【素材】小型・高抵抗で温度特性に優れたニクロム系合金超精密チップ抵抗器の開発に成功 ...JST[5/10]

小型・高抵抗で温度特性に優れた超精密チップ抵抗器の開発に成功

　独立行政法人科学技術振興機構（理事長 沖村憲樹）は、委託開発事業の開発課題「超
精密薄膜チップ抵抗器」の開発結果をこのほど成功と認定しました。（中略）

　従来、抵抗体に特殊な合金箔を使用し、温度特性、長期安定性に最も優れる超精密級金
属箔抵抗器がありましたが、金属箔の微細加工が難しく、小型化・高抵抗化には限界があり
ました。一方、抵抗体に金属皮膜を使用する金属皮膜抵抗器では高抵抗値が取得できます
が、温度安定性・長期安定性が劣っていました。

　本開発では、抵抗体にニクロム系合金を採用し、薄膜スパッタ技術と、最適な熱処理管理、
および半導体製造技術を応用した薄膜抵抗パターンの微細加工技術と、抵抗値に影響を与
えないパッケージ方法を開発することにより、小型でありながら高精度・高抵抗で、耐環境性
に優れた超精密級金属薄膜抵抗器の製造を可能としました。

　本新技術による製品は、米国防省の物品調達規格（MIL規格）にも準拠する耐環境性を
もち、小型でありながらも高抵抗であることから、使用温度範囲の拡大と抵抗値変化の低減
が可能となり、高精度・高信頼性が求められる産業用高精度電子機器、使用環境の厳しい
航空宇宙の分野および車載用電子機器等への利用が期待され、数年で数百万個、数億円の
売上げが期待されます。（中略）

（内容）
抵抗体としてニクロム系合金を基板に薄膜スパッタし、最適な熱処理と微細加工技術等に
より、小型・高抵抗で温度特性に優れた超精密チップ抵抗器の製造を可能としました。

　本新技術は、極薄膜の抵抗体の精度向上のため、アルミナ基板の表面がガラスコーティ
ングされた平滑度の高いグレーズ基板を採用し、抵抗体にはニクロム系（Ni-Cr＋数％の
添加元素）合金を基板に薄膜スパッタしました。温度安定性の向上については、成膜条件の
最適化により最適な温度特性条件と温度係数が最小となる熱処理温度を見いだしました。
高抵抗値の取得については、微細パターンが精度良く露光できる条件を確立し、ドライエッチ
ング法（イオンミリング法）により１ＭΩのパターンを得ました。抵抗値の精度向上は、抵抗パ
ターンの中に予め調整用パターンを組み込み、このパターンをレーザトリミング（配線カット）
することで、高精度の抵抗値を得ました。使用温度範囲の拡大と長期安定性の向上につい
ては、熱処理した抵抗体を安定化処理し、抵抗体表面に保護層を形成することで、広い温
度範囲で経時変化を抑えることができ、外装樹脂や端部電極の形成についても熱膨張に
よる応力を緩和する構造を確立しました。（略）

プレスリリース全文、図、用語解説等はこちらです。
科学技術振興機構報第１７３号　平成１７年５月１０日
http://www.jst.go.jp/pr/info/info173/index.html

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２ゲット

ちんこでかいわはみ出てるわで大変

あはは。丁度アルファエレクトロニクスのPDF見てたところだ。
とりあえずこいつの ppm/℃ のデータを知りたいな。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 (⌒⌒)
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　∧_ ∧（　ブッ　）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ( ・ω・` ) ノノ〜′
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 （⊃⌒*⌒⊂)
　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　/__ノωヽ__）

これってひょっとして村田製作所にとって打撃？

アルファエレクトロニクス想像してたらやっぱり関わってたのか。