「真空」(真空状態?現象?)ってなに?どうやってつくるのか、どんな特性があるのか教えて下さい。
また近年の動向等も教えて下さい。よろしくお願いします。
2 :
名無しさん@1周年:2001/03/05(月) 12:09
材料物性かなぁ?
レポートかなにかでしょうか。
真空を辞書で引いてみるといいかもしれません。
3 :
名も無きマテリアルさん:2001/03/06(火) 22:39
真空のつくりかた
トリチェリの真空=1メートル程度のガラス瓶に水銀を詰めて水銀を入れた皿の上に
ひっくり返すと、逆さになった瓶の底に真空ができる。
空道=手のひらを徹底的に鍛え、ガラスや塀や人体に押し付けて真空状態をつくる。
キックの沢井に聞きましょう
5 :
ero:2001/03/07(水) 02:12
6 :
名も無きマテリアルさん:2001/03/19(月) 19:33
便乗。
手軽に真空をつくる方法教えて下さい。
7 :
名も無きマテリアルさん:2001/03/19(月) 20:01
単に低い気圧を得たいだけなら…
密閉できて、加熱してもいい容器を用意
↓
そこに少し溜まるくらいの水を入れ、ふたを閉めずに加熱開始。
↓
沸騰して乾く前にふたをして密閉。
↓
容器に冷水でもぶっかけて冷却。
↓
大気圧で容器がベコベコになる様を楽しんで終了
ドラム缶クラスでやると気持ちいいです(当初の目的と違う)
8 :
名も無きマテリアルさん:2001/03/19(月) 20:48
マジレスっス
・真空には工学で言う「大気圧より十分低い」という場合と
・理論物理で論じる理想的な極限状態
とがある。
・圧力の単位はPaだけど、お年寄りのためにTorrやmbarも使う
・回転ポンプとダイアフラムポンプがありふれたポンプ(?)
・油拡散ポンプ(油が嫌われている)
・機械式スクリューポンプ(?)
・ターボ分子ポンプー扇風機の強力タイプ
・スパッタイオンポンプ
・クライオポンプ
・チタンサブリメーションポンプ
なんかで10^-11 Pa程度までいけるらしいょ
主な用途は
・空気に邪魔されたくないときに
真空を作ってそこで実験する
真空の近年の動向・・・って何?
CVDとかで過激な薬品を真空の中で使うようになってきた
・・であってますか?
10 :
実習生さん:2001/03/20(火) 23:52
>>8 過激といわれてもよくわからん。水銀とかカドミウムなんて昔から
使われているし、シランとかはフツーだし。
11 :
YES:2001/03/21(水) 01:43
カーボンハニカムサンドイッチパネル積層するときって
やっぱ真空引きして圧力かけるのがいいのかな?
離型フィルムと両面テープとブチルゴムテープつかってるけど
なかなか真空引きうまく行かないよ
なんか、いい方法ないのかな?
>>9 気化しやすい有機金属を使うから「過激」なのでは?
ターボポンプをふっ飛ばしたことがある人間としては、超高真空
用ポンプが動いているところで、気体を流すこと自体「過激」に
思えてしまうけど
13 :
名も無きマテリアルさん:2001/03/22(木) 03:43
ターボポンプがどんな風に壊れたか興味深いなあ。
教えてくだされ。
化学系ではアスピレータで真空引きが最も手軽。
もっともその日の天気によって真空度が変わるし(理由わかるよね)
水が抜けないので補助的
15 :
名も無き真空蒸着屋:2001/03/28(水) 23:58
>>8の「過激」で思い出した。
真空蒸着で「光学薄膜(誘電体膜)」を作る時、
酸化反応の促進剤として、酸素を導入しているぞ。
(蒸着剤の種類によっては「水素」を導入!?してると聞いた事がある)
もしも、ポンプの排気管に酸素が滞留してしまったら、当然?偶然?・・・大爆発!
します。(怖かった〜・・・
>>12さんターボ分子ポンプのブローの様子、オイラも興味あります。
ぜひ教えて下され。後学の為にも(w
(最近、ターボ分子ポンプを使い始めたばかりなんですよ)
16 :
真空初心者:2001/03/29(木) 02:25
STMって、ターボポンプ使ってるのかな?
17 :
名も無きマテリアルさん:2001/03/29(木) 13:53
真空中のSTMだったら最初ぐらいはTMPで引くのと違うかな。測定中は
IP入れるか、IPですら嫌がるかのレベルになるとおもう。最近は良くなった
かもしれんけど。
18 :
12:2001/03/31(土) 19:39
>>17 STM は振動を嫌いますので、TMP は使えないはずです。
少なくとも私が使っていた(いや使われていたか・・) STM は
普段は IP だけで引いていました。
なお、 TMP のふっとばしっていうのは、大気突入しただけです。
幸いにしてお空に飛んでいくと言うことはありませんでした(そ
れでも「ど〜ん」と景気の言い音がしてくれましたが..。原因は
あけては行けないところのバルブをあけてしまったこと)。
こういうことをしないためには、バルブをあけるときは手動バルブ
なら、じょじょにバルブをあける & 変な音がしたらすぐに閉める癖
をつける。これでかなり対策可能なはずです。
自動開閉バルブなら、まずその装置の真空系確実に把握。バルブをあ
けるときは、いったん状態を再確認するくらいの余裕を持って行う、
あたりだとおもいます。ちなみに私の場合、このバルブで大失敗を
しました。
なお、大気突入後は、羽根が曲がってしまうので、まわしたら
「ぎゃぎゃぎゃ」といやな音を鳴らしてくれます。もちろん真空
なんかはどこ吹く風。さらに大気突入からとまるまでのわずかの
間にアルミの羽根が研磨されて、アルミ屑が後ろのポンプまで行っ
てしまう危険性もあります(私の場合、幸いにしてこれは回避され
た..)。
ちなみに、その音の大きさは、2F したの部屋でも伝説になるくらい
の音です...(7 階建ての建物の 5F にある実験室でふっ飛ばし→3F
以上の階の研究室で伝説化...)
19 :
名も無きマテリアルさん:2001/04/01(日) 00:30
ふーむ。「どーん」って音がするのか・・・。
さすがに吹っ飛んだりはしないようにできてるのね。
ターボは壊れたの見たこと無いけど、
ロータリーから火を吹かせたヤツなら二人ほど知ってます。
まあ、やっぱりそれも大気を引き続けたミスでした。
20 :
名も無きマテリアルさん:2001/05/19(土) 02:55
・回転ポンプとダイアフラムポンプがありふれたポンプ(?)
・油拡散ポンプ(油が嫌われている)
・機械式スクリューポンプ(?)
・ターボ分子ポンプー扇風機の強力タイプ
・スパッタイオンポンプ
・クライオポンプ
・チタンサブリメーションポンプ
これらのポンプの役割はなんなんですか?
21 :
12:2001/05/19(土) 12:17
実験をするための環境を作るためのポンプと、実験をする際に
使うポンプに分離されます。
ロータリー、油拡散、ターボ、イオンなどは環境を作るための
ポンプ、つまり 10^(-10)torr とかを実現するためのポンプ。
クライオ、チタンは実験する際のポンプ、つまり上記の環境で
実験の際コンタミ防止のため 10^(-11) などを目指すためのポン
プとなります。
原理はそれぞれ違うので、真空技術あたりを読んでご理解を・・。
スクリューとかダイアフラムとかは、よく知らないのでパス(少な
くとも超高真空系では使わない)。どちらかというと液体移送とか
に使うポンプだったような気がするけど。
22 :
20:2001/05/19(土) 14:17
ありがとうございます。ところでコンタミとはなんですか?
いま学部4年なんですがこういう知識って
実験やってくうちに自然と覚えられますか?
23 :
12:2001/05/19(土) 15:59
>>22 コンタミは、汚れとか不純物とか言う意味。意図せず混入するも
のをさすといった方が良いかも。語源は、英語の contamination。
ちなみに、私はこの言葉をかの「動物のお医者さん」で覚えました
>実験やってくうちに自然と覚えられますか?
実験で必要になったら覚えていく、というか覚えさせられます(教官
が逐一教えるからじゃなくて、覚えないと実験ができない・・)
24 :
ナナシ:2001/05/26(土) 15:11
ぼくはロータ回転中にボルトが落ちてこわれたターボ分子ポンプの羽根をみたことあります。
ふつうは吸気口に金網をつけるんだけど、つけてなくて。容器の中におきわすれたボルトがおちて。
ターボを容器の底につけていたのもわるかった。
羽根(動翼)はめくれあがって、ボロボロ。アルミの粉も飛散した。治すどころではない。交換でした。
金網をつけるか、横向きにつけるか、アングル弁をつけたほうがいいぞ!
25 :
名も無きマテリアルさん:2001/05/26(土) 15:26
1 : 何だよ○○た んって・・・(ー_ー)凸 凸 (807) 2 : 犬伏と室伏 (59) 3 : 日本柔道アテネへの道 (574) 4 : 田中雅美のお尻付きだし画像 (51) 5 : 井上康生・最強 Part5 (181) 6 : 大阪の次の日本国内開催は何処??? (24) 7 : ★岩崎恭子ウォッチング!★ (372) 8 : 2001年東アジア競技大会!! (52) 9 : ■ 高橋尚子国民栄誉賞授与決定 ■ (911) 10 : 暇人へ(1) 11 : 室伏広治 (3) 12 : 瀧本誠・何がなんだか分からないうちに3! (706) 13 : ・・・・・お前たちいつまでココにいんのよ? (4) 14 : これからは犬伏の時代? (9) 15 : 犬伏を捜せ (214) 16 : ★犬伏にはどうして犬が2つもあるの? パート2 (39) 17 : ☆☆高山樹里萌えスレッド☆☆ (579) 18 : FOCUSのドゥイエ、、、絶対許せん! (19) 19 : サミシイ…ソノ3 (797) 20 : ドゥイエの金を八割が認める!仏人投票 (697) 21 : 篠原-ドゥイエ戦 究極の誤審抗議ページ完成 (688) 22 : おい、誰かドゥイエをなんとかしてくれ! (4) 23 : フジにドゥイエが出てやがる!! (13) 24 : フランス人が篠原の誤審で大暴言 (335) 25 : ハンサムな柔道家 (667) 26 : オリンピック廃止 (8) 27 : 一番かっこいい国歌 。 (538) 28 : ★★逮捕しちゃうぞ!by基栄たん…ハァハァ★★Part4 (277) 29 : 柔道日下部vsテコンドー岡本 (4) 30 : 2002年ソルトレークシティオリンピック実況スレ (5) 31 : 中村真衣が巨乳で我慢できない! (387) 32 : ★☆★世界水泳福岡のエロ画像★☆★(1) 33 : オリンピック板の存在意義 (3) 34 : MOGUMOGU多英ちゃん (37) 35 : 爆乳娘、山田沙知子俺を逝かせてくれ ! (247) 36 : 三宮選手頑張れ!! (5) 37 : 篠原誤審!日本中怒り爆発!統一スレッド 3 (921) 38 : ドイエはいい奴だ! (17) 39 : ドイエ暴言!!!もう許せん!!! (868) 40 : ドゥイエ今年で引退!! (11) 41 : 篠原vsドゥイエ誤審の抗議メールはこちら (165) 42 : いまさら篠原一本がちだと!? (3) 43 : ■ドイエに続いてフランス人がまたやった (6) 44 : IJFどうするつもりだ? (8) 45 : ソルトレークシティ結果予想(1) 46 : スキージャンプ日の丸飛行隊に未来はあるのか? (22) 47 : 女子選手のスリーサイズ推定 (5) 48 : お願いがあって来ました (14) 49 : 源純夏はかわいいのか? (122) 50 : 美しい女子柔道家 (134)
26 :
名無しさん@1周年:2001/05/26(土) 19:51
ミリポアLOVE
27 :
sage:2001/05/28(月) 19:42
先生、カートリッジポンプってどんなんですか?
28 :
名も無きマテリアルさん:2001/05/29(火) 01:03
>>20 スクリュードライポンプは粗引き用のポンプで、ロータリーポンプの油無しバージョンと言ったところ。
スパッタなんかするときに、超高真空が必要とされる際、油なんかのコンタミが無いことが利点。
オイルフリーが必要な環境で使われるけど。
スパッタ関係では磁気浮上のTMPと組み合わせて使われてるよ。
29 :
ここに聞いてごらん:01/11/10 12:39
30 :
みっふぇー ◆zUq282Mc :01/11/10 12:49
電子と陽電子が腐るほどある状態だ。
31 :
名も無きマテリアルさん:01/11/11 08:06
・・・。さよけ。
33 :
shinku-:01/12/12 05:18
油拡散ポンプでメインバルブを開けたままで、チャンバーをリークしてしまいました。
これって、油拡散ポンプに非常に悪いのかな?
一応、その後も動いてくれているけど・・・大丈夫かな?
>>33 大気圏突入は,1回くらいなら大丈夫.
中の油が完全に酸化してしまうとお亡くなりです.
でも油を替えさえすれば元通り動きます.
新しい油は,マニュアルor製造元で種類と量を確認してね.
ポンプの大きさとかヒーターの熱量とかでいろいろ違うから.
あと,分解してチムニーの表面磨いてあげると完璧!
しかし,ターボとかと比べて寿命長いよね.>DP
だからいろいろ難あるけど未だに使われてるんかな.
>>34 > しかし,ターボとかと比べて寿命長いよね.>DP
> だからいろいろ難あるけど未だに使われてるんかな.
そうだよね。実験をやる側としては安心して使えるって言うことになる
から。洗えば生き返ってくれるという意味で、DP はかなりの優位性を
もっていると思う。
なお、ある人に聞いた話では、IPも削れば生き返るそうです。私は
やったことありません。
>>35 > 洗えば生き返ってくれる
ターボは事故ると財布イタイからねぇ.例のアルミ綿,もう何度見たことか.
昔,先輩から聞いた話.大きなターボはものすごい角運動量で回転してるから,
軸が噛んだりしていきなり止まっちゃうと,外枠に運動量がかかるので,
止めてるネジを引き千切って飛んでいく.どこぞの研究室では,壁を突き破って
隣の居室まで飛んできたとかこないとか...
この話の信憑性は如何?(^^ゞ
> IPも削れば生き返るそうです。
先日,ウチのESCAのIP,志摩津の方にやっていただきました.快調っす.
37 :
名の無いマテリアルさん:01/12/13 15:22
宇宙。
38 :
名も無きマテリアルさん:01/12/13 16:18
>36
おちおち昼寝もできない・・・
ってマジすか?
39 :
名も無きマテリアルさん:01/12/14 16:56
勉強になります。ありがとうございます。
ターボで大気突入した話がありましたが、私も経験あります。
某メーカーのエッチング装置だったのですが、ピラニ真空計が壊れていて、
フルオートの装置だったために、粗引きせずにメインバルブがOPEN。
「ボヒュー」と景気のいい音がして、装置は緊急停止。
これを3回くらいやったが、ターボに異常なし。
現在も元気に動いています。
回転数が少ないターボだったから、助かった。
>>38 DPの方が、液体窒素を注入したり、冷却水の確認したり、めんどくさい。
うちは、ターボは回しっぱなしですよ。
>>23 >コンタミは、汚れとか不純物とか言う意味。
>ちなみに、私はこの言葉をかの「動物のお医者さん」で覚えました
私もです!しるこ爆弾の話ですよね☆
・・・タイムラグ7ヶ月、亀レスと呼ぶのも憚られまする。
保守保守
いくつまで真空度を上げると、チャンバー内が無重力になりますか?
ハァ?
>>43 恐らく、10-20Pa位まで引くと無重力になります(藁
Y本くん以外は、笑ってください。
>>45 ありがとうございました。
実は、誤って真空チャンバー内に二回も試料を落としたのです。
真空を引いて無重力にできれば、試料が回収できると思ったのです。
で、Paって、何Torrですか?
48 :
名も無きマテリアルさん:02/03/06 00:15
1Torr=133Pa
49 :
名も無きマテリアルさん:02/03/06 01:47
布団圧縮袋使えば?
>>45 重力の大きさで真空度を測っていると思うのですが、
実際、どうやって測っているんですか?
51 :
名も無きマテリアルさん:02/03/08 01:46
ハァ?
ハァ?
52 :
名も無きマテリアルさん:02/03/08 02:10
>>1 カナーリ古いが東京大学出版会の
「真空技術」は一応目通しとき。
53 :
名も無きマテリアルさん:02/03/08 16:19
731部隊の気圧を下げていく実験・・
54 :
みっふぇーさん:02/03/09 09:09
それが真空のエネルギーってやつですか?
55 :
名も無きマテリアルさん :02/03/10 03:15
真空のエネルギーって話、覚えがあるぞ!
どんな話だったかな?
誰か教えてください。
>>50のY本です。
誰も答えてくれませんね。
真空はフィラメントで測るんですよ。
こんなこともしらないで、ここのスレに書き込まないで欲しいな。
あははははははは!!!
フィラメントな。
それはイイとしよう。
じゃぁ、フィラメントで何見てんだ(藁。
質問を変えよう。
フィラメントは何のためにある?
59 :
名も無きマテリアルさん:02/03/11 05:06
なんで重力が出てくるんだ?(藁
Y本くんへ
>フィラメントは何のためにある?
の回答をどうぞ!
フィラメントが良く光ると、真空が悪いのです。
アインシュタインで有名なE=mc×c=hνにより、
光と重力が関係あるのです。
これで、真空と結びつくことに成りました。
>60
こいつ・・・だめだ・・・
62 :
名も無きマテリアルさん:02/03/11 22:58
63 :
名も無きマテリアルさん:02/03/12 00:08
>>56 >>60 マクラウドぐらい引っ張って来た方が、まだマシだったと思うが。
マクラウドも重力で測るわけじゃないけど、少なくとも重力が無いと働かんわけだから。
64 :
名も無きマテリアルさん:02/03/12 08:58
>>57 ちなみに、正解は、「(真空の)熱伝導率」でいい?
すげーよ
真空にしたら地球の重力吹っ切れるのか(わら
66 :
名も無きマテリアルさん:02/03/13 23:38
>>64 おいおい正解じゃないだろ。ピラニとは違うぞ。。
正解は熱電子放出による電流値の事だろ。フィラメントといえばそういうことだね。
67 :
名も無きマテリアルさん:02/03/14 03:43
68 :
名も無きマテリアルさん:02/03/14 18:19
69 :
名も無きマテリアルさん:02/03/14 23:38
バギ バギマ バギクロス
70 :
名も無きマテリアルさん:02/03/14 23:52
>>67 次のページ見ろよ。正解が書いてあるだろ。
電離真空計っていうんだよ。
71 :
名も無きマテリアルさん:02/03/15 10:23
>>70 フィラメント「で」って言われればピラニーを指すのかと思った。
ピラニーはフィラメントがセンサー、イオンゲージはイオンディテクタが
センサーでフィラメントは単なる線源なんでしょ?
なんで、ピラニーだと正解じゃなくて、電離真空計が正解になるの?
72 :
名も無きマテリアルさん:02/03/15 10:25
>>71 ちょっと修正。
○なんで、ピラニーだと正解じゃなくて、電離真空計が正解になるの?
×なんで、ピラニーだと正解じゃなくて、電離真空計だけが正解になるの?
73 :
名も無きマテリアルさん:02/03/15 12:41
74 :
名も無きマテリアルさん:02/03/16 00:11
>>72 現在までに観測されている最高真空度(現実の究極の真空度)はイオンゲージで計測されているからだよ。
ピラニでは低真空しか測れないんだよ。
ちなみに真空のエネルギーってトンネル現象が起こるときに説明する「真空のポテンシャル」とちやうの蚊?
75 :
名も無きマテリアルさん:02/03/16 00:28
>>74 いや、んなことは分かってるんだけど、
どこから「最高真空度」なんて限定が付いちゃったの?
フィラメントで真空を測る方法が問題だったんでは?
76 :
名も無きマテリアルさん:02/03/16 00:37
>>75 >>フィラメントで真空を測る方法が問題だったんでは?
ジャアホカニハカルホウホウアンノカヨ?
77 :
名も無きマテリアルさん:02/03/16 00:55
78 :
名も無きマテリアルさん:02/03/16 00:58
何か話が一周してるな。
79 :
名も無きマテリアルさん:02/03/16 01:01
>>76 「真空」=「高真空」なの?
「低真空」を外す理由が分からん。
80 :
名も無きマテリアルさん:02/03/16 15:17
ブルドン管age
ここにも直リンが。
ナンデ?
ハノハフ
ノ< ゚ _・゚>
( マハyハフ
∞l^(゚(゚リ
ノ ノ从ゝ
γ
∞⌒⌒丶
ゝ ノハハ)
( ゝ' _・')ゝ
σξYwYア=σ
ハ__ハ
<____ゝ
┗┗
<font color="deeppink"face="Webdings"size="15">Y</font>
オ茶ドウゾ♪
∧ ∧
(*゚ー゚) 旦~~
ノ つ━━
〜 ノ
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□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□
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日本創造教育研究所 田舞徳太郎について
... 光洋ハウジング, 川畑富男, 大津市大萱1?20?15, 543?3457. 佐和興産(株), 澤 英明, 大津市大江4?14?31, 543?2336. ...
http://www.takken-shiga.gr.jp/minamimeibo.htm 北西
支部... ...
http://money.2ch.net/test/read.cgi/manage/1003492619/-100 あぁぁぁぁぁぁぁぁぁ
... 光洋ハウジング, 川畑富男, 大津市大萱1?20?15, 543?3457. 佐和興産(株), 澤 英明, 大津市大江4?14?31, 543?2336. ...
http://www.takken-shiga.gr.jp/minamimeibo.htm 北西
支部 ... ...
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91 :
名も無きマテリアルさん:02/11/25 08:57
真空男根治療気て効果あるんですか?
92 :
名も無きマテリアルさん:02/11/26 20:14
真空焼入れってのは??
93 :
天上天下 唯我独尊:02/11/28 07:01
>>1 「真空」(真空状態?現象?)って
真空とは、「真の空間」と言う意味である。
すなわち、「物質が存在しない空間」と言うことか。。。。
95 :
な〜んも知らん人:02/12/02 18:04
>>94 なな、何と。
そうで御座ったのか。
では、御主の考えている、正しき答えを、
この拙者に、教えて頂きたく思うので御座る。
新・化学用語小辞典(ジョン・ディンティス編)より引用
真空
気体の圧力が小さくなっている空間。
つまり、その中の原子や分子の数がかなり少なくなっている状態を意味する。
「完全な真空」とは、この空間内に原子や分子がただの1個も存在しないことを意味する。
だが、(略:物質は有限の蒸気圧を持つため)現実にはこの状態にを達成することはできない。
97 :
--------:02/12/03 18:16
>>96 そうするとこの宇宙空間も、
「完全な真空」とは言えない状態に、
恐らくなっているのでしょうね。
98 :
名も無きマテリアルさん:02/12/03 18:26
>>1さん
私は障碍歴約40年の男です。前からこのホームペイジを見ていて不思議に思い
また、憤りをおぼえていた者です。
この掲示板では、feelさん、前の大野氏いずれも障害者としての正当な権利や意
見の主張をしたに過ぎず、それを受け入れないばかりか他の主張も、健常者に媚
び諂い、同じ障害者を援護するどころか、貶めている傾向がある。
過去と現在の障碍者を取り巻く扱いは明らかに不当であり、差別であった事は
火を見るより明らかな事実であってそれを改善するという正義の革命は
今以上に性急に行わねばならない障害者の権利は、これを健常者が無条件で
受け入れねばならず、それに異論を唱えるものはすべて差別主義者であると言
わざるを得ない。
あらゆる物事、結婚、就職、就学などに障碍を理由にして断わられる事はあっ
てはならない
もしそれらを行った場合、その個人または団体に対し、刑事または民事で訴え
られるような法律の整備こそが最優先で、また、障碍者差別をなくす唯一の方
法であると確信しています。
障碍、健常のお互いの理解などは不可能です
健常である事は暴君であり、障碍を得ている者は市民であり、強者と弱者、お
互いにお互いの心など酌みようがないのはあたりまえと言えばあたりまえであり
仕方のないことである。
小生も40代にして、いまだに独身なのは障碍のせいではなく障碍を差別視する
世の中の風潮や、世の中の女性の悪しき思想のせいであることは言うまでもなく、
今まで何人もの女性に自分の偽りのない愛を告白して来たが、みな障碍を理由に
断わられてきたという、あからさまな差別を受けてきたのである。
真のバリアフリーや真に差別をなくすという事は健常者と障碍者が話し合い行う
ものではなく、障害者の要求と要望をすべて健常者と社会が受け入れるべき
なのである、現在のような差別発言や、差別発言を行う者への援護の書き込みは
厳に慎まれたい。
障害者特別性交特権の早期実現を!
99 :
( *゚ 3 ゚) ◆4iMAZUUmmU :02/12/03 18:46
>>97 宇宙空間の薄いとこで1cm3あたり原子1個とからスィ。
その1個さえうまくかわせば残りの1cm3は完璧な真空ということか。
100 :
名も無きマテリアルさん:02/12/03 23:25
平均自由行程のはなしやね
真空ですか わたすの頭は真空です・・・。なんて
電子は大きさどのくらいか知らないけど、原子核と電子の間は真空なのかな?
もしそうなら非常に小さい区間ではあるものの、回り中真空だらけだったり
して。当然 頭の中も多くの真空部分が存在していることに・・・。
102 :
名も無きマテリアルさん:02/12/05 01:54
:::::::::::/ ヽ::::::::::::
:::::::::::| ば じ き i::::::::::::
:::::::::::.ゝ か つ み ノ:::::::::::
:::::::::::/ だ に は イ:::::::::::::
::::: | な。 ゙i ::::::
\_ ,,-'
――--、..,ヽ__ _,,-''
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:::::_|/ 。|。ヽ|-i、 ∠_:::::::::
/. ` ' ● ' ニ 、 ,-、ヽ|:::::::::
ニ __l___ノ |・ | |, -、::
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|( ̄`' )/ / ,.. i '-
`ー---―' / '(__ ) ヽ 、
====( i)==::::/ ,/ニニニ
:/ ヽ:::i /;;;;;;;;;;;;;;;;
ある場所から原子を全て取り除くとその場は"真空"になるならば、その場所に残った空間とは何なのだろうか?
空間が存在するには何が必要なのか?
エネルギーか?それではE=m*C*Cより質量が存在するのと変わりが無いような気がする。
では"真空である場所"つまり"空間"が存在するためには何が必要なのでだろうか?
(^^)
(^^)
(^^)
107 :
名も無きマテリアルさん:03/05/14 02:59
真空管の中身は真空だからなんにもないはずなのに
空間がある事には疑問を抱いていました。
物理はわからねえ。
108 :
名も無きマテリアルさん:03/05/14 15:48
そうか、分子がそこにないのに空間が残ってる。
考えれば考えるほど訳わからなくなる。
絶対零度に近付くほど真空に近いんでしたっけ。
109 :
名も無きマテリアルさん:03/05/14 15:52
あらら,
真空屋に聞いてみそ.
真空って一気圧以下のことを言うんだよ
110 :
((≡゜♀゜≡)):03/05/14 15:54
111 :
名も無きマテリアルさん:03/05/14 15:58
━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅(^^)]━―━―━―━―━―━―━―━―━―
なんか、真空度がむちゃくちゃに論議されていますね。
ピラニー真空計は熱伝導を使って計測します。従って、(大気)中真空、10^-3Torr(おじんなもので)ぐらいです。
当然低圧モル比熱により誤差がでます。通常はN2で更正されています。
電離真空計は熱電子を加速して、イオン化する中性粒子の数をそのイオン電流から計っています。
当然中真空で使うと、フィラメントが切れるので中真空以上で使います。3x10^-3以上の真空で使います。これも、ガス種のイオン化断面積が違うので、ガス依存があります。
真空と言っても、1x10^-6Torrで、通常の平面にぶつかる粒子がすべて吸着されれば、1秒で全ての表面に粒子が吸着します。これを1ラングミュアと言います。
当然表面状態を問題とする、実験は10^-10Torr程度まで下げることが望ましいです。
このぐらいになると、さすがに電離真空計が有利になります。
また、2000L/secを越えると、TMPの回転の慣性エネルギーが大きくなるのは常識です。某メーカーはフランジをぶち切って暴れた用です。
ヨーロッパでは死亡例があります。戦車を作っているメーカーなどは筐体を一体で作って、対戦車砲でも貫通しないと宣伝してました。ターボの固定は十分しっかりやりましょう。
TMPは高真空型と反応製プラズマなのにつかうタイプがありすが、静翌と動翌のギャップが違うので、ガスを流す場合は要確認です。
反応製ガスを流す場合はバラスト窒素とパージ窒素で希釈をお忘れなく。
あとはクライオポンプとか、チタンソープションポンプ、イオンポンプなどがあります。勝手にしらべて下さい。
圧力範囲を明確にして論議しましょうね、確かに最近は大気圧から引けるTMPなどありますが、あくまで原則を知りましょう。
なんか、真空度がむちゃくちゃに論議されていますね。
ピラニー真空計は熱伝導を使って計測します。従って、(大気)中真空、10^-3Torr(おじんなもので)ぐらいです。
当然低圧モル比熱により誤差がでます。通常はN2で更正されています。
電離真空計は熱電子を加速して、イオン化する中性粒子の数をそのイオン電流から計っています。
当然中真空で使うと、フィラメントが切れるので中真空以上で使います。3x10^-3以上の真空で使います。これも、ガス種のイオン化断面積が違うので、ガス依存があります。
真空と言っても、1x10^-6Torrで、通常の平面にぶつかる粒子がすべて吸着されれば、1秒で全ての表面に粒子が吸着します。これを1ラングミュアと言います。
当然表面状態を問題とする、実験は10^-10Torr程度まで下げることが望ましいです。
このぐらいになると、さすがに電離真空計が有利になります。
また、2000L/secを越えると、TMPの回転の慣性エネルギーが大きくなるのは常識です。某メーカーはフランジをぶち切って暴れた用です。
ヨーロッパでは死亡例があります。戦車を作っているメーカーなどは筐体を一体で作って、対戦車砲でも貫通しないと宣伝してました。ターボの固定は十分しっかりやりましょう。
TMPは高真空型と反応製プラズマなのにつかうタイプがありすが、静翌と動翌のギャップが違うので、ガスを流す場合は要確認です。
反応製ガスを流す場合はバラスト窒素とパージ窒素で希釈をお忘れなく。
あとはクライオポンプとか、チタンソープションポンプ、イオンポンプなどがあります。勝手にしらべて下さい。
圧力範囲を明確にして論議しましょうね、確かに最近は大気圧から引けるTMPなどありますが、あくまで原則を知りましょう。
━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅(^^)]━―━―━―━―━―━―━―━―━―
>113-114
二重書き込みすみません。
単位が一部抜けてますがTorrです
X暴れた用
○暴れた様
でした、すみません。
118 :
名も無きマテリアルさん:03/05/25 23:52
波動研?
119 :
名も無きマテリアルさん:03/05/27 21:36
いきなり真空が破れたらどうなる?
120 :
名も無きマテリアルさん:03/05/27 22:24
うんこ
121 :
名も無きマテリアルさん:03/05/28 00:51
>>119 TMPだったらもの凄いことになるらしいぞぃ。
実験装置が乗っかった頑丈な架台が、轟音と共に
ひん曲がったことがある、と聞いた。
ロータリやメカブだったら排気音が急にでかくなって
オイルミストをブリ撒く程度で済むかなw。
クライオとかイオンポンプは機械的な稼働部分がないから
大したことないべ、とか言ってみる。
122 :
名も無きマテリアルさん:03/05/28 01:31
>>121 アリがdです。
やっぱ実験は気をつけてやらなくては、と再確認いたすますた。
123 :
名も無きマテリアルさん:03/05/28 01:35
真空待ちだったら液体窒素で遊ぶよな。
124 :
名も無きマテリアルさん:03/05/31 15:07
125 :
名も無きマテリアルさん:03/05/31 16:19
締め切った部屋で液血遊びは禁(yr
126 :
名も無きマテリアルさん:03/06/01 00:59
液体窒素も体に降りかかったら死ぬよな
127 :
名も無きマテリアルさん:03/06/01 15:48
慣れって恐いもんだ。
ウランをバケツで…なんて、笑っていられないかもしれない。
液チは学生のころ、実験の合間に遊んでた。
今考えると…。無知って恐ろしいよな。
129 :
名も無きマテリアルさん:03/06/04 17:39
別に今でもあそんでるけど。
130 :
名も無きマテリアルさん:03/10/06 22:19
>>97 >宇宙空間の薄いとこで1cm3あたり原子1個とからスィ。
その密度の気圧で1Gで加速してゆく宇宙船があるとして
どのぐらいの速度で進行の障害になる?
131 :
名も無きマテリアルさん:03/10/06 23:08
>>130 加速すると宇宙の塵(水素原子等)の他に光の圧力(光圧)も運動の障害になります。
132 :
名も無きマテリアルさん:03/10/08 23:03
兄ーる。
133 :
名も無きマテリアルさん:03/10/10 02:45
べー苦
腐乱児
135 :
名も無きマテリアルさん:03/10/11 17:11
舌ーず
真空波動拳、あちゃーぁーぉ
138 :
名も無きマテリアルさん:03/10/14 05:19
太陽系内の宇宙では、太陽風が激しく吹いているので
真空ぢゃなぃでつ
>>138 お前の思うところの真空の定義を述べよ。
真空でも会話できるように
まばたき通信法を開発すべきだと思うんだが
地球壊れたらマジやばいって
手旗信号で十分だろ(w
142 :
!tt@33CCCC@っどぉぉぉぉヴぃい ◆ddoooooViI :04/10/21 09:20:38
VIPの名をここに刻む
VIPからきますた
144 :
名も無きマテリアルさん:04/10/24 21:56:12
果たして真空とは存在しうるのか
145 :
名も無きマテリアルさん:04/10/25 22:26:03
赤胴真空斬り キボンヌ
146 :
名も無きマテリアルさん:04/10/25 23:56:48
エーテルってさないことになってるけどあるんだよね〜。
え!?どこにって それは in your heart!
147 :
名も無きマテリアルさん:04/10/29 18:09:53
剣道の真
148 :
名も無きマテリアルさん:2005/07/19(火) 21:50:48
真空波動拳、あちゃーぁーぉ
あべし
149 :
名も無きマテリアルさん:2005/07/22(金) 00:07:51
息ができねえ
ホス
151 :
名も無きマテリアルさん:2006/05/02(火) 19:48:25
:::::::::::::::::::::::::::::.
::::::.\:★ノノハ のにゅ
::::::.ミゝ从*´∇`) つ
::::::⊂__つノ
のにゅのにゅマン巡回中!
152 :
名も無きマテリアルさん:2006/12/04(月) 06:43:34
拡散ポンプ油って6年前のとか使うと、やはり排気速度に影響でるかな?
油の賞味期限わかりますか?ちなみにライオンSです。
>>152 保存状態に依存するとは思うけど…。
普通は缶で保存されてるだろうから、水やらガスやらの
吸収もたかが知れてるんじゃなかろうか。
154 :
名も無きマテリアルさん:2006/12/20(水) 00:12:14
皆様教えてください。
リークディテクターに出てくるPa・m3/SECって何ですか?って先輩に来たら
Heの流量だって答えてくれたんですけど、どうしてこれで流量ってことになるんでしょうか?
pv=nrtの左側の事を言ってるってことだったら、ディテクターはHeの個数をカウントしている、って
ことでいいんですか?
155 :
名も無きマテリアルさん:2006/12/20(水) 11:26:38
>>154 1秒当たりの個数だから、流量でいいんじゃない??
156 :
154:2006/12/20(水) 20:22:08
>>155 レスありがとうございます。
自分、頭わるいんで確認しないと気がすまんのです。
1秒あたりの個数ってことは、1秒あたりにディテクターの検知する所に飛び込んできた
Heの個数ですよ、ということですね。
さらに質問なんですけど、この値からチャンバー内の、1秒間あたりのHeの全個数って
どうやったら分かるんでしょうか?
ディテクターにでているPa・m3/SECって、1秒間あたりにディテクターに飛び込んできた
個数なのだから、それは全てのHe個数って事じゃないですよね?
どうやって求めたらいいんでしょうか・・・・
もしかして、ディテクターの検知している所の容積のHe個数が分かれば、チャンバー容積
で検知部の容積を割ったのでHe個数をかければいいのかな?
ほんとすみません、あたまわるくてごめんなさい。
157 :
156:2007/04/25(水) 21:43:32
レスがないので暫く自分で考えていましたが、だいたい分かりました。
答えを出すのに2,3ヶ月かかるって、やっぱり頭悪いなぁ・・・orz
「真空」とはものが一杯詰まった状態
って高エネルギー物理屋さんは言わない?
159 :
名も無きマテリアルさん:2007/04/26(木) 07:37:58
極真空手
160 :
名も無きマテリアルさん:2007/06/22(金) 18:21:06
チャンバ-マンかよ
全然詳しく知らないけど、
真空では常にエネルギーや物質が生成と消滅を繰り返している
と聞いたことがあるなあ。
例えだけど、プラスの粒が生まれたら同じ量のマイナスの粒が生まれて
全体の和みたいなものは0を保ってるとかなんとか。
素人の発想だけどプラスとマイナスに分けるのには
エネルギーはいらないのかなあ・・・?
「生成してもすぐに消滅する」
ここに答えが含まれているジャマイカ。
実際問題としては、本来的な生成エネルギー(E=mc^2)+運動エネルギーを
見かけ上の生成エネルギーと考えればイイ。
さすれば、生成した粒子はその運動エネルギーを得て別々の途を歩むさー。
素人なんだが、真空装置に試料を入れる前に超音波洗浄をしたらいけない
材料とかあるの?
なんだその意味不明な疑問
>>164 今試料でNiOを使ってるんだが、ふと超音波洗浄をしてみたくなってさ
超音波洗浄をしたらOが脱離してしまうんじゃないかと思ってさ
それ真空と関係ないし
167 :
名も無きマテリアルさん:2009/05/27(水) 09:33:54
俺の能力・・・調べたい対象をグーグルで検索するスピードと正確性
例えば美味しいラーメンが食べたい「ラーメンが美味しい店」なんてワードでググらない
「ラーメン レビュー ○○(所在地)近郊」とかで検索する事で精度と速度を上げる
ラーメンだけじゃなくトレンドやニュースでもそのスキルを応用可能
はっきり言ってブラウザとネット回線があれば知識的には最強状態になれる
俺の才能・・・先を見通したり物事の本質を見抜く事
情報操作されたテレビや新聞のニュースをいち早く2ちゃん等で検証して議論
タッチタイプも速い方だと思うしビールと何か食い物が傍にあれば
3時間くらいぶっ続けで同じスレッドで戦う事も出来る
ニュースだけじゃなくネットで話題になってる事件とかにも精通している
ヲチ用にSNSの捨てIDも所持しているからその気になればログインも可能
23歳
そういう力を生かせる仕事をしたい
168 :
名も無きマテリアルさん:2009/06/26(金) 15:45:39
インプラまたトラブルった。
P1が表示されない
A4基盤やイオンゲージ交換したがまったく変化なし
業者対応だ
170 :
名も無きマテリアルさん:2009/06/26(金) 21:29:31
製造装置はSE●
p1はポンプ1〜3まであってポンプ1のこと。
ポンプの真空度(Torr)
171 :
名も無きマテリアルさん:2009/06/26(金) 21:30:56
すまん
装置はNOV●だった
>>171 ホントはポンプが動いていないというオチじゃ?
173 :
名も無きマテリアルさん:2009/07/17(金) 01:31:08
ああ
174 :
名も無きマテリアルさん:2009/09/02(水) 11:54:09
TMPでひいている場所とRPでしかひいてない場所をつなげてるバルブって開けてもおk?
177 :
名も無きマテリアルさん:2009/09/03(木) 11:24:11
頼みます!
TMPつけたままサブのロータリを止めてしまったんだがどうすればいい?
178 :
名も無きマテリアルさん:2009/09/03(木) 16:36:18
浮遊する無難なレアメタル
ロータリ動かせばいいよ
>>177 普通にTMP止めればいいよ。
くれぐれも、ロータリー停止している状態でFV開けて、TMPにRPからの雰囲気を逆流
させないように。どうせRPは油逆流しないようにベントされているんでしょ?その状態で
開けたら壊れるよ。
181 :
名も無きマテリアルさん:2009/09/04(金) 04:43:15
>>180
ありがとうございました。
真空装置って無知だとかなり怖い物だと改めて知りました。
「けいおん!」って、アニメのリズム感がクレヨンしんちゃん的だな
>>181 そんなに怖がらなくても死にはしないよw
真空装置は取り扱いを間違えると、二度と使えない装置になる可能性があるので
管理者の意向に沿って使うのがベターです。
根拠と自信がないうちは勝手なことをしないように。
>>181 チャンバが加圧されるタイプの装置が事故ったときはドカンと爆発するけど、
チャンバが真空槽の場合は、窓材が"内向き"に圧壊してくれるから、その
意味では危険性は少ないかもね。
ただ、TMPに5mmのビスでも落とし込んじゃった日には…。
ポンプのダメージだけでは済まなくなるからご注意を。
ビューポートが割れると、チャンバー内壁に跳ね返って外に飛び散る可能性があるよ。
それと、たいていのTMPには物が入らないようにネットが張ってあるでしょう。
コンダクタンスを稼ぐために俺は取るけどさw
187 :
名も無きマテリアルさん:2009/09/14(月) 00:17:36
TMP使うくらいだから分子流領域でしょ?
だいたいメッシュの開口率掛ければいいんじゃない?
ウチの設計部隊は圧力容器のチャンバ設計には長けているらしいが、
真空容器の設計はサッパリだ。
枝管はおろか、チャンバで一番サイズが大きいフランジの溶接も
内側点付・外側全周溶接じゃない。
アホか。
圧力容器のほうがよっぽど圧力がかかるから技術いるんでない?
超高真空といえども所詮は1気圧。
もちろんリークがあってはだめだが....
>>188 チャンバー酸洗い&電解研磨→すすぎきれずに長時間かけてじわじわと・・・
一番やってはいけないパターン。客に見つかれば装置引き取り。
191 :
188:2009/11/16(月) 23:19:40
192 :
名も無きマテリアルさん:2009/11/22(日) 13:04:15
>>188, 189
オレの経験では、技術が必要な順に
超高圧>超高真空>高真空>高圧>低真空だな。
低真空なんて、それこそ1気圧の圧力差に耐えることだけ考えていればOK。
>>192 ただ耐えればいいなら、なんだけどね。
最近の真空装置は、真空装置内で色々ややこしいことをやりたいがために、
チャンバーをゴニョゴニョしなきゃいけなくって大変なんだよ。
事情を知らない装置屋が設計すると、産廃を納めることになる。
物事を突き詰めると、もうそれ以外はやらない方が結果としてよい。
ついていけないから。大手でもそんな感じ。
3,4inchならまだしも、6inchとか10inchクラスの真空チャンバーの図面が
外側から溶接指示ってマジあり得んと思うわ。
圧力容器が8割、真空容器が2割くらいの割合で受注してるが、真空容器
内にあるタップが完全にメクラ穴状態で、ビスも普通のナベビス指定とか
それで10^-4Pa狙って真空度到達しないからポンプの排気量増やしますとか…。
考え方間違ってる、っつか真空ハンドブックでイイから再読してくれ。
>>194 そーいうことはハンドブックにゃ載ってないのよね。
真空工業会?だったか、失敗事例集があったとおもったけど、そーいうの見せればどうかな。
むかし、内面溶接してなかったからポート全部そぎ落として再溶接しろって言ったら、
どうしても無理なので両側から溶接して、外側に穴あけた。あほかと。
設計指導するのは大変ですけど、やらないとダメなの垂れ流してくるから自分でやってみたら?
俺はやってる、もうやらなきゃいけない部署がありながらすっとばしてやってる。
やらなきゃいけない部署は俺のいいなりw でも全然平気。お客さん喜んでるから。
>>193 お前の事だ
脳味噌のレベルが低いって事
>>196 でもね、あからさまにコピペで図面書いているのがわかるのよ。
大気側に使うポートの図面を、そのまま真空側にも同じ絵で描いてしまうから、失敗するとか。
理由があって線を引くということを、もっと大切にしてもらいたい。
前にいた会社、そんなことやあんなことを色々やって、装置引き取りになってたよ。
もう2度とその客からは買ってもらえなくなった。こんな事もあると分かってもらいたい。
198 :
名も無きマテリアルさん:2010/03/17(水) 20:59:00
良スレ発見><
すみませんが、少し質問させて下さい。
今はフランジに銅ガスケットを用いてシールしているんですが、
Oリング+グリスの方が真空度は良くなるのでしょうか?
また、真空機器に用いるグリスは何がいいのでしょうか。
今まではモリブデンを使っていましたが、モリブデングリスは
ある程度真空度が高くなると窒素を出すと小耳にはさみました。
本当にそんなことがあるのでしょうか。
どなたかご存じの方、ご回答頂けると幸いです。
>>200 銅ガスケットを使い続けてください。
シール面を磨き直し、ガスケットが当たる方向に沿って丁寧に磨いてください。
出来ればコンフラットとかICFとか言われている、ガスケットに食い込むフランジなら
良いのですが。
O-RINGは仕様書をみれば分かるけど、ヘリウムの透過について書いてあります。
最も性能がよいと思うバイトンも、フランジ周囲を袋で覆ってヘリウム充填すれば、
O-RINGの太さによりますが1分程度でリークと間違うほどのリーク値を示します。
樹脂である以上、仕方のないことなのです。
それに、そもそも余計なモノを入れたくない真空装置なのですから、デガスが必ず
あるグリスは使わないに越したことはないです。
残念ながらモリブデングリスは使ったことがありません。真空に使えるグリスと言えば
フッ素系、シリコン系の2つしか知りません。でもフッ素系しか使いませんが。
しかし、どのようなグリスでもN2が出てくる以前に練り込まれた大気がデガスする
ことでしょう。
他にもグリスは種類がありますから、一度メーカーに問い合わせて用途を聞いた方が
良いですよ。
モリブデングリスはフランジのネジのかじりつき防止に使うけど,
真空内部には確かに使わない.
>>200 すみません書き忘れていました。
そもそもリークがあるのか否かで、シール面を修正するしないが決まります。
リークしていないのならいじる必要はありません。余計なことをしてリークさせてしまい、
治らないことがあります。直すのは馴れていないと難しいのです。
全然リークが検知できない状態ならば、そのまま現状の銅ガスケットを使い続けてください。
バイトンO-RING+フッ素系グリスに変えたところで良い方に変化はありません。
恐らく現状ベストなグリスはフッ素系でしょうが、それでもデガスに悩むことでしょう。
真空度をよくしたいのならチャンバーベークしてください。
チャンバーの構成物の中で一番耐熱温度が低い物を調べ、それ以下の温度でベークを
1日以上長く続け、ベークOFFしてそのまま排気し続けてください。
使い続けている装置であれば、極端に効果はないかもしれません。求める圧力によって
この辺は変わります。
出来れば、Q-MASSを用いて、チャンバー内で何が出ているかを調べ、それによって
対策を練ればある程度は到達圧力が下がることでしょうが、計算上の到達圧力よりも
下がることはありません。よって装置メーカーの仕様を読み直してください。
バラトロンで圧力を測定したらマイナスの値が出た。
どういうことなの・・・
>>204 可能性として
0.配線が外れている
1.校正が狂っている
2.壊れている
>>200 取り扱い真空度を記述しましょう。
既に解決しているのならよいけど....
>>205 ありがとうございます。
修理されて校正されたばかりだから壊れたのですね・・・
故障の原因はなんだろう・・・。
落としたりしてないし気がついたら表示される値の範囲がおかしなことに
207 :
200:2010/06/14(月) 19:24:27
返事が遅れまして申し訳ありません。
>201, 203
ガスケットが当たる方向に対して研磨するとはどういうことでしょうか。
円周状に研磨するということでしょうか。また、放射状にということでしょうか。
モリブデングリスはもう古いトレンドなのですね。他のグリスも検討してみます。
真空度が悪かったので、リークの可能性のありうる全ての箇所を締め直し、
エタノール検査をしてみたのですが、効果ありませんでした。
それで、問題はガスケット自体ににあるのではと思い、質問させて頂きました。
チャンバーベークもしているのですが、改善は認められないので原因は
反応炉内の付着物ではなさそうです。
Q-MASSは用いていませんが、フォトマルチカウンティングにて観測を
行ったところ、N2の反応が非常に高かったのでリークを疑っておりました。
>202
ありがとうございます。
チャンバ内部のグリスについて検討してみたいと思います。
ご回答頂いた皆様、ありがとうございました。
もう少し試行錯誤して原因究明に向けて努力したいと思います。
IPDガスケットを使う手があるけどね
210 :
200:2010/06/16(水) 20:50:50
>205
プラズマCVDなので、到達真空度は1*10^-5以上欲しいと思っています。
>208
真空グリスの紹介ありがとうございました。検討してみたいと思います。
>209
IPDガスケットを用いることで、何かデメリットはありますでしょうか。
また質問だらけになってしまいましたが、どうぞよろしくお願い致します。
>>210 IPDガスケットのデメリットはICFガスケットよりも高価なこと。
特にこれといってデメリットはないような気がするけど...
使い回しがしにくいとか、大きなフランジの時には不安だとか
細いので曲げないように保存しておく必要があるとか....そんなところかなぁ〜
あと、グリースだけどフッ素コンタミが気になるようであれば、アピエゾンというてもある。
高いけどw
10^-5torrであれば、信越シリコーンでも十分な気がする。手に入りやすいし。
どう見ても素人な人にフランジの研磨とか教えちゃだめだろ.
絶対に状況を悪化させるw
締めつけのトルク管理してるかとか,そういうベーシックなところから
教えないといけないんじゃなかろうか.
ところで,IPDガスケットって使い回し効かないの?
普通の銅ガスケットより再利用しやすいってのが
メリットだと思ってたんだけど.
214 :
200:2010/06/17(木) 23:14:05
>211
失礼しました。単位はTorrです。
>212
とりあえず、今使っているICFガスケットで2*10^-6まで到達できたので、
しばらくはこのままやってみようと思います。ありがとうございました。
いろいろ調べてみましたが、グリスもバカにできない金額しますね・・・。
>213
締め付けトルクの管理は全くしていません。常に力の限り締めていました。
締め付けトルクの管理というものは、トルクレンチでしかできないものなのでしょうか。
そんなに大きなチャンバではないので、ホームセンターで売っているような大きな
トルクレンチは使えないと思うのですが・・・
>>213 >>212だけど、俺の経験の差かもしれない。
ICFだったら4,5回は使えるけど、IPDでそこまで使ったことはない。
なんか、つぶす面積が広いからボルトや頭に負担をかけそうであまり使いまわしはしたくない。
>>214 トルクレンチは高価で場所を選ぶので、フィラーゲージで十分です。
同じガスケットを何度も使いまわしたいのであれば、トルクレンチ+フィラーゲージがベストですが...
>>214 ICFの銅ガスケット、基本的に潰し切る(ICFフランジ同士が密着するまで締める)ものではありません。
ICFフランジ同士の間には僅かに隙間が残っていて、なおかつICFのナイフエッジは全周およそ均等にCuガスケットに食い込んでいる状態で使うものです。
その状態を(よほどの素人でなければ)誰でも作れるようにメーカーが教えてくれているのが、締め付け手順であり、規定締め付けトルクです。
逆に言えば、1行目で書いた「潰し切り」の状態になるまではCuガスケットは再使用できます(ちょっとテクは必要だし、当然リークテストはしなきゃいけません)。
でもあまりガスケットの再使用をされると真空業界の儲けが減るので、ほどほどにして下さいね☆み
217 :
200:2010/06/24(木) 01:12:07
>215
なるほど、フィラーゲージですか。次から使ってみようと思います。
>216
研究費と相談しつつ、Cuガスケットの再使用のスキルを少しずつ身に付けていきたいと思います。
ご回答頂いてありがとうございました。また疑問にあたったら相談しに来たいと思います。
そのときはどうぞよろしくお願いします。
みなさん回答済みみたいですが・・・・
>>204 電源入れてから、バラトロンのフルスケール以下まで排気して4,5時間放置して
暖めきったらゼロ点合わせする、とか、やってますか?
毎回取説見ながらやっているので記憶が曖昧ですけど、まずはゼロ点から。
>>200 213さんが指摘しているのですが、安易にシール面研磨を教えてしまってすみません。
10年装置触っていても難しいので、よく知っている方に教わりながらやらないとナカナカ
出来ないものです。
銅パッキンならアルミフランジではないだろうから、たぶんSUSですよね。SUSは
直しやすいですが、アルミなら止めた方がいいです。
N2がチャンバー内に観測されるということであれば、チャンバーリークだけでなく、
N2でチャンバーベントしているとすれば、バルブ内の弁からN2が閉じきれずに
漏れている可能性があります。もしN2の供給をストップ出来るのであれば、一度
そうしてからチャンバー内のN2を観測してみてください。変化があればバルブ内部
リークです。
またエタノールでのリークテストで分かる範囲ならば、きっとガスケットに問題があるはずです。
それで反応が無いのであれば、もっと違う話でしょう。
それにHeリークディテクタに比べれば小さいリークはそれほど分かりません。
それにエタノールによるリークテストは、磁性流体を用いるシールや、グリスシールの部分
にはエタノールは厳禁なので、参考程度やHeの回り込みによるリーク判定の難しい箇所に
使うなど、実施するタイミングが真面目に考えると難しいものです。
ポンプの排気能力が落ちたとかは考えられませんか?ロータリーポンプなら油変えると
性能が戻ることがあります。
圧力上昇値は幾つですか?常に控えているならば良いのですが、チャンバーのコンディションを
知るには一番知っておいた方が良いことです。
圧力がいつもの値に下がらない、というのは、結構色々な問題が隠れていて、馴れないと
問題解決するのが難しいものです。よって常にチャンバーのコンディションを把握するように、
定期的に消耗品交換や、圧力上昇測定を行い維持管理に努めると、結果デバイスが
安定して作れるようになります。