abs/nature04501.html
半導体物理学：エレクトロニクスにグッドニュース
John J. Boland
http://www.nature.com/nature/journal/v439/n7077/full/439671a.html
関連ニュース
【技術】消費電力が10分の1以下の新トランジスタを開発＝沖電気工業(特性図あり) 2005/10/08
http://news18.2ch.net/test/read.cgi/scienceplus/1128772751/l50
【技術】シリコン薄膜の作製成功−世界初・先端大 2005/07/27
http://news18.2ch.net/test/read.cgi/scienceplus/1122438894/l50
【半導体】InSbを採用した、低消費電力トランジスタのプロトタイプを開発 -インテル 2005/12/08
http://news18.2ch.net/test/read.cgi/scienceplus/1134033670/l50
【ＩＴ】Intel、リーク電流を1/1000にする65nmプロセス技術を発表 2005/09/23
http://news18.2ch.net/test/read.cgi/scienceplus/1127464959/l50
【ナノテク】HP〜分子スケールエレクトロニクスに関する包括戦略を披露(03/15/2005) 2005/03/15
http://news18.2ch.net/test/read.cgi/scienceplus/1110858683/l50
【IT】ムーアの予言「シリコンとカーボンナノチューブを結ぶ道は険しい」 2005/03/11
http://news18.2ch.net/test/read.cgi/scienceplus/1110493770/l50
【ナノサイエンス】半導体内の電子運動見えた-世界初の観測【先端科技大】(05/01/27) 2005/01/28
http://news18.2ch.net/test/read.cgi/scienceplus/1106905975/l50
【IT】単電子トランジスタ集積回路の室温動作に成功 2005/01/06
http://news18.2ch.net/test/read.cgi/scienceplus/1104943009/l50
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膜は、薄くなるにしたがってその電気伝導性を失うというわけではないらしい。彼らは、
最も薄いシリコン板でできた電子デバイスでも、正しく機能すると結論している。
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性シリコン薄膜を重ねた、いわゆるシリコン・オン・インシュレーター（SOI）技術において、
ますます多用されるようになっている。
マイクロエレクトロニクスの最先端を行くSOIデバイスは、特性改善のためにシリコン薄
膜をより薄くしなければならないことが多い。しかし、極端に薄い膜では、シリコンとシリカ
の界面の欠陥が電流の担い手である可動性の荷電粒子（電荷担体）を捕獲し、デバイス
内を電流が通過しにくくなることが懸念されていた。
Lagallyたちは、その心配が無用なことを示したのである。極薄シリコン層の顕微鏡観察
と導電率の測定により、層の表面の原子が層の内部と相関して再配置され、これによって
シリコン薄膜の残りの部分に電荷担体が供給され、導電性を保持することがわかった。
Nature Highlight February 09, 2006
http://www.natureasia.com/japan/nature/updates/index.php?id=1240&issue=7077
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Evans, Mark A. Erikssonand Max G. Lagally
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http://www.nature.com/nature/journal/v439/n7077/abs/nature04501.html
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http://www.nature.com/nature/journal/v439/n7077/full/439671a.html
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2 ：名無しのひみつ：2006/02/12(日) 09:07:57 ID:qWEgfuYC
うすうす
3 ：名無しのひみつ：2006/02/12(日) 09:08:03 ID:Gqv3r117
それは良かったの〜
俺のミルクはプラズマ発散するからダメかも。
5 ：名無しのひみつ：2006/02/12(日) 09:23:57 ID:Uz1mH+Ie
ゼリー付きでつか？
他の素材がｼﾘｺﾝを追い抜くのはしばらくありえなそうですなｗ
顕微鏡で覗く前に電流を通してみればわかりそうなもんだけどなあ。
コンドームの話だと思った香具師多数の悪寒w
10 ：名無しのひみつ：2006/02/12(日) 12:12:32 ID:gwOkWH05
漏れもだ
鬱だ氏のう
鬱だ氏のう
だって！シリコーンをシリコンと書いてしまうミスはありがちだもの！
12 ：名無しのひみつ：2006/02/12(日) 13:02:36 ID:Rh29MGxa
つまりS型とかN型作る時に混入する不純物が
Siが薄くなるに従って「溶ける」ではなく「混じる」
の方に働いてSiが電流を通さなくなるくことを懸念
していたけどそうではなかったと？
Siが薄くなるに従って「溶ける」ではなく「混じる」
の方に働いてSiが電流を通さなくなるくことを懸念
していたけどそうではなかったと？
13 ：名無しのひみつ：2006/02/12(日) 13:59:35 ID:2WcAq7Wz
関連（dat落ち）
【ポリウレタン素材】 相模ゴム、世界最薄コンドーム発売へ
http://news18.2ch.net/test/read.cgi/scienceplus/1103826236/l50
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http://news18.2ch.net/test/read.cgi/scienceplus/1103826236/l50
15 ：名無しのひみつ：2006/02/12(日) 16:57:28 ID:B0kUQCr2
そい基板の供給メーカー、客をなめすぎ
たかが、いち業者のくせに
たかが、いち業者のくせに
ギリギリ安全な
とか言われると、物凄い危険に感じてしまうな
とか言われると、物凄い危険に感じてしまうな
17 ：名無しのひみつ：2006/02/12(日) 20:39:07 ID:z15Oi4Dy
＿
┷┓ｼﾞｬﾌﾞｼﾞｬﾌﾞ
〇,-、
i;;;;;i＜
＿
┷┓ﾊｯ…ｺﾞﾌﾞｯ!!
Σ○ノヽ,
i;;;;;i＜
┷┓ｼﾞｬﾌﾞｼﾞｬﾌﾞ
〇,-、
i;;;;;i＜
＿
┷┓ﾊｯ…ｺﾞﾌﾞｯ!!
Σ○ノヽ,
i;;;;;i＜
18 ：名無しのひみつ：2006/02/12(日) 21:03:56 ID:sjXyY8T8
安全って何に対して安全なの？
ただ勘違いさせるためのウケねらいで「安全」書いただけじゃないの？
残念だけどおもしろくありません。
ただ勘違いさせるためのウケねらいで「安全」書いただけじゃないの？
残念だけどおもしろくありません。
19 ：REI KAI TSUSHIN：2006/02/12(日) 21:05:00 ID:CsMXbkAj
薄膜シリコンでも避妊は大丈夫でつか〜ぁ？
20 ：名無しのひみつ：2006/02/12(日) 21:12:28 ID:TBcn2YCt
>>1
狙ったな
狙ったな
21 ：名無しのひみつ：2006/02/12(日) 23:05:43 ID:yPEezqAe
>>12-13
>シリコンとシリカ の界面の欠陥が
がポイント。
シリコン部分が薄くなれば、素子として動作する部分（極表面部分）と欠陥のある界面が近くなる事になり、
あんまり近くなると影響かなと懸念されてきたが、影響なかったよ！ と >>1からは読み取れる。
>シリコンとシリカ の界面の欠陥が
がポイント。
シリコン部分が薄くなれば、素子として動作する部分（極表面部分）と欠陥のある界面が近くなる事になり、
あんまり近くなると影響かなと懸念されてきたが、影響なかったよ！ と >>1からは読み取れる。
22 ：名無しのひみつ：2006/02/12(日) 23:10:21 ID:wI7HD++B
俺はぎりぎり安全なロリコン
スレタイ見て新型コンドームの事かと思ったのは俺だけではないようだ。
25 ：名無しのひみつ：2006/02/13(月) 22:02:50 ID:DSqYEWNW
完全にコンドーム
26 ：名無しのひみつ：2006/02/13(月) 22:38:41 ID:eLMGIbAo
27 ：J('A& ◆XayDDWbew2 ：2006/02/13(月) 23:00:29 ID:l7cDstWs
というか>>1の文章が激しく分かりづらい
いや、文章は極めて判りやすいぞ。
水道スレといい、なぜそんなに自分の読解力のなさを喧伝したがるのだ・・・。
30 ：J('A& ◆XayDDWbew2 ：2006/02/14(火) 00:48:53 ID:y8IgpWiQ
あとはこの部分
＞電流の担い手である可動性の荷電粒子（電荷担体）
まぁ自分のまわりで普段使ってる用語と違うだけです。
専門家なら分かるだろうが、ちょっと勉強したくらいだと逆に分かりにくい文章だなと。
＞電流の担い手である可動性の荷電粒子（電荷担体）
まぁ自分のまわりで普段使ってる用語と違うだけです。
専門家なら分かるだろうが、ちょっと勉強したくらいだと逆に分かりにくい文章だなと。