真空待ちの人

今どきこんなヤツは俺だけか。
オイルポンプだし。

待ってまーーす。
そんでもって。
オイルを逆流させてしまいました。
さあ、研究室にいる奴全員集合。
「みんなで、拭こうね♪」

ロータリーポンプをリークしたまま二晩動かしました。
中のオイルは全部なくなってしまい、
気づいたときには手で触れないぐらいに熱くなってた。
オイルを入れたら直るだろうか？
分解掃除でなおるだろうか？
それとも修理に出すのか！？
せめてもの救いはターボ動かしてなくて良かったこと。

装置勝手に操作して、リークさせちゃった。
明日朝まで、何とかマイナス９乗Paまで真空下がらないと、
教授に怒られる♪（つぅか、まじどうしよう）

>>4
それは大変。
でも4のボスは結構怒ったりするのか？
俺のボスは結構凄い事しても、笑ってすませてくれる。
しかも、俺ら学生が使い物にならんので
自分で実験してたりします。ごめんボス。
でも今日も、程良くサボらせてもらってます。（甲子園見たり。。
こんな俺は逝って良しですか？

あ、ロータリー復活した。日頃の行いが良いから？？

>4
明日の朝まで−９乗Ｐａは無理でしょう。
大気圧からだとベーキングして最低２〜３はかかるのでは？
私はＲＰ、ターボ、イオンポンプつかってまーす。
メータ操作して見かけ上だけ−９乗にしておけばｗｗｗ

うちの装置でガス導入用配管をロータリーで２日間
引きっぱなしにしてたんだけどこれってやばい？
配管油まみれ？

>>7
配管が密封されているとすれば、配管内が真空になるだけですよ。
この状態でＲＰ止め、ＲＰリーク弁開かないでいるとＲＰオイル
が上がってきて配管内が油で汚れます。
また、単純にＲＰが大気を排気し続けると、ＲＰの排気口からオイル
が噴出して、ＲＰ周辺が油まみれで汚れます。
まぁＲＰが大気引き続けると、ＲＰの音が収束せずうるさくて気づくものですが。。

♪リークしーちゃいましーたー（やっちゃったー）
　ピピッとー音が鳴ってー（なっちゃったー）

−９乗ってすごいなー　俺んとこなんか−７乗ぐらいで
「やっちゃえやっちゃえ」てなもんですわ

昔、真空待ちしたなぁ・・・。
RPの後、ディフュージョンポンプ使ってたなぁ・・・。
液体窒素を１時間に１回冷却タンクに補充したっけなぁ・・・。

さあ、何年前の話でしょう！

RP、メカブ、ディフュージョン、ターボ、イオン、チタン。。。
私も昔は、いろいろ使って真空待ちしました。

昔、夜中の３時に一人
窓の無いクリーンルームで
真空引いてました
さすがに鬱になりました

>>10
いま、遠い目をしたでしょう？
>>11
あなたも。

うちの研究室もオイルポンプだ・・・
このまえオイル飛び散って服にかかっちゃったよ・・・

10、11の人みたいな話聞くと、真空技術ってそんなに進歩してないのです
かねぇ。同じようなポンプの名前ばかりだし。

あげ

待ってマース、引けたら、石英14mm管封入しマース
失敗したら鬱死

3時間でー６乗ってどゆこと？
みんなどれぐらいの時間でどれぐらいTorrまで引けてるの？

完全な真空ってなんでできないんですか？

うちは小一時間あれば6乗台には行くぞ

http://bom-ba-ye.com/a.cgi?as-toro=7

あのーずっとＰａ単位で話し見てました。。。
学生さんが多いと思うけど、いまだにTorrなんですか？
それとも使ってる真空計が古く、表示がTorrだからですか？

ウチ貧乏だからそうそう機器更新出来ないからね･･･
つか壊れるまで更新できね。
真空計も買えないウチって･･･フフッ
わざと壊しちゃいたい（はぁと

ねよねよ･･･
明日には切れてた試料もきっと届くだろう･･･

>>22うちもTorrだよ
一応真空計に、PaとTorrが一緒に表記してあるけど
先生がTorr、Torrうるさいので皆Torrを使ってます

>>22
　先生の出身畑によってTorrを使っているかPaを使っているか決まる
様なことを昔聞いた気がする。

うちもデフォルトでTorr。

まぁ新品でもTorr表示のものあるよなぁ。
でも論文書くときはPaにしてる。
つーか、すべてPaで統一せいっちゅう話になってるハズなんだが。

mmHgだけど何か？

うちもtorrです。教員がPaに対応できないから。

うちもTorr！っていうか、Paのひとが少ないのは何故？？？
＞２７　そうそう、論文だとなぜかみんなPa

待ってるぞ

>>31
俺もだ。つうかサンプル一個失敗した、透過パターンがキラキラ。

なんかターボから変な音が。。。。
おいバリアン！

実験、工学はＴｏｒｒと勝手に予想
さ〜て、今日も引いちゃうぞ

真空待ちでデートの待ち合わせに遅れたYo!
もちろんフラレタYo!

こんな地下実験室でなんか彼女一生できないYo!
何のためにいままで人生頑張ってきたんだろうと疑問に思う毎日。
最高学府なんて何の意味もないYo!
私大文系の奴らなんて、院いかずに出世して
かわいいOLと週末は遊んで気持ちいいことして
いいなーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー！
浪人のときに想像したのと違うよなー。
意味ねぇーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー！

こんな休日の夜中にうるさいロータリの音が身にしみるYo!

真空待ちの間に論文の一本や二本読めば
ｶﾅｰﾘ頭良くなる。
とわかっていながら２ちゃんやってしまう駄目なオレ。。

>>35
Ｋ帝国の学生ﾊｹｰﾝ

泣けるね。お互い。
朝6時30分。早く帰りたいけど
11時からMeetingだよ。（泣）

>36
待ってる間、マガジンやサンデー読んで来ます

今の時期は乾燥しているから真空引きも3時間程度(10-4Pa)で済むけど、
梅雨の時期はほんとに泣けるな。

>>40
おいおいどんなポンプつかってンだ？
もっといいの買ってもらえ(ｗ

>>40
季節に影響してるようだから
バカ漏れしてんじゃないの？

それにしても
きゅ〜〜〜インって音は気が狂うね

>>42
毎回ブレイク系じゃない？

15年物のDPだ。
漏れているわけじゃないよ。
試料交換する時、チャソバー全開ですから。

>>44
だからターボぐらい買ってもらえって(ｗ

ビンボーだから無理だな（藁

俺も真空引き中。
まもなく焼きます。

貧乏なら負けないヒックマンなんて君たちしらないだろうな。最近はHgの入手も
困難になってきている。ああ　憧れのターボさま！！

間違えてリークしちゃったんだよね。
んでも、教授が巡回に来るからさ、真空下げなきゃ行けなかったのね。
で、俺が取った行動は、チェンバーにエキチぶっかけ。
結果は聞かないでください。

>>41-42
水って重要じゃない？
ベーク時間にかなり効くと思うんだけど。

ターボポンプ使いながらRFプラズマつけてる人います？
ノイズを落としきれなくてたまに位相エラー起こすんですが。

>>51
それ、かなり昔のターボだな。キンキンキンとか音がするだろ。
最近のはそんなエラーは起こさくなっているけどね。
アースをいっぱい取るんだね。電源ラインにノイズフィルターを
入れると効果あるかも。

<<アース

。。。これが結構大変なんですよね。要経験
やみくもにグランドとりまくってもループになるだけだし
、一点アースで敷きなおしてみるかのー

しょうゆチュルチュルと液窒入れるサイフォンと
どっちが先に発明されたんですか？

ターボはやはりバルザースが一番か

varian

真空挽きは時間がかかるね…。

スパッタ装置の窓からプラズマリング眺めながら
どおかんっといかないか
いつも心配でしょうがなかった

一年以上真空装置放っておいたんだが…
今ごろどうなっているだろうか…
ベークすれば戻るかなぁ…

>>56
今までに使ったことがあるのは
バルザースとバリアンと三菱
でも信頼性からいうと
バルザースが一番と思うのですが

>>58
スパッタならアルゴンだろ。いくわけないじゃん
窓から眺めて綺麗なのは、シランのプラズマ発光色
ただし、漏れたひには、まじにドカーンといくが

わしゃシランとかいう、ありふれた駄洒落はナシ

三菱のターボって車みたいだけど、あるんですかね？

セイコーの磁気浮上は使ったことある。

三菱のターボは、かなり昔からあるよ。
でも、セールスのYさんが亡くなってから、迫力なくなったなぁ。
セイコーはつい最近、真空ポンプ部門ごと、どこかに身売り
したんじゃなかったかな。

>>61
その通りです。はい
３年程、RFで希ガスAr：酸素＝8:2でスパッタしてたんですが
リークばりばり出て、リングが安定してないのを見て
かけてる電圧が電圧なので、少しばかり不安になるんですよね
大丈夫だとは言うものの。。。

真空度計でピラニゲージは本とかに原理が書いてあるんだけど
ピラニよりさらに高真空度用らしいイオンゲージって
どんな原理なんです？

熱電子で残留ガスをイオン化。
そのイオンをコレクタ電極で集める。

イオンゲージって電離真空計のことだよね？

合法品の「コピーガードキャンセラー」を
手に入れました♪♪♪

下記のホームページから買いました↓
http://www.guruguru.net/auction/selleritem.php3?list=10&userid=17721

>>64　リングが安定していない
あんまり反射が大きいまま放電続けていると
電源をいためるから気をつけてね！

TBSで
紙幣吸い付けとして銀行のATMに
ロータリーポンプが使われてるというのをやってました
そんなのにもロータリー使うんだと思いました。

>>69
それ、俺も見た。
ロータリーで宇宙と同程度の真空が得られるとか言ってたな。
こちとら商売上がったりだわ。

私は、みなさんのような超高真空は必要ないんですが、
2x10-6 Torrまでいくのに３時間以上かかる
ディフュージョンポンプ使ってるのって
ヤバイですか？

油回転、油拡散で1x10-6 Torr到達まで
１時間くらいだったかなあ大学ん時
確かに３時間は遅いかなあ
油交換とか必要な時期なのかもしれませんね
どっかがリークというのは無しとして

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　,、
　　　　　　　　　　　　　　　 　　／ .＼
　　　　　　　　　　　　　　　　／ζ 禿　 ＼
　　　　　　　　　　　　　　／￣￣￣￣＼.＼
.　＿＿＿＿＿＿＿＿,/　　　　　　　　　＼＼＿＿＿＿＿＿＿＿
　＼　 　 　 　　　 　／/＼ 　　　＼　 ／　 |￣＼ 　 　 　 　　 　 ／
　　 ＼　　叩　 　／　 |||||||　　　(･)　　(･) ｜　　＼　　騙　　 ／
　　　　＼　　　／ 　　(6-------◯⌒つ ｜　　／￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣
　　　　　 ＼／　　　　｜　　　　＿||||||||| ｜　＜　カツヲめ、またワシを召還しおったな！
　　　　　 ／＼　　　　　＼　／　＼＿/ ／　　　＼＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿
　　　　／　　　＼　 　（（　＼＿＿＿_／　）） 　　 .／　　　＼
　　 ／　　逝　　 ＼　　　 　　　　　　　　 　　　 ／　　煽 　　＼
　／　　　　　　　　　＼ ＿＿＿＿＿＿＿＿／　　　　　　　　　＼
　 ￣￣￣￣￣￣￣￣＼　　　　　　　　　／￣￣￣￣￣￣￣￣
　　　　　　　　　　　　　　 ＼　　氏 　　.／
　　　　　　　　　　　　　　　　＼　　　／
　　　　　　　　　　　　　　　　　 ＼／
http://www.puchiwara.com/hacking/

ポンプの排気量、チャンバーの容積...
いろいろあるじゃん？

くらいお、くらいおポンプは〜いかがっすか〜
今なら不景気でお安い、くらいおポンプはいかがっすか〜

ドライポンプ、ターボポンプとの組み合わせで５０Ｌチャンバー６ｈ
でひきまっせ〜

あ、何Ｔｏｒｒまで引くのかわすれてた（ｗ

みんなは何Torrまでいってる？
うちの研究室の最高は、3×10＾-9Torr

5X10^-9 Pa
TMPをタンデムにしてます。

>77,78
真空度だけ聞くと「ナニ、−９乗？ スゲェじゃん」って思うが、
チャンバの大きさはどれ位なの？
実際のところ。

電離のフィラメント切れる間際だったりして…(藁。
てか、−９乗オーダーの真空度を測れるかどうか忘れたが。

>>79
MBEですね、MBEでは当たり前の世界みたいです
-9乗なんて
3〜5×10-10Torrというのもあるみたいです。検索してみそ
となり研究室はMBEでターボで引きつつ
チャンバー全体を液窒に浸して真空度上げてます
だから、一夜で人の背丈ある液窒タンク使い果たします。
知ってるとは思いますが、液窒でチャンバーに浸すのは
冷やしてガスを壁に吸着させて真空度を上げるためです

冷やしちゃうのか。
そんな手もあったか。

結構、小さいチャンバーです。
STMですわ。ゆえにパスカルで9乗。

うちはMBEです。
チャンバーは結構ちっちゃいです。
0.5立方メートルぐらいかな？
パスカルでも9乗いくのか・・・すごい
ちなみにチャンバーのまわりに水冷管を巻き付けて冷やしてます

5×10-9Pa≒3.5×10-11Torr
Pa表記だと分からんので濡れのための自己レス
わたしは６年前に引退したんですが、
Torr表記とPa表記どっちが多いでしょか？
使ってる真空計の表記によるんでしょうけど。。。
ちなみに私が使ってたのにはTorrメモリの下にPaメモリが書いてあったけど
圧倒的にTorrメモリばかり見てた。。。

どっちかという問題じゃなくて、ISOか何かでTorrをやめてPa表記に統一する
という決まりが出来たんじゃなかったかな。
だからレポート類すべてPa表記。　毎回変換するのがめんどぉー

今使っているチャンバーで、3x10-6Pa て所で並かな。
チャンバー内径φ450 あるが。

いつの間に到達真空度自慢大会になったんだよ。　w)

うちは『Torrのほうが数字が低いから真空度が低く感じられる』
と言う担当助教授の勝手な言いぶんでTorrで表記です。
>>85
真空まちのスレの自慢は真空度ぐらいしかないので（w

チャンバーなのかチェンバーなのか？

ベントなのかリークなのか

真空→大気　ベント？

パージは？

chamberは辞典を開くとチャじゃなくてチェが正しいような
発音記号がようわかりまへん。。。eの上に’が付いてる記号はエと発音？
MBEで光の超格子やってる、講義中「CuInSe略してCIS、ロシアの連合国家体もCISで
CISはロシア人が最初にやった」と言う教授がチャンバーじゃなくてチェンバー
なんだよ、でも日本人チェンバーっていいづらいからチャンバーって言ってしまう
んだよねって言ってた。
ベント。。。初めて聞いた言葉だ。。。

ダ・パンプ

5x10-9Pa　って英語でなんて言えばいいの？
ごかけのマイナスきゅうじょう　　の　かけがわからん

>>69
遅レスで申し訳ないけど、
うちのぼろいIPリーダーは、
なんとIPの平面吸着にRP使ってるYO!

>93
five multiplied by ten to the minus ninth power　Pa

でいいのか・・・・な？

真空封入中って
ポンプで引きながら、ガラス管をバーナーで封入？
なつかしいなあ、その後アニール炉ですか？
ものはなんですか？

うちの蒸着槽は30分で2×10-7Torr。半日ベークで
5×10-10Torrにいくよ。
STM槽は2×10-10Torr。

っていうか、4年なのにSi(111)7×7にAgを蒸着して
STMで測定。卒論は助教授の論文のネタ。鬱．．．

>>94
IPリーダ？
IPって？
InternetProtocol？それともASICとかのIPマクロとかのIP？
IPってなんだ

蒸着槽は三菱、バリアンのタンデムターボ。

>96
そのとーりです。
モノは、Ti-Niです。
1×10-6Torrまで上がるのを待ちながら、
ニュー速プラス見てます（ｗ

あ、LN2入れて来なきゃ。

そういや、94では名前入れてなかった・・・。

>98
Imaging Plate。
電顕屋さんかX線屋さんじゃないと縁がないのかな？

94じゃないけど

IP　イメージングプレート
　現像のいらない直接読み取りできるX線フィルムみたいなもの
　X線回折で使うみたいよ
　

　

一番丈夫なＴＭＰ・・・ファイファーと大阪真空　大気突入しても大丈夫なシリーズあり。
一番シェアを持っているＴＭＰメーカ・・・セイコープレシジョン　５割以上あるらしい。
一番水素の圧縮比が高いＴＭＰ・・・三菱　タンデムの２台目にお勧め。
一番うるさいＴＭＰ・・・大阪真空　だけど安いので仕方ありません。


ところでゲートバルブのランキングはどうよ？やっぱＶＡＴ？

>>102-103
申し訳ない（ｗ

VATでしょう。

ガラス管封入って
濡れのときは銅酸化物超伝導体で還元剤と一緒に封入して
アニール炉で酸素抜くためにやってた手法だったけど
けっこう物性ではいろんなとこでやってるんですね。
勉強になりますです

今はどこのＴＭＰでも、大気突入で壊れない、というのはあたりまえになっている。　
結局、技術的にはどこも５０歩１００歩で、価格競争の世界になっている。

最強のポンプはやっぱクライオ？

クライオはすごいね。でも、あの、ゴトゴトゴトという音が嫌い。

クライオポンプってヘリウムで冷やして引くのか。。。
確かに冷凍機の音とかすごそうなな感じがする。
見たことないけど。
ヘリウムなんてクライオスタット使用するとき意外お目にかかんないし
クライオスタットは水分引き損なってガラス面が霜に覆われ鬱になり
最悪、１００万するオーダーメイドのクライオスタットを割って鬱になる
後輩君はクライオ割って顔面蒼白の鬱になってた。。。

徹夜で真空待ちのみんな起きてるかあああ！！！
ディフュージョンにLN2くべるのを忘れてないか
寝ちゃだめだぞ！定期的にくべるんだぞ！！
誰か全自動LN2くべる君発明してくんないかあ．．．

>>93
いろいろあるけど、口語でどれがもっとも頻繁に使われるのかは
知らないよ

five times ten to the minus 9th (power).
...to the minus 9.

naruhodone

昔装置をベークしようとして、リボンヒーターのスイッチ入れたら煙出てきて燃えそうだったからあわててべーく終了。

油拡散ポンプ使って停電に遭いました。
室内の蛍光灯ついてたから、全然気づかなかった・・・。
チャンバーの中、油だらけ・・・。

研究室の後輩が、私がチャンバーのメンテナンスのためにリークしてたのに、調べず真空計の電源を入れフィラメント焼ききりやがった。

あぁ〜っ、くそ、クライオにロータリーの油ちょっと逆流させちゃったよ。
鬱死。

50リットル-8乗torrまで引くのに約半日
しばらくベークもしていないからなぁ

うちは-11乗まで行かないと実験になんないから、ゆっくりやって時間はあんま気にしないんだけど、ここ見てると真空引きってスピードも重要なんだなあと思う

どんなポンプ使ってるの？うちはー９乗前半。

うちは真空蒸着だから-6とか-7[Torr]で十分。
油拡散だから激烈に遅いけど・・・（涙）。

うちのロータリーポンプ、油漏れしてんだけどこれってやばい？

RP油漏れって、焼き付かない？

さっき確認したらロータリーポンプの油があふれてる。
だれだyo!こんなに給油したのは。
学科共有だから犯人も分からん。

かなり発熱してるけど、焼きつくまではいってないよ
真空悪いのはこいつのせいか？

もしかしたら、真空でも戦える戦闘機とか開発してしまいかもしれない。
　
俺は・・・・

　
なんと　おそろしい
。

ﾜｹﾜｶﾗﾝ.

ディフュージョンポンプの原理を教えてください。
真空を取り扱ってますので多少専門的な話でも理解できます。
大まかな理解はしていたつもりだったのですが、液Ｎ２を要するタイプを見て以来、ちょっと自分の考えに修正が必要と思えてきました。

>>129
http://www.arios.co.jp/untiku.htm

あ〜ぁ、いい加減、真空封入に使うDPをTMPにしてほしい・・・。

でも、封入に失敗したり、石英管割ったりすること考えると
現実的には無理か・・・鬱

真空待ちの間は、みなさんは何をしているのですか？
ぼくは、ＭＸでエロ動画をＤＬしてます。

ベークヒーター触って火傷した。

>>129
液体N2は蒸気となった油が、低圧側に侵入するのを防ぐためのものだから、
それ以外は液体N2を使用しないDPと同じ。

おまえら真空引きすぎ
うちの会社じゃ1×10−1乗（Pa）いけば良い方だ
　（容量110L、ドライポンプ＋メカブ）

>>135
CVDはガス導入するからだろ
それに真空度ある程度上げんと
物の質が悪くなる．．．

0.1PaでＣＶＤをやっているって・・・　(　´,_ゝ`）プッ

>>132のＹ本です。
どうして誰も答えてくれないのですか？
一般的にいって、ぼくをいじめていると思います。
みなさん、冷たいですね。

>>138
Y本って名前の奴身近にいるんだが君なのか？

>>139
ぼくのことを知っているんですか！？
人がどう見るかは分かりませんが、自分では美男子だと思っています。
ぼくの特徴を書いてもらえれば、本人か否か分かります。

キモイよ、、
一般に使用するにも、場合によっては火傷しますよ〜。

MXにより、無駄な精力が溢れんばかりに沸き上がり、砂漠化促進。
ｽｰﾂ装着時、絶妙な割合の横分けというｽﾃｷ仕様になりますが、何か？

>>142
あなた誰ですか！？
あの”絶妙な割合の横分け”は学歴ない人には分からんのです。
もしかして、ぼくをヲチしているストーカーですか！？

>>142　追記
>【真性】ﾌﾗﾝｹｿｼｭﾀｲｿｽﾀｲﾙ【ｷ印】
ぼくが、”フランケンシュタイン？のような額”をしていると
言いたいのですか！？

>>140
最近見ないと思ったら、こんなとこで時間つぶしてたのね。
ちゃんと研究室に来なさいYO！！

鉄鋼の溶鋼二次精錬のＲＨ真空脱ガス方式のブースター・エゼクターに使用する
気体は何故蒸気なのでしょうか？

ところで、回転ポンプ油って、フッ素系か鉱物系か程度の違いでみんなおんなじ？
蒸気圧性能のいい奴ってあるの？値段とか同じようなもん？
教えて君でごめん・・・いままでエドワーズとかアルカテルとか
アルバックとか適当に使ってたから

ＭＤＣのＨＰすっげー重いっ

三菱ターボポンプ　シンクーンって名前に脱力してしまいます。

>>112
うちの会社のスパッタに付けようとして大失敗した。
液面センサーが問題で、熱電対とレーザーを試したが誤動作が多くて無人動作
なんて無理だった・・・

なんか懐かしいな、真空引き。
漏れも大学の研究室でいじってた。
エミッション実験用途なので-10乗Torr台必須。
スタートは常に大気圧からね。
漏れのところ粗引きはロータリ＋TMPのコンビネーションポンプ。
15分程度ロータリで引かせてからTMPオン。
んで定常回転しだしてからおもむろにイオンポンプ起動。
ようやくTMPが回り始めた程度の真空でイオンポンプ立ち上げるので
電流流れすぎ。すぐに電源落ちるが力強くon/off繰り返したら
そのうち安定しだす。
2時間位したら1x7乗Torrまで逝くので200℃でベーキング開始。
ここではTMPのみで引かせる。
あ、教授がいないときは250℃オーバーで(w
12時間程でベーク終了。後は2，3時間イオンポンプで引かせとくと-10乗台前半達成、実験開始。
あー、懐かしい。
何度9乗台で涙を呑んだことか・・・つД`) うえーん

-10乗台なんて想像つかない(藁。
チャンバの洗浄とかシール(銅パッキン?)とかも相当気を使ったんでしょうな。

ターボ分子ポンプでチンポひいたＹＯ

>>153のﾁｿﾎﾟはスライスされますた

スライスじゃ済まないんじゃないか？(藁

俺、高さ2ｍのＤＰ見たことある。
あれまだ使ってんのかな?

夏は研究室エアコン効いてるから、
うまくいけば-10Pa超えたなぁ。

みんな、真空漏れテストってどうやってるの？
漏れ無し高級機材しか使わんの？

漏れテスト？
フランジの継ぎ目に注射器でメタノールをチュ〜ッと垂らす程度。

ウチの研究室の真空レベル：10^-6から10^-7Torr。

Heりーくでてくたは見たことなし。
Q-MASSがあったから、それでモニタリン具したことはあった。

>>157
-10Paってどうやって測るの？
確か電離真空計だと軟X線効果の影響で、測定限界はせいぜい9乗台だと記憶してたが・・・。

手元にある「真空ハンドブック」を見てみると…。

熱陰極電離真空計で『ヘルマー型』というのが辛うじて10^-10Paが
測れるそうだ。
そのヘルマー型って言うのがどういうのかはワカラン。
恐らくヌードゲージタイプ。

マグネトロン真空計は、超高真空向けだと 10^-11Pa!!

>157
校正してるか？
ガス種によっては相対感度が変わってくるぞ。
真空計の指示値もだ。

って常識だよなぁ。

>>161
10^-11Paだと極高真空だと思われ。
しかし、10^-11Paって用途はなんだろう？

極とか超とか高とかどうでもいいっす。
全く意味無い。
用途は俺っちも気になる。



今の仕事辞めて真空屋になりたくなってきた。

ＤＰの原理でジェット気流の他に気体の油への溶解度も
関係するって聞いたんだけど・・・
油の温度変化によってポンプ内に気圧差を作るとか。

誰かこの話聞いたことある？
ただのデマ？

さ、真空ひけたか見てこよっと。

>>164
まてまて。
溶解して、そのあとどうなるのさ。
DPのオイルってそんなに頻繁に代えるものじゃないでしょ。

デマに変造500ウォン

ULVAC最近どう？
ﾒﾝﾃ部分で信頼できるんかな？

あげ

ターボポンプだけど、中国産だと日本製の1/10程度まで価格が下がるようですね。
メンテナンスコストを一切考えずに、壊れたら交換という考え方で使用したら
かなり安上がりだと思うんですが、そういう需要ってあります？

>>168
すぐロックしてフィンがこなごなになるんでないの?
ベアリングもすぐ玉抜けそう (藁

chinnko

@

>>168
壊れたら交換って簡単に言うけど、真空装置の交換はオオゴトでしょう
その前後はとても実験できないしさ

>>168 の実験室(＆研究室)は息が詰まりそうな程の真空状態で、
　　　ポンプ交換してもすぐ実験再開できるという罠。

うちのDPの冷却は、水冷式なのですが、ちょっと前
４年の奴が手違えかなんか知らんが、排水バルブをとじやがってよ（怒
もう水祭りよ、水祭り。

ホースが破れて噴水状態。発見するまでの30分ほどで余裕で床上浸水。
ひざ下半分ぐらいまで水きてたよ。
もー最悪でしたわ。こんな体験ほかにもきぼんぬ。

うちのＤＰの冷却は、空冷式なのですが、ちょっと前
４年の奴が手違えかなんか知らんが、空冷ファン回ってないのを気づかずに
ゲートバルブ開けやがってよ（怒
もう油祭りよ、油祭り。

ＤＰに直結しているチャンバーにはオイルがついててさ。
とりあえず、中身が焼け焦げてないかどうか、開けて確認することになってさ。
ネジひとつはずすのにも一苦労でしたよ。
まあ結局、油量とか大丈夫だったし、
ＤＰの中見るなんてもう一生ないだろうから、良しとしますよ。
もー心配でしたわ。こんな体験ほかにもきぼんぬ。

>>175
DP普通サーマルSWついてるじゃん

>>175
しょっちゅう作業やっていますが何か？

ああ、なつかしいなあ。
大学の研究室の学生さんが多そうだね。
漏れ駅弁国立大だったから、センター試験の日は当然入れない。
でも装置はRP+油拡散ポンプ+liq.N2トラップで真空引いたまんま。
受験者が帰る頃に大学行って、窒素入れたの思い出すな。
何もこんな日に学校来なくてもと思いつつ作業してた。

ちなみに某国内半導体装置メーカー勤務だけど、真空度は
ほとんどTorrを使ってるな。もちろん顧客の要求があれば
Paで資料作成するが国内では極僅か。
やっぱねえ、過去のデータの蓄積があるから、突然単位変更だー
つってPaにするとピンと来ないのよ。

補助引きバルブ
メインバルブ
荒引きバルブ
ＲＰリークバルブ

>>178
>ちなみに某国内半導体装置メーカー勤務だけど、
仕事の方はどんな感じですか?
失礼かもしれませんが、「やっぱり就職はあっちにしとけば良かった」とか
そういうのあります?　当方DPお守り中のMです

178っす。
>>180
仕事はねえ、エッチャー開発です。
就職で後悔はしていないし転職する気もないが、給料は低いな。
危険なガス使ってんだから危険手当くれってな感じなんだけど。

ｽﾚ違いなんでポンプの話など。
TMPは数百〜2000L/min以上のもの、バックアップポンプは
ドライポンプでメカニカルブースター付きのものもある。
半導体製造用だから油使う奴なんかとんでもないなあ。
チャンバの圧力はエッチング工程だから、到達は10E-5Torr位、
プラズマONで数mTorr〜1Torrだな。
だからCuガスケットなんか使わないよ。Cu汚染引き起こすしね。
大学の時は漏れも10E-10Torr台の表面分析装置使ってて、
ベーキングにアルミホイル使いまくりだったけど別世界になっちまった。

訂正

>>181
2000L/min以上→2000L/s以上

またーりまたーり
そろそろ引けたかな？

>>181
>だからCuガスケットなんか使わないよ。Cu汚染引き起こすしね。

ちょっと待って！
Cu汚染って何ですか？
思いっきり使っちゃってるよCuガスケット
あいたたたた

Cu汚染が問題になるのは分野に依るべさ。

>>184
は「真空」を使って何やってんのさ。

銅ガスケットよく使っていたよ。
SIMSでもGDMSでもね。
SIMSでも銅のバックグランドはあまり気にしなかったな。
それよかGaにはまいったよ。
みなさん，どこの分析会社使っているのかな？

そんな事より１よ、ちょいと聞いてくれよ。スレとあんま関係ないけどさ。
昨日、蒸着のために真空引きに行ったんです。真空引き。
そしたらなんか油がめちゃくちゃ逆流してて引けないんです。
で、よく見たらなんか張り紙してあって、ポンプ故障中、とか書いてあるんです。
もうね、アホかと。馬鹿かと。
お前らな、卒研如きで普段来てない真空引きに来てんじゃねーよ、ボケが。
卒研だよ、卒研。
なんか親子連れとかもいるし。一家４人で真空引きか。おめでてーな。
よーしパパ10^-7torrまで引いちゃうぞー、とか言ってるの。もう見てらんない。
お前らな、金魚のぶくぶくやるからからそこ空けろと。
真空引きってのはな、もっと殺伐としてるべきなんだよ。
（以下略）

ロータリーポンプ
オイルの逆流が怖くて
ちゃんと引ききらないまま止めてしまう・・・
どこで止めたらいいんだあああ

>>187
第2弾きぼーん

>>188
クヌッセン数を計算して、粘性流領域の圧力下限でやめればいいのでは？
ダメならフォアライントラップつけれ。

>>189
反応があった。ちょっとうれしい。
吉野家コピペジェネレータを使えば、これくらいなら誰でも作れますよ。

Cuガスケットってつかっちゃいけないの？
汚染？？まじですか？

ちなみにあれって一回使い捨てだよね

先週の日曜日に渋谷のハンズに行ったんです。
何階かは忘れましたが、特設コーナがあったんです。
機械部品をただバラしただけ(!)の金属部品が売ってたんですが、
タービンのブレードようなどこかで見かけたことのある部品も売りに出されていました。

材質は、、アルミ合金か。
大分痛んではいるが…。
う〜ん、どこかで見たような…。

そうだ!!

ターボだ!!
ターボ分子ポンプだ(wa!!

周りのカバー(?)が見当たらないが、コレはターボだぞ。
サイズは、、この径だと6inch位か？

よし、裏側見てやれ!!
…モータも付いてるし〜。

排気ポートは？

お、あんなところに…。
そうそう、KFフランジだったよ…。

あれ〜？
こっちのコレってロータリーポンプの部品？
マグネトロンのキャビティみたいな部品も転がってるし…。

と、昔の友に突然出会ったような不思議な感覚を覚えましたとさ。

>>192
前回よりちょっと強く締める
で、２，３回使ってます。

>>194
一応使えるんだ！やってみます。
産休！

大気開放すっぞ、お前ら。

>>195
えー、Cuガスケットは使い捨てでしょう。安いんだし。
そんなもん節約しようとしてチャンバーオープン2度手間になったりしたら、
目も当てられん。
と思うヨ

慣れてくると同じCuガスケットを数回は使えるようになるよ。
一回目の使用で強く締めるのはガスケットが勿体無い

>>181です。あ-このｽﾚまだあったんだ。

>>192
エッチャーのチャンバは常にプラズマに曝されます。
シリコン化合物を削る装置なんだから、チャンバを構成する
パーツも当然スパッタリングされて消耗します。つまりCu
ガスケットを使えばそれがスパッタされてウェハに運ばれます。
それは半導体で最も嫌われる物の1つ、重金属汚染を引き起
こします。だから使えません。

>>197
研究費、開発費がふんだんにあればその通り。
ﾋﾞﾝﾎﾞな大学の研究室では買う金すら困る所もあり。
話がちょっとそれるがある化学系研究室では年度末に
薬包紙を買う金にすら困り、ビーカー代を学生から徴収
した所がありました。ちなみに国立。

>>191
サンクス。コピペジェネレータ楽しめます！

187はText-to-Speech使ってFlash作ったら
さらに良いかも

>>199
オージェの結果を洗ってみます。
後日報告って事で

http://yahooo.s2.x-beat.com/

トータルリコール上げ

TMPの交換作業で、5分以上に渡りTMP（排気量1500L/S）を抱えつづけますた。

筋肉痛で震えの止まらぬ手で電離真空計のスイッチを押したらフィラメント
が切れますた。

そしてQMASSが死亡。




もうだめぽ

いいなぁ
漏れも1500リッタのターボ欲しい

Varianの新しいスクロールポンプ買ったんだけど
結構いい感じ。やっぱオイルフリーでしょ。さよならRP。
さよならオイルだらけのコールドトラップ。

http://www.varianinc.com/image/vimage/docs/vacuum/products/shared/sh100/sh100_brochure.pdf

ガスケットは
シリコンリングオンリーですが何か？

真空揚げ

着替え生中継カメラ只今無料!!!
(,,ﾟДﾟ)　http://www.cosmani.tv/gallery/gallery_frame.html

>198
　ベークしたＣｕガスケットは再利用すると鈍ってるから、
閉めてもとまんないことがあるけど、とまることもある。
理屈はしらんが閉めてるときの手応えで結構わかる

>>210
締めるトルクを調節できるペンチがあるのでオススメ

えきち入れ

優秀ターボがこないだ壊れてドイツ旅行中。
よって、ロードロックでは2軍ターボが活躍中。
-8乗Torrまで5時間。。。
よって、みんなでいっせいに基板出し入れ。
そろそろソース枯れる時期だし。。。
てことは、また成長室ベーキングだし。。。
あぁ、修論間に合うかな。。。
蒸着機をデシケータ代わりに使ってやるぅ。

年越しベーキング

>>212
うちでは「ティムーソ」と呼んでるよ

クリスマスベーキングです。
ああ、リボンヒーターのイルミネーションが眩しい…



鬱

>>215
そのナイスなネーミングの由来は？？

>>217

「ティッソ（ちっそ）」と「ティムーポ」が混ざって
ティムーソになっちゃいました。

>>218

あはは。
なんでその二つが混ざるかは突っ込まないとして
俺もそれ使お。
誰もわからねーだろ−な。。

>>212
サイフォンしか
ないだろが！！！！！
くだらんことぬかすな
ボケ！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！

調子こいてSiチューブ割れた。

http://www.agemasukudasai.com/bloom/

クリスマスも終わったわけだが。

>>223
クリスマス成長敢行しますたが何か?

（＾＾）　

age

変な音がしてきたよ。
ちょっと見てきます。

MXなどで集めた動画をみんなでココにUPしよう！
http://www6.ocn.ne.jp/~endou/ten.html

>>227
ターボ壊れる前兆?

今日もきゅーぽんきゅーぽん、あしたもきゅーぽんきゅーぽん
もちろん今夜もきゅーぽんゆーぽん。冬場はつらひ。

新造チェンバーの立ち上げ中。９乗Paまで落としたいのにまだ８乗。焼きが足らんのかな？
こんどはイオンポンプを焼く。

このスレタイ最高！研究室の仲間で爆笑！

ちなみに漏れは装置焼き前の「真空待ちの人」。
卒論前なのでこんな時間に。
早く引けないかにゃー。

俺も俺も

>>231
-9..9乗Pa？ -11mBar!

私等の所では，マルチゲージにエラーが出ますが…
（真空度が-10mBar付近までしか取れない）

何のchamberですか? MBE?

-11mBarじゃなくって -11乗mBarですね
-10mBarは-10乗mBar...

ｳﾂﾀﾞ

(ｍ･∀･)ｍ＜べーきん君！
(ｍ´∀`)ｍ＜･･･
-10Torrｷﾀ━━━(･∀･)━━━!!!

と思いきやQ-MASS死亡
(σ´･ω･`)σしょぼぼん

まぁチャソバーの大きさにも寄るわな
ウチも今焼いてます

ウチは最強で９条（Torr)まで

-------------------------------------------
本日23：00時より祭りを開催いたします。
是非、参加下さいます様、お願いします。
携帯ＰＨＳ
迷惑メールサイト一斉訪問お祭り開催
http://jbbs.shitaraba.com/news/bbs/read.cgi?BBS=853&KEY=1043335260
-------------------------------------------

>>234 ●さん
汎用表面観測用です。製膜ではあまり手の込んだこと
ができないけれど、仕事関数を測ったり〜。

その後Varianのイオンポンプをアルミ箔でグルグル撒い
て焼入れ中。焼き上がりが楽しみだわさ♪

http://jsweb.muvc.net/index.html
　★お気に入りに追加してしまったアドレス★

で、Q-MASSの飛んだ方？修理に出しました？

大気開放準備
材料温度の降温中…

材料温度、どのくらいの速さで下げてます?

このスレ、なんかかわいいですね

えっ！！まじっ！見えとるやん！！！


http://www.hi-net.zaq.ne.jp/bubbs207

>>244
出来るだけ速く。

坩堝を割らない程度に，これ重要

>>245
真空引きってのは、もっと殺伐としているべきなんだよ（以下略

100℃/15min くらいじゃ早い?＞降温

>>250
速いかな？Alの様にお行儀の悪い材料は、融点前後100℃で
2℃/minぐらいにしないと、ちと怖い。

っていうか、直ぐに割りやがる（泣

あー、もちろんAlは融点付近は2℃/minで下げてますね

ってかウチのとこは下げるのにストップウォッチ持って、デジタルの
温度調節の表示をボタン押して手動で下げるんですが(Al下げる時とか
は1時間以上そこに貼り付いていなくちゃいけない)、他のトコもこん
なもんなのでしょうか

>>252
普通はPID制御を使ってramp値と指定温度を指定してやって、放置プレイかと思われます。

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http://kgy999.net/

＜血液型A型の一般的な特徴＞（見せかけの優しさ・もっともらしさ（偽善）に騙され
るな！！）
●とにかく気が小さい(神経質、臆病、二言目には「世間」、了見が狭い）
●他人に異常に干渉し、しかも好戦的・ファイト満々（キモイ、自己中心）
●自尊心が異常に強く、自分が馬鹿にされると怒るくせに平気で他人を馬鹿にしようと
する（ただし、相手を表面的・形式的にしか判断できず(早合点・誤解の名人)、実際に
はたいてい、内面的・実質的に負けている）
●本音は、ものすごく幼稚で倫理意識が異常に低い（人にばれさえしなければＯＫ！）
●「常識、常識」と口うるさいが、実はA型の常識はピントがズレまくっている（日本
の常識は世界の非常識）
●権力、強者（警察、暴走族…ｅｔｃ）に弱く、弱者には威張り散らす（強い者にはへつらい、弱い者に対してはいじめる）
●あら探しだけは名人級でウザイ（例え10の長所があってもほめることをせず、たった１つの短所を見つけてはけなす）
●基本的に悲観主義でマイナス思考に支配されているため性格がうっとうしい（根暗）
●単独では何もできない（群れでしか行動できないヘタレ）
●少数派の異質、異文化を排斥する(差別主義者、狭量）
●集団によるいじめのパイオニア＆天才(陰湿＆陰険）
●悪口、陰口が大好き（Ａ型が３人寄れば他人の悪口、裏表が激しい）
●他人からどう見られているか、人の目を異常に気にする（「〜みたい」とよく言う、
世間体命）
●自分の感情をうまく表現できず、コミュニケーション能力に乏しい（同じことを何度
も言ってキモイ）　
●表面上協調・意気投合しているようでも、腹は各自バラバラで融通が利かず、頑固(本当は個性・アク強い）
●人を信じられず、疑い深い（自分自身裏表が激しいため、他人に対してもそう思う）
●自ら好んでストイックな生活をしストレスを溜めておきながら、他人に猛烈に嫉妬
する（不合理な馬鹿）
●執念深く、粘着でしつこい（「一生恨みます」タイプ）
●自分に甘く他人に厳しい（自分のことは棚に上げてまず他人を責める。しかも冷酷）
●男は、女々しいあるいは女の腐ったみたいな考えのやつが多い(例：「俺のほうが男
前やのに、なんでや！（あの野郎の足を引っ張ってやる！！）」）

>>252
ウチはPIDコントローラで5℃/min（融点前後100度）に設定して
報知プレイかな
550℃切ったら、10℃/minで完全ほったらかし(笑)

うー、やっぱり皆さんそうですよねぇ。
ウチのもPID制御したいYO

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http://www.geocities.jp/kgy919/deai.html

| ､ l ，
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|∧∧
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|ｏ旦ｏ
|∧∧
| ﾟ∀ﾟ)　　ｼﾃﾓｲｲﾃﾞｰｶｰ?
| ow○
￣￣￣￣￣￣￣￣

>>259
リークバルブ開け
俺にやらせて・・・
あの快感なんともいえない・・・

MBEは開放するのは楽なんだけど，その後がね…

>>252

昔、某半導体メーカーにいた頃、Alのセル（というかルツボ）は使い捨てだった。
無理やり再利用してもろくなモンできなかったし。ありゃ割れるモンです。
ちんたらやるより、早く温度下げてお掃除お掃除。

>>262
ルツボを使い捨て?! すげーカルチャーショックです
うちの研究室でそんなことしたら教授が頭から火を噴きます

ワラタ
http://homepage3.nifty.com/digikei/ten.html

>>263
年に何百回も本物の高速デバイスのエピすりゃ（デバイスとして様々な
特性を評価すれば）、その差は明白。一旦アルミの温度下げたら二度と
使えません。SEM/TEMで観察してホール測定してるだけなら差は分から
んかも？

ルツボ高いと言っても、１枚のウエハからデバイスのチップがいくつ
取れるか、１つのルツボで何回エピできるか、何枚処理できるか、で、
それが製品でいくらになるか計算してみりゃ、大した金額じゃないよ。

>>265
まぁ，大学でしこしこやってる世界の話ではないけどね．

（＾＾）

まだひけねーよ

(^^)

うちは PLD やってて、ターボで引いてるが、10-4 Torr
最近まだ引きが悪くなってきた
漏れ探ししてるけど、原因がわからん

真空蒸着なんて今日び流行らないんだYO
まだひけないし･･･鬱

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18歳未満禁止です！
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こんなポンプありですか？
http://www10.plala.or.jp/the-vsop1985/

よっしゃ
-7乗入った

（＾＾）

真空ということで，こんな話題が。
ttp://headlines.yahoo.co.jp/hl?a=20030516-00000002-cnc-l20
ttp://headlines.yahoo.co.jp/hl?a=20030516-00000005-nkn-ind
これがあれば，いちいちチャンバー開けなくてもサンプルの交換とか出来るんだろうか。
潤滑とかどうやってるんだろう。

かなりのヒット
http://homepage3.nifty.com/coco-nut/

>>274
すげえな、お前のとこのポンプ

ただ今真空漏れでメンテナンス中。
悲惨です･･。

　 ∧＿∧　　　　http://togoshi.ginza.st/mona/
　（　・∀・）/＜　コんなの有ったっち♪
http://togoshi.ginza.st/mona/mona02.html
http://www.togoshi.ginza.st/mona/mona07.html
http://togoshi.ginza.st/mona/mona05.html
http://www.togoshi.ginza.st/mona/monaz08.html
http://togoshi.ginza.st/mona/mona06.html
http://www.togoshi.ginza.st/mona/mona10.html
http://togoshi.ginza.st/mona/mona04.html
http://www.togoshi.ginza.st/mona/mona03.html
http://togoshi.ginza.st/mona/mona01.html
http://www.togoshi.ginza.st/mona/mona09.html

　 ∋8ノノハ.∩ 　　http//togoshi.ginza.st/yusei/
　　 川o・-・）ノ　＜先生！下記のページがありました！
http://togoshi.ginza.st/yusei/yusei01.html
http://www.togoshi.ginza.st/yusei/yusei09.html
http://togoshi.ginza.st/yusei/yusei05.html
http://www.togoshi.ginza.st/yusei/yusei08.html
http://togoshi.ginza.st/yusei/yusei06.html
http://www.togoshi.ginza.st/yusei/yusei10.html
http://togoshi.ginza.st/yusei/yusei04.html
http://www.togoshi.ginza.st/yusei/yusei03.html
http://togoshi.ginza.st/yusei/yusei02.html
http://www.togoshi.ginza.st/yusei/yusei07.html

　 ∧＿∧　　　　http://togoshi.ginza.st/hiroyuki/
　（　・∀・）/＜　こんなモノ見つけたっち♪
http://togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch01.html
http://www.togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch09.html
http://togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch05.html
http://www.togoshi.ginza.st/hiroyuki/2chz08.html
http://togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch06.html
http://www.togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch10.html
http://togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch04.html
http://www.togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch03.html
http://togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch02.html
http://www.togoshi.ginza.st/hiroyuki/2ch07.html

だめだ
ポンプがしにかかってる

で、どうなった？

あぼーん

━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅（＾＾）]━―━―━―━―━―━―━―━―━―

━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅（＾＾）]━―━―━―━―━―━―━―━―━―

>>284
なんとかもちこたえている
煙をあげたりするけど

>>288
煙が上がる状態は持ちこたえたとは言わない。
うまくいくといいですね。

　 ∧＿∧
　（　・∀・）/＜　こんなの有ったっち♪
http://www.muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku07.html
http://muryou.gasuki.com/zenkaku/index.html
http://www.muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku08.html
http://muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku10.html
http://www.muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku01.html
http://muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku03.html
http://www.muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku02.html
http://muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku09.html
http://www.muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku06.html
http://muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku04.html
http://muryou.gasuki.com/zenkaku/index.html
http://www.muryou.gasuki.com/hankaku/hankaku05.html

>>289
ありがとう。
けれどもとうとう逝ってしまいました

http://homepage.mac.com/hiroyuki43/

>>291
ひーん，うちのRPのモータも焼けた(>_<)

http://homepage.mac.com/ayaya16/

http://homepage.mac.com/hiroyuki43/moe/jaz02.html

これはもしかしてモロっすか？
なんでもあり？

http://www.hi-net.zaq.ne.jp/bubbs207/

ぐは。
RPのベルトが切れかけてた…。

みんなも確認汁。
消耗品だぞ。

>>298
てかこんな時間に実験でつか？

　　　 　∧＿∧
ﾋﾟｭ.ｰ　(　　＾＾ ） ＜これからも僕を応援して下さいね（＾＾）。
　　＝〔~∪￣￣〕
　　＝ ◎――◎ 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　山崎渉

Baking中age

http://elife.fam.cx/

オススメ★★★★★五つ星
http://yahooo.s2.x-beat.com/linkvp/linkvp.html

企業の中のヒトも大変だなw

てか、宣伝ウザ過ぎ。

漏れはNGワード対策しまくってるから気付かんけど
妙にレス番が飛んでいる・・・

今日は午前中真空待ちしたのでage

午後はＴＥＭのビームがどっか逝っちゃって・・・もうだめぽ

age

ロータリーのオイル逆流させて真空装置の中に入れてしまいました。
大ボスにに2時間説教されました。
今、掃除して焼きまくってるところです。

よかったじゃん


むかしな、ブースターのロータリーの油を逆流させMBEを逝かせた奴
がいてな…（以下略

　__∧＿∧_
　|（　　＾＾ ）|　＜寝るぽ（＾＾）
　|＼⌒⌒⌒＼
　＼ |⌒⌒⌒~|　　　　　　　　　山崎渉
　　 ~￣￣￣￣

Baking中　保守カキコ

　　　 (⌒V⌒)
　　　│ ＾ ＾ │＜これからも僕を応援して下さいね（＾＾）。
　　⊂|　　　　|つ
　　　（＿）（＿）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　山崎パン

ＴＭＰ待ちage

>>313
こんな時間に！

http://satellite.esenden.com/ranking/ranklink.cgi?id=groovy

´*:;,. ★　〜☆・:.,;* http://www.gals-cafe.tv ´*:;,. ★　〜☆・:.,;*

夏なのにカノジョがいなくてこまってるそこのアナタ！

同じくカレシのいないなつきちゃんに会いにこないっ？

一週間の間、１０分間はカクジツにさんごはあなたのもの♪
え？それ以上？それはぁ・・・えへっ(≧▽≦)~~*
アナタがなつきにもっと会いたくなってくれたら、かな☆
ここで待ってるから、必ず来てね！来てくれないなら…おしかけちゃうぞ♪
´*:;,. ★　〜☆・:.,;* http://www.gals-cafe.tv ´*:;,. ★　〜☆・:.,;*

宇宙空間の真空度はどのくらいですか？

MBEの中と同じぐらい

金属板と直径50ミクロンの金属球を真空チャンバー内にセットする
(球と下の金属板は，近めに設定されている．球の上部には広い空間が設けられている)．
球に及ぼすあらゆる力(引力，電気的な力など，現在知られている力)をすべて差し引く．
従ってこの状態では球はまったく動かないはず．
ところが実際には球が金属板がある方向に動く．
金属板のある空間よりも反対側の空間の方が広いため
そこに発生した何らかの力で押されるため球が下方に動いたのである．

http://user.auctions.yahoo.co.jp/jp/show/auctions?userID=tamagomaru1&u=tamagomaru1

今米キング中だす。

ベケナッ！！YO！
50℃から７０℃！

チェキラッ！！真空計！！AH！

注）ベケナッ＝ベーキング　アップ

STM買ってYO

RPオイルだだ漏れﾎｼｭ

MBEの中は何Torr？

蒸着前で10^-10Torr台、蒸着中でも10^-9Torrくらいだね。
基板入ってないときはイオンポンプ止めてるから10^-8Torr台のことも多いがね

というか, MBEにもいろいろありますが ?

Gas source MBEだと成長中10^ -3 [Pa]ぐらいです.

正直 ``蒸着''というのは如何な物かと思いますが, conventional MBEの真空度は
>>323さんの仰る通りです.

10^-11Torrゲット。MBEベーキング直後

>>327
STM欲しいの？

おまいらよ、電離真空計のフィラメントがやせ細っていないか確認汁。

真空度良すぎだw。

100リットル入る液体窒素ボンベ、すぐに出口が詰まってしまう……
拡散ポンプの液体窒素補給はダルいっす

>>331
その液チの容器，問題あるんじゃない？

>>332
問題あるというか、10年以上も前のものなので寿命かと思われます。
でも、新しいの買ってもらえるお金なんて無いので、使い続けざるを得ない、
これでも宮廷大の研究所なのですが、日本の科学は大丈夫かいな

きちんとベーキングしたらTMPとCPで1.6×10の-9乗torrまで行きました。
今まで-8乗代までしか行かなかったのでうれしいです。
明日は初めての成長実験なのでがんばります。

>>334
CPて何ですか？

chemical pumping?

ＣＰとはcryo pumpのことです。ヘリウムを液化して
気体を吸着するポンプです。

あの、お聞きしていいですか?
Bake outで比較的高温にして引かす時にもTMPつかうんですか？
そんな高温にTMPって耐えられましたっけ ion pumpを併用したのでは
ないのでしょうか

TMPだけで140℃でベーキングしました。
その後何の問題も無いので大丈夫だと思います。

ベーキングして1.6×10の-9乗torrまで行ったんですけど、
実験したら10の-8乗torrまでしか行かなくなってしまいました。
次のベーキングはいつごろしたらいいですかね？
初心者なのですいません。

いや、例えば、バルブにナイフエッジ等使う場合
ナイフエッジが酸化してしまうケースもあるらしいです。

TMPのスペック表もご確認になられた方が良いと思います。
TMPって排気量にもよりますが、結構な額がしますので。

そういやポンプの排気量(�g/min)とかって
どの気圧での体積を基準にしてるんですかね？

窒素。

ＤＰ１２０分ってどうＹＯ！？

>>344
速いねw
うちなんか4時間くらい待つのが常態化してしまったよ．無駄すぎ．
LN2足すのウザイし．

なんていうか・・・突然壊れました。
オイル交換〜だりー

>>344
DP120分って何が120分?

うちのDPは12時間に一回LN2入れねばならん、毎週窒素当番決めて休日は無しです

>>347
12時間おきでいいならうらやましい。
うちのは4時間おきですぞ。常時稼働でないからまだいいけどさぁ。

>>347
何で常時稼動でDP使うの？ってのは禁句ですか？

>>349
成膜チャンバに付いていた良いTMPが壊れてて、普段の真空維持もDPだけ
なのです。だからDPが常時稼働

金無いから新しいTMP買えない。(正確には、買ってくれない、か)
窒素当番な休日出勤の学生にも人件費は払わなくていいから、大学だから
こそ出来る技やね。せめて祝休日の当番には弁当代と交通費くらい出して
欲しいよ

っつーか、手動LN2補充式の液体窒素トラップDPを常時稼働させている所
なんて、やっぱりウチくらいなのでしょうかね?　('A`)ﾏﾝﾄﾞｸｾ

>>350
休みをベーキングの日にして、DPだけで引き続けて、
実験前にLN2を入れれば、真空度はかなりよくなる、と思うが。

>>351
DPはLN2を入れないと油がチャンバーに行き続けるような気がするんだけど，
ベーキングしてれば問題ないのか？

どんなDPかにもよるけど、普通は稼動中はいかない。

>>352の言う通り、油がチャンバーに行くのが恐いからDPには常にLN2
入れてますYO
あと、以前に水が凍ってコールドリークを起こしたことがあるから、LN2
補充する管の回りの氷が溶けて水浸しになるのが恐い。だからLN2入れ続
けてる。
……んだと思う。

実験前にだけLN2を入れると聞いて、かなりカルチャーショックを受けまし
た、私。そーゆーもんなのか……

DPって何のために窒素入れるの？

オイルののミストをトラップすんだっけ。

そう。逆流するオイルをとっつかまえる。

コールドトラップをかけるのは真空度による。
10^-6torr程度までならいらないでしょ。

LN2を使うかどうかは、膜やチャンバがカーボンを嫌うかどうかにもよるでしょうね。

時に装置を分解修理するんですが、メインバルブなんかはかなりDPオイルがついてました。
気になったので、バルブのかわりにビューポートをつけてDPを稼動していると、
しばらくすると、油で曇っていく様子がみえました...。まあ、うちのは8万くらいの安DPだからなぁ。
それで、さらに調べてみると、オイルの種類とヒータ電圧の調整でかなりましになることも
わかりました。

とか、なんとか、いいつつも、LN2いれてないです。
LN2自動供給装置もあるらしいですが。

ただ、さすがにDP&冷却水つけっ放しはしてません。
水切れでボヤ一回(断水リレーが死んでた)、
冷却パイプの水漏れ(銅製なので水道水で腐食する)もあって、朝行ったら、教授が一人で
バケツ・雑巾で始末してたので真っ青になったよ。(今はチラーにしてる)

あと、はずしているかもしれませんが、

LN2 の容器は時期がきたら真空が悪くなって持ちが悪くなるので、
真空引きしてもらって、復活させてもらってます。

ただ、私がふだん使っているのは20--40Lのやつなので、
10Lの小さいやつとか、(通称 たまねぎ　　っていってました)
100Lのあちこちバルブ付のやつ(通称 ロボコン)
では、どうするのか知りませんけど。

ただ、新入生のころ、無知だったんで、容器の口に密封のためにビニ手をかぶせてから
フタをしてたのですが、半日ほどするとフタが氷結してて、「ピーー」とか音がするので、
あわててフタを力任せに抜きとったところ、口から　どばーっ　とLN2がふきだして、
天井にぶちあたったLN2がわさわさ降りそそいできたので、逝くかと思った。(馬鹿だ)

長文スマソ

>>360
液体ヘリウムのトランスファーチューブも，たまに2重管の真空を引き直しますね。ロータリーで十分ですが。
でも容器（液体ヘリウムも液体窒素も）の真空引き直しは，うちではやる話は聞かないです。
ボスの話によると，ヘリウム容器に関してですが，まず持ちが気になるほど真空が悪くなるようなことはないそうです。
真空が悪くなった時は容器の寿命が来た時だ，だそうで。確かにヘリウム容器は特殊な断熱材も入ってますしね。
窒素容器に関しては，持ちを気にするほど長い時間放置することがない所為かな・・・

＞液チわさわさ
液チが怖くて低温実験やってられるか，なんてな。
もう液チ遊びは通過儀礼，慣れると日常の一部ですな，液チのある生活は。

液チ取りのとき、勢いありすぎて、ビル２Fまで噴き出した。

年越しベーキング敢行中。

まだあったかこのスレ
>>363は無事焼けたのだろうか、と考えつつbake。

>>363のベーキングは、もうそろそろいい頃だろうw。

燃え尽きるまでベーキング。。。




漏れの方が先に燃え尽きそうだよﾏﾏﾝ

TMPの音をなんとかしてくれYO！

>>367
クライオの音よりまし。

>>367
え？あのヴイイイイイィィィって音がいいんだろ？>>all
というわけでBake age

>>369
シビれるよね

>>369
同意
というか，加速時の音が最強．

ｷｭｲｲｨｨｨｨｨｨｨｨｨｨｲｲｲｲｨｨｨｨｲｲｲｲｲｲﾝﾝﾝﾝﾝﾝ

10^-5Torr
まだだ・・・まだまだ・・・

引けた？

大抵ここで真空待っている人はほとんどMBEか？

凍結乾燥機

久々に真空待ちなのでｶｷｺ
待ってる間に２ちゃんしながら世界の車窓からを見てまつ

>>374
CLでつ

蒸着だってあるのよ。ガイスラーチェックON

股間をかくせ。

ここの奴等はみんな研究室で真空蒸着してんのか？
量産している人はおらんのか？

>>380
STMでつ。

入ったB4が大気リークさせました…。
俺の-9乗Torr返せよ、
面出しした金属ｻﾝﾌﾟﾙかえせよ…　ｳﾜｰﾝ

悲惨な奴め（ｗ

毎年新しく入ってきたＢ４にリークされてオイルを酸化されてしまう…
最初に厳しく注意はしてるんだけどなあ。

>>381
> 俺の-9乗Torr返せよ、
> 面出しした金属ｻﾝﾌﾟﾙかえせよ…　ｳﾜｰﾝ

うわぁ、9乗よりこっちの方が衝撃でかいな。

うーん、悲惨な人多いねぇ
チャンバー内にモノ落っことした俺も人のこと言えないけど
ＴＭＰの上の金網の上にサンプルばらまいちゃった　ﾃﾍｯ

ＴＭＰの羽根ふっとびませんでした？

漏れだったらそんなことした後輩は逆さ磔にしてやるところだ（ｗ

>>383
そうなんですよ。
一ヶ月かけて条件見つけてじっくりと
みがいたmyサンプルが…

ぐおぉぉらあｑｗせｄｆｒｔｇひゅｊきラッシャー！

>>385
逆さ磔でも済まされないだろうw

10年ほど前ですが、10inchのTMPは一台で
数百万円するんだぞ、と研究室の先輩に毎日
のように言われたことを思い出しました。

>>385,387
いや、それがＴＭＰ自体は奇跡的に助かりまして。

日頃の行いが良かったからでしょうか、
チャンバーの分解掃除だけで済みましたです、ハイ。

最近のTMPは強いね。
ノーマル回転から一気に大気が入っても羽が飛ばない。
悲鳴のような音はするけど。

>>389
マジっすか?　
もしかして、運転しながら大気突入を実際にやったことあるの？
こえぇぇぇぇ((((;゜д゜)))

ついこの前、３年生の実験でリークさせちまった・・・。
実験データが上手くとれなかったから、ちょっと忘れ物とかいって勝手に使ったらこのざま。

鬱って言うか何て言うか、もうね・・・。

　昔、バルブのマニュアル操作を誤って、48000rpmのMAX回転TMPを瞬間大気
突入やってもうたことがある。
　なんか魂吸い取られるような音と、やや香ばしい臭いがしたなぁ〜。
　幸い再起動するも何事もなかったように正常に立ち上がった。
　しかし数ヶ月後、定常回転まで達っしなくなり壊れてもうてポンプ一式交換。

　客の装置のメンテ中の出来事。

　ええ、大気突入のことは一切話しておりませぬｗｗｗ
　もち有償でつｗｗｗ

>>魂吸い取られるような音
MAX回転から-2乗Torrくらいに突っ込んじゃったことがあるけど、それでもかなり
すごい音がしたですなぁ
大気突入したらどんな音するんだろう

>>393
想像したくもありません…。

あー、ｺﾜｺﾜ。

みなさん無茶やってるなあ
＞魂吸い取られるような音
って想像つかないけど、加速時の「ｷｲｲｲｲｲｲｨｨｨｨｨｨｨﾝﾝﾝ」って音の延長線上?
それとも、全然違う音色？

それと，エイリアシングのかかった「ｷｰﾝ ｷｰﾝ ｷｰﾝ…」とうい
音が聞こえてきた時、頭の中に明かりがみえてくる…

V-MAX

レイズナー

あーわかるわかる。

ｷｰ…ﾝ ｷｰ…ﾝ
（なんか今日はターボの音がうるさいな…）

キーーン　キーーン　キーーン　キーーン
ギ
ギ　ガガ　ガシャ　バリバリバババ　　ガッ　ガシャッ！！

ぷしゅー…んん…ん　　ん…　（静寂）

禿ﾜﾗｗｗｗｗ

>>399
南無

TMPのクラッシュはすげーよ。まじジェット機並の爆音。
軸ｽﾞﾚからケーシング擦り始めて羽ちぎれてあとは中身はミンチ。
音もすごいが中身もビックリ。焼けた感じの匂いが残ってて・・・
ばら肉想像してもらえば桶。

>>402
クラッシュって何が原因？
そんな爆音聞いてみたいなぁ
あ、漏れの愛用MOCVDのTMPではやらないでね♥

実際問題として、大気突入は安全装置働くから
余程急じゃない限りはクラッシュしないと思うん
ですが、異物を落としたら即あぼーんではない
でしょうか。

停電のとき激しく逝きますた…自衛隊機が突っこんだときのやつ。
だれも保障してくれなかったよママン。

>>403
メーカ解析では軸ｽﾞﾚらしい。ケーシング擦ると音がでかくなる。
そこまでいくとTMPとしては、修理するよか買う方がいい。
でも異物混入（TMP部品自体の破損もありえる）はクラッシュする
可能性が高い。おれはこっちだと思ってる。

>>405磁気浮上で助からなかったの？ｵｲﾗ使ってるのは停電でも
平気だけど。

>>405
･ﾟ･(つД｀)･ﾟ･ TMPお大事に

うちの研究室はポンプが常時なっててうるさいよ。
もう慣れたけど。

同じような境遇の人います？

>>408
ﾉｼ

超高真空扱ってるんだけど、
その圧力レベルの研究ならポンプは常に稼動中なんじゃん？？

>>408
ロードロック型ならメインチャンバーは引きっぱなしにするだろ。
この刷れの住人は、ポンプが普通に鳴っていなかったら、orz

ただ今MBEの冷却まち〜
これがうまいこといけば応物

>>410
問題は真空装置のある部屋が日ごろいる部屋かということじゃないのか？
普通に過ごす部屋までいつもうるさかったらかなわん．

>>412
実験室と居住部屋が同じってことか。
それはいやだな。

>>411
応物は発表日までになんとかいきゃいいのよ

真空待ちage

大気リーク

>>416

なるべく窒素で・・・

研究室移ったんだがTMPが静かでビックリ

ロータリーポンプのオイルの匂い最悪

>>419
あれは絶対身体に悪いにおいだよな・・・
最近排気ラインを作って換気扇に吸い込ませてみた。
快適♪

>>419,420
俺はロータリー引き始めのあの音と匂いが心地よかったりする訳だが。

ヘンかな？

>>421
大丈夫だ、俺もそうだw

つかRPのミストはコンタミになるだろう…

大学の友人のお話。
RPオイルを正規の給油口ではなく、真空引くポートから追加。
んでもって、ポートを塞がずに試運転しやがった。

スイッチ入れた途端にオイルがポートから噴出し、ポンプの周囲
1mと天井がオイルまみれに。
近くにいたご本人も全身オイルまみれになりますた…。

すげーーー。当事者哀れｗ
友人が干されない事を祈る…

うちの研究室で、ロータリポンプのオイルにサラダ油をいれた馬鹿がいたが、
なんとビックリ問題なく真空上がりますた。。。

自分のカキコ(>>424)がなぜかNGワード指定で読めない…w

もう5年以上も前の話です。
友人は立派な会社員になりましたw

落ちる気配はまるでないのだが、一応保守。。。

ぐぉぉぉぉぉぉぉぉぉぉぉぉぉぉぉぉ
SEMの真空引き待ち・・・

現在13時間目・・・

もう暇つぶしも無くなった・・・

寝るか・・・

>>424
オイル噴上げショー、うちの教授もやってた。ｗ

SEMでなんでそんなに待つんだ？

>>429
リークしてませんか？

もう機械が古いから・・・
80年代前半もの・・・

一回真空落ちると、真空上がるまでかなり掛かる

RPのオイルを取っ替えてやって下さい。
DPかTMPか知らんが、DPならそっちのオイルもじゃね。

RPのベルトも交換した方がｲｲかも。

>>434
thx　

てっきりメンテ入ってるから、問題ないかと思ったら・・・
RPのオイルがぁぁぁぁぁ
交換したらあっという間に・・・


メンテスタッフはいったい何をやっているんだか・・・

メンテ終わって久しぶりにベーク。
只今終わって冷え待ち。真空待ちage

思った通りw

まぁｶﾞﾝｶﾞｯﾃｸﾀﾞｼｬｲ

SEMが直って良い感じ〜
欲しい倍率で撮れる！

が・・・
肝心なXRDの制御側であるUNIXが、丸ごと御亡くなりに・・・
学会に間に合わない・・・＿|￣|○ orz...

このスレまだ　生きてるのか、、、さすが（ｒｙ

うちのチャンバー、いつも丸五日くらいベークしてんだけど、これやっぱまずいよね？

RP2台＋TMP仕様でー7乗Paくらいまでもってくんだけど

いくらなんでも5日は長すぎ。

２日で十分かと。

ｳﾁの装置は半日で-7乗まで下がったけどねぇ。

横に2mくらいで、直径は15cmくらい。
真ん中と後端にそれぞれ10inchのTMP(+RP)をぶら下げてた。
O-ﾘﾝｸﾞ仕様だからベーク出来なかったけど。
前端はt15mmくらいの板を丸くくりぬいたモノを10枚くらい重ねて組付け。
間にO-ﾘﾝｸﾞ挟み込むのが面倒だった…。

>>440
ｴﾀﾉｰﾙを注射器に入れて継ぎ目にﾁｭｰﾁｭｰかけれ。
ﾘｰｸ探ししる。

Q-Massとかあったらさらにﾖｼ。

THX
ちなみに装置はスパッタで、反応スパッタするために気体導入用の管がごちゃごちゃついてて、これがリークの原因と思われ
セルフ後付で増やしまくったせいで配管に継ぎ手だらけでリークはある程度しかたないかな、とorz
とりあえずやるべきことはベーク前の引きを長くしてベーク時間を極力抑えるのが装置のためか
ちなみに120度でベークです

配管細いとコンダクタンスも小さいっすからねぇ。
リークなくても時間掛かる…。

導入する管もちゃんと暖めてる？一部でも冷えてると、ほかのとこから
脱ガスしたのがそこに着いちゃうから、結局そこの放出率減少が律速に
なっちゃうよ。5 日かかるってのはその辺のような気がするけど…

>>445
リークのせいならベークを長くしてもしゃぁないかと。
>>444が言うようにmassが付いてるなら一度水ピーク
の経時変化を見てみては？

一応Q−MASSついてるんで、次回のリーク時にやってみます
続報は来月以降で

続報を楽しみにしてますw

うちのMがシュラウドにLN2なみなみと入ったままで
MBEチャンバーリークさせました。
容器の内側が霜まみれに。。。ｳﾜｰﾝ

あぁ、そうか。
よく考えりゃここって教官の人たちも見てるんだよな…

age

ベーキングやりました
リークは無かった模様
Q-massは諸事情によりスルー
ちなみに過去に試したときはC-H系がでてきたそうです・・・（汗
引きながらバルブをあっちこっち開けたり閉めたりしたところ、やっぱり気体導入管が真空度を下げている模様
このあたりはベーキングしたいんだけど、ちょっと熱かけたくないんでむぅり、と
引き方を工夫する方向で考えていきます

GVBDSHUC

>>454
律儀にどうも。
気体導入管が真空度を下げているぽいってのは
「ベーク後にバルブを閉めたら圧力が下がった」
ということであってる？
あと参考としてその導入管のバルブの開閉前後
で圧力はどれぐらい変化した？

>>456
ちょとちがう
今回は導入管閉めてリーク＞導入管閉めたままベーク＞ベーク後導入管開ける
ってやってみました

で、いつも狙ってる真空度に到達するまでの時間は少し短縮しました
ちなみに-5Pa台
で、バルブを開けていくと、当然ひとつあけるごとに真空度下がるので、一度ずつ下がるの待って開けていきました
したら、あるバルブ開けたら突然真空度がすごい勢いで下がったんで、そこがやばげな感じ
たぶんいきなり全開したら、最悪-2Pa台までさがるんじゃないかな？やらんかったけど
ちなみにそこは、気体導入の際の気体混合ユニットがあるとこっす

ユニットの後ろ側は純ガスとしても、ユニットのチャンバ側配管(要は気体導入管)に貯まったガス
はポンプで引き切ってやる必要はないの？

チャンバと導入管のバルブの位置関係を見てみたい希ガス。

ご指摘のとおり、本当はバルブ全開放で全ベークしてやりたいんだけど、構造上の問題というかなんというか、先のほうはベークできません
で、当然他がベークされてるときその辺の温度低いんで、いっそベーク中はガス管閉めとこうかな、と
ちなみに今回はベーク後丸二日くらい使わずに引いてます
っていうか、まだ真空待ちDEATH

>>457
>>458と同じくやばげな気体導入管の様子を知りたいかも。
今回バルブを開けた際に出てきたのは「リーク前の実験時
の残留ガス」？或いは「大気」？

大気というほどには中の圧は高くなかった
ただ、バルブの漏れからくる多少の気体の進入は否定できません
ただし、どちらかというと向こう側の気体ボンベからの侵入のほうがありそうなので、そっちを疑ってます
・・・Q-massやればよかった・・・

>>461
実は俺のチェンバーにもガス導入口があるんだけど、
常に単一ガスが充填されてる状態になってる。バルブ
さえ閉じていればリークと排気を繰り返しても問題なし。

そちらはガス混合用の機材がついてるみたいだから
大変そうだけど、ガンがって下さい。

チャンバー？チェンバー？どっちが正しいの？

>>463
ttp://eiwa.excite.co.jp/sounds/NEW_EJJE/000957570730.wav
”チェｲンバー”に聞こえる。
日本語では、チャンバー派が多いような。
でも、MBEの人はチェンバーって言っているイメージがある。

どっちでも通じるよ。

ヒロシです・・・。
回転中のTMP（チャンバ下部に設置）にチャンバ内からボルト（？）が落ちたらしいとです・・・。
金網もつけてなかったとです・・・。
アルミの羽がめちゃくちゃになったとです・・・。

>>466　南無
TMPって排気量にもよるけど100万円クラスの装置らしいから、、、

回転翼が急停止すると、その反作用でケーシングが回り出すと聞いた記憶が。

ケーシングが回り出すということは…


ｶﾞｸﾌﾞﾙ

TMP2台をタンデムするのと、別々のポートにつけるのとではどちらが排気能力高いんですかねー？
圧縮比を1台よりも上げるため？
排気面積を多くとった方がいいような気がするのですが．．．

>>469
一文抜けてた2行目
うちの装置は500と150のTMPタンデムなんですが、タンデムの効果がいまいちわかりません

到達圧を低くしたければタンデム、排気速度を稼ぐならパラレル。
ただしタンデムの場合は一発目 (チェンバ側) のポンプからの
脱ガスを充分低くする工夫が必要で、これはそれほど簡単ではない
気がするけれど。

なるほど。勉強不足でした。
ありがとうございます。

一発目のTMPは空冷ピボット型ですが立ち上げ時に吸気側をベーキングしてます。
チャンバベーク後の到達は〜1×10^-7Paくらいです。
もっと下げたいなら水冷磁気浮上型とかなんですかね？

まずタンデムでの利用を想定しているポンプかどうかが問題でしょうね。
標準的にベークした真空システムで単発のターボで 10^-7 Pa ってのは
まあそんなもんかなあ、という感じですが。

「もっと下げたい」への戦略は、チャンバの利用のされ方、チャンバ容積・
表面積、ベーク温度、残留ガスの様子などに左右されるので、ターボの置換
が最適解かどうかは難しいと思います。役に立たないコメントですみませんが。

水素の圧縮比で到達圧力が決定し、
かつＴＭＰのみで高真空排気するような
超高真空チャンバであればタンデムにせざるを得ないでしょう。

ＴＭＰは質量が軽い気体の圧縮比が小さいのが欠点といえば欠点でしょう。

そこでクライオですよ。

そこでノーブルイオンポンプですよ。(ぇ

ロータリーポンプで真空をひいているのですが、真空容器の蓋の部分をプラスチックの板でふさいであります。
これだと10^2Pa程度までしかひけません。到達圧力は10^(-1)Paとかいてあります。
やはりちゃんとした蓋を作ってもらった方がいいでしょうか？

本体と蓋の間にバイトンゴムの O リングなど
(要するに弾性変形する気密性ゴム) を挟むと
だいぶ良くなると思いますよ。

デシケーターのこと？

本体かフタにはO-リングがはめ込めるようなミゾか、
本体内にO-リングが吸い込まれないような引っかかり
が必要になりますよ。

デシケーターなら apiezon グリースなどでかなり改善される鴨。

グリス使うなって明記してあるデシケーターも有る気がするけど？

>478
蓋の側にもプラ板の側にも溝はないのでoリングがつけれません。
接着剤で固めてみたのですが大して変化はありません。やはり空気がもれているのでしょうか。

ふにゃ

ロータリーポンプに繋がるホースのどこかからリークしてないですか？
うちだとオイル逆流防止のためにデシケーター引き終わったらホースはリーク
することになってます。

>>475
ガスソースMBEなんで。クライオは使えないと思います。
それも考えたんですが。

ただ基板ヒーター昇温中のデガスが多くて困ってます。
液窒トラップも使えないんで．．．
やっぱり基板ヒーター周り水冷した方がいいのかな。
みなさんどうしてるんですかね？

蒸着用に６０分待ちっと。

>>487
こんな年の瀬までお疲れさまです。。。
うちは28日にクリーンルームから追い出されました。。。(施設冬休みのため)

新年初ベークsage
只今１２０℃一日目で5×10-6 Torr

ウイイイイィィ・・・
早く７乗に入らないかな〜

TMPの説明書でGa系のガスを吸引しないこと、とあったけど、
もし吸引したらどうなっちゃうのかな。
単に毒性ガスだから、っていうこと以外に理由があるのかな？
誰か知ってる？

>>490
うろ覚えですが
Ga系は羽のアルミと結合してボロボロにするんではなかったかと

アルミホイルの上にGaたらすと、ホイルに穴があく。

>>491
>>492
遅くなりましたがありがとうございました。

FIBベーキング完了age

ﾎｽ

漏れはもう卒業だけど、ここはすごく役に立ったよ・・・
みんなありがとう

>>496
お疲れｻﾝﾄｽ ﾉｼ

>>496
私からもお疲れｻﾝﾄｽ ﾉｼ

次にロータリオイルまみれになるB4が現れるのはいつ？

500

>>499
ﾌﾟﾁﾜﾛｽw

、、、

えー、、、ただいまチャンバーベーキング4日目。

まあこれでも読んで…

ttp://science3.2ch.net/test/read.cgi/material/961414804/221-223

真空ポンプが爆発した・・・
やってらんねぇ

爆発する！？ポンプは何？

理論上爆発しそうなのは拡散ポンプくらいしかないと思うけど・・・

オイルミストトラップが爆発する（らしい）？ようなことを聞いたこと
があるけど、そういうことじゃないの？

爆発は言い過ぎました反省。
ロータリーポンプなんだけど、すごい音とともにふたが吹っ飛んで中のオイルがありえないくらい飛び散ったのさ。

フタって何？

真空メーカーの人間ですがロータリーポンプを侮ってはいけません。
実際大爆発を起こし人命が失われた事故もありました。
（CVDの実験でしたが）
皆さん、面倒くさがらずロータリーオイルは小まめに変えましょう！
常時運転の水や爆発性ガスでなければ3ヶ月〜半年に一度の交換をお勧めします。

ロータリーポンプの中の人も大変だな

アルバックかアネルバか

10年変えないでいたら、引越しのとき点検にきた
アルバックの人に凄い勢いで怒られますた。

　　　　 ,.. --─ｧ‐＝=､、
　　　　∠二ミ:::::://　 ...::::::ヽヽ、
　　r'r'´..::::::::ヽr‐､'､..::::::::::::::/ rl]
　　||　...::::::::::/ | l::ヽ､`ー‐'´ノ:ヽ
　 r' ヽ､___／ ∧::ヽ;::::::i「:l「::ヽ::::',
　 |iTｰ--r‐'´ ヽ:､ヽヽ:::l|::|ヽ:::ヽ:::!
　 |::}:::/|:|:|　　　 ヽ 　 ヽ!| ! ヾ;:::|::|　馬鹿かお前ら、ここはVIPだ！
　 |.:.!/:|::|l:!　　　　　　 -彡-;､ﾘヽ:|
　 |.:.||:::l::|ﾘ''テ=ﾐ　　　　ﾍ:;;;ﾉ　|:::|:! 　
　 |!.:|:::::l::|ハ::;;:ﾉ　　　　　 ::::::: |:::|:!
　 .!|.||;:::l::|､:::￣　　　,　　　　 /川| 　 __ , -''´i￣￣｀ﾞヽ､
　　 |!ヾ!:l:Lヽ　　　　 _...,　 ／ﾘ:/!|　/／へ|ﾚ^ﾚ彡　　　　｀ヽ,--､
　　 !　 lﾊ::!　｀''ｰ- ､.`´ イ　　_ 　 ////　　　　　 | |　ヽ　　 ヾﾐ ヽ
　　　　　 , ---､ __ﾉ　　 l⌒Y|　 V/ //　　　　 　 ヽ! 　 |　!　 ﾊ| ||
　　　　 /　　　　 ､　 　 / 　 |＼ || ! /　　　　　　　 ヽ　 l| |彡/ | ||
　 　 　 | ＿＿、　 ￣ /　　/ヽ(.)! | | ＞=､　　　　-＜!　| |/ //| ||　甘く見るなよ！！
　　　　/: : : : : ヽ　　 / 　 / 　 /|| | | ! |::::'!　 　 　 /::Lミ||ﾚ// l| || 　
　　 　 {: : :r'´--ヽ=:/　　/ 　 /７|| |.|ﾞ! L::ﾉ　　　　 L;;ノ ||ﾘｸヽ.l| ||　 .l⌒!
　 　 　 |: : :／: :__／　 ､ '　 /-r'┴､!||:::: 　　,　　　::::::::　| |!).ノ|| ||　 /　/
　 　 　 ト|: : : /:ノ　　 　ヽ､ ﾚ'′ /ハ|'､　　　　　　　　 //'´　 ||Ll／　/
　 　 　 |: :Y: : /　　＼　　　!　　/l/: :||　｀ﾞ - ﾟ..＿_,.ィ´//＿,--'´　 ､,/
　 　 　 L; :|: : }　　　　＼　 l 　 | !: : ∧　 ,. --|　／/〃:r'´　､　 ＼ ヽ
　　　　　 ト|: :.|　　 ＼　 レ'　 /: :: : {〃⌒l Lr'￣｀ヽ |:::|　､　 ヽ　　〉ﾉ
　　　　　 |:ヽ: |　　 　 |　/　,ｨし!: : : ||...::::/r､| ....:::::/ ﾊ::| ｀Lヽ　ﾚ‐<
　　　　　 ヽ ヽ|ヽ、　 .し'r<ハ!: : : : :|トニノ　ヽニニ人ヾヽ､ ￣　 >'′
　　　　　　∧ ヽ::::`ー‐': : 人: : : : : :|　|/::::::::::::::::::::::::::｀ﾞ´:::::r`ｰ'´

なんかリークしてた

今年入社した会社の真空蒸着機は油拡散ポンプ（ＤＰ）ですぐに10-8乗Torrまで引けます。
絶対真空計壊れてるって思うんですが、先輩方は全然気にして無くて、
報告の蒸着条件にも平気で10-8乗Torrって書いてます。たいした蒸着はしてませんが…

測定素子を内緒で取り替えてみるとか。
電離でしょ？

すげえ！！このスレまだ残ってたんだ！？！？！？！？
立てた当時は、まさか４年後に自分がポンプ屋になるとは
夢にも思ってなかったな・・・・

↑忘れてた・・・

チャンバの容積にも依るかと… > すぐに-8乗台

DP でベーキングなしですぐに 10^-8 台はさすがにキツイ。
ただ、ゲージポートが液体窒素溜めに対向してたりすると、
見掛け上すごく低い圧力に見えることはあるけど。

そーいや、地震でターボが逝きかけた。
ホント心臓止まるかと思ったよ。

ちょっと教えてもらえませんか？
メインバルブ(管の中に円盤が入ってて、直結してるバルブを回すと円盤が
管に対して平行/直交と変わって開放/閉塞状態になるタイプ)に塗っている
真空グリスを塗り替えたいのですが、どう塗ったらいいですか？
いつもは上から覗いて、管の中の円盤のフチの部分(円盤は管に直交(閉塞)状態のまま)に
塗っているのですが、これで正しいのでしょうか？
それとも開放状態にしてからフチに塗るものなんでしょうか？
よろしくおねがいします。

拡散ポンプ内を回転ポンプで引いているのですが、
40[Pa]から下がらないです。で、
拡散ポンプ-M.V.-ベルジャー、と、つながってるM.V.を閉じているのに、
ベルジャーの圧力が微妙に下がっているんです。
M.V.漏れかとは思うので塗り替えようかと…

>>523
メインバルブに真空グリスなんて塗るもんなの?

>>524
えっ、塗らないんですか？(M.V.かはともかく、開閉弁みたいなののスキマに)
正式名称知らないんですけど、うちはフタが90度回って管路が開閉するタイプなので、
閉塞した時のスキマを埋めて気密性を上げるために塗ってるんですが…

指導教官が塗り塗りしてるのを見学して、「こうやって塗るんだよー」
ってのを見たことはあるんですけど、詳細がよくわからなくてorz

↑525=523=私です。

そういうのはバタフライバルブと言うな。到達真空度にもよるが、
グリス塗るのもありだろう。ただ 40Pa っつーのは漏れすぎ。
グリスだけでは解決しないと思う。ゴミとかが挟まってんじゃないかな。

漏れなら分解して清掃してからグリスアップするだろうが、慣れないと
作業の段階でキズつけてバルブをおシャカにしたりする可能性も
なきにしもあらずだから、経験のある人と一緒でないとお勧めしない。

いずれにしても指導教官がいるなら、その先生に相談するのが
一番だと思うぞ (いまは独法化したから教官ってのはいないんじゃ、
というのはさておき)。

>>527
ありがとうございます。とりあえずグリース塗って調子よくなったので、
とりあえずヨシということにしました。＆指導教員にも報告して、ヨシと。

拡散P荒引きで到達目標10[Pa]で、調子イイと0.x[Pa](ピラニの一番下)まで
スッと落ちるんですが、調子悪いと20-40[Pa]でフラフラ…(ベルジャ大気圧のままで)

昨年度に拡散ポンプ大気圧開放でィヤッほーした件(犯人は僕じゃない)もあって、
「いつか全部掃除したいんだけどなぁ…」と言っています。
その際に、指導教官と一緒にバルブ他あわせて掃除の勉強しよう思います。

そうそう、教"官"じゃないんですよね。まったくメンドクサイ。
スレ違いネタですけど、大学院の願書の出身校を
□国立　□私立　□その他　　まるまる 大学
…迷うことなく「レ その他」にしますた。

そういやさぁ、リークしてっかもしんないとこにメタノールぶっかけるっしょ？
んで、其処がリークしてたらどんな反応があるわけ？
真空計の表示が揺れ動くとか？

>>529
リークの大きさにもよるけど、普通は真空計が振り切れるから分かる。

すごく大きいリークの場合は、ガイスラーの色が変る。

-6 Torrまで排気できているような微小リークの場合、
穴が埋まって逆に真空度が良くなる場合もある。

>>530
レスどうも♪
なんか夏になるとNIG(ヌードイオンゲージ)の表示が揺れ動くモンだから、
ウチのボスがリークじゃねぇかって疑ってて。
メタをどばどばぶっかけても変化無いから、
なんか見当違いの事してるんじゃないかって思ってたｗ

おい、おまいら!!

SIがなんと言おうと、このｽﾚでは圧力表記はTorrで統一しる!!


Paじゃ実感わかなくてｲﾔﾝﾇ。
ｲﾁｲﾁ変換するのもﾏﾝﾄﾞｸｾだし…。

orz

>>532
100で割ればいいじゃん

おいらも社内では、Torr しか使わない。

「今どこまで引けた？」
「4乗に入ったところ」
ってPaで言われても実感わかないし、
100で割るのはﾏﾝﾄﾞｸｾ････

しかも 4×10^-4 Pa=3×10^-6 Pa だから、
100 で割っただけだと微妙に圧力が悪い気がするんだよなｗ

でもやっぱまあ慣れないとだめだよこれからは。

Torr，Paってたとえば物理系，化学系とか？
単に好みかな．
うちは物理系で，Pa表現が一般的です．
でも古い先生だとTorrよく使うな．

おまえら思いっきりブルーカラーやん。

>>537
オマイ、Torrが使いこなせなくて悔しいんだな。

TorrでもPaでもどっちでも構わないけど
せめてどっちかにいい加減統一してくれんもんかね。
うちは装置が何台か有ってTorr表記のとPa表記のが
混在してて面倒。
B4なんてこんがらがってるし。

真空度なんざ感覚だと思い、
Pa Torr mbarなんざ気にしない俺は少数派ですか？

>>540
そんなあなたにはバキュームデシケータで十分です

>>541
いや、それじゃ上等すぎる。
これがいい。
http://www.google.co.jp/search?num=50&hl=ja&inlang=ja&ie=Shift_JIS&oe=Shift_JIS&c2coff=1&q=%95z%92c%88%B3%8Fk%91%DC&btnG=Google+%8C%9F%8D%F5&lr=lang_ja

>>542
それは真空に分類していいのか・・・？

圧力ってマイナスの値になるんだっけ？

>>544
基準に取った方向と逆向きに圧力がかかればマイナスになる

>>517,520,521

情報サンクスです。やはり、真空計壊れてました。
後輩がバルブ操作を間違えて、粗引きのみの状態で蒸着しようとして、
アルミが真っ黒になりました。でも、真空計は−８乗torrでした。
その後、常圧でも−８乗を表示することが判明。

他大の知人に「DP使っているのはお前の大学くらいだよｗ」みたいに馬鹿にされたんですが・・・

DPってもう時代遅れ？

まあたいていはターボなんだろうなあ。
うちの研究室にもあるけどｗ

ちょっと古いSEMとかは普通にDP使ってる鴨。

>>546
お疲れさん。

常圧でも-8乗台って笑えるw
どれだけイオン電流流れるんだと問い質したい気分。

DP買うならターボ買った方がgoodな気がする

操作性・ﾒﾝﾃ性を考えるとそうだけど、ﾀｰﾎﾞ高ぇよ。

同じ真空度でもDPよりターボの方がクリーンであるって聞いた事あるんだが

DPはミクロで見れば油滴が放出されているからな

>>547
ど素人に使わせることを考えて，研究室とかだと最低１台はDPがあったほうがいいと思う．
うちはメインの装置はたいていTMPだが，そういう用途用に１台DPの蒸着器が残してある．

そういえば、DPって常圧状態から引けたんだっけ？
それとも粗引き必要だっけか。

>>556
粗引き必須ですお。ロータリポンプでポンポンポンポン…

>>555
ターボもDPも原理さえわかっていれば、操作に関しては大差ないと思うが

DPは、壊れたところで真空度が上がらなくなるくらいだ。
大気導入してもたかが知れている。

TMPは…。

TMPをぶら下げてる実験装置が 架 台 ご と 歪 む という話を聞いたことがあるぞ。
TMPの大きさにも依るとは思うけれども。

-10乗torr台で突然、ターボが逝ったらどうなるんだろう・・・

爆発？


ｶﾞｸｶﾞｸﾌﾞﾙﾌﾞﾙ

爆発はせんと思うけど。
ロータリーが繋がっているならば、油が装置全体の回る。

高速回転してるターボの羽根の運動エネルギーはものすげえわけで。
工場なんかのでかいターボだと、ケーシングから飛び出してそのへんの
ブツを薙ぎ倒しながらすっ飛んでいったとかいう話もあるらしい
(都市伝説の類かもしれんが)。

ｳﾁのボスはﾛｰﾀが吹っ飛ぶことを竹とんぼと表現する。

飛んだところを見たことがあるのかとw




実際のところは、大気導入したときにﾛｰﾀがｹｰｼﾝｸﾞにぶち当たる
のを言いあらわしている訳だが。

すえーじろっくのフェルールとかナットって
けっこー高いのね．知らなかった．

だからこそ互換品がゴチャマンと存在しうる。

会社に入って知ったけど、互換とは明記しないまでも
組み合わせても使えるっていう製品は4,5社を下らない。

中にはマユツバなメーカもあったりするけど。

このスレの住人って何研究している人が多いの？

>565

thx

安く手に入るように
さがしてみます

膜圧計のシャッターがお亡くなりだ…orz
窒素圧かけてもちっとも動かん！
卒論前に大気リーク決定だよ…
デコピン一発で直りそうなもんだが、誰か同じ事経験した香具師いるけ？

TMPの動作中に電離真空計の測定子にものを落として
ぶっ壊した俺様が来ましたよ。

（TMP自体は奇跡的になんともなかった）

真空の単位がよく分かりません。
どなたか教えて頂けますか？

真空の単位など無い。

在るのは「圧力」の単位だけだﾎﾞｹ。

>>571
子供っぽいよ。

で？

単位ではないけど、真空の度合いを示すなら

極高真空 > 超高真空 > 高真空 > 中真空 > 低真空 > 大気

>>570さん
以下の解説はどうでしょうか？
ttp://www.ulvac.co.jp/firstvisit/index2.html

極高真空なんてあるのか。はじめて知った。

チラシの裏すまそ。

>569
そのTMPｸｵﾘﾃｨﾀｶｽwwwwwwww

そして膜厚計の導入部からのリークがここ一週間止まらない件。
あー逃げてぇ

つ エポキシ

中で水漏らしちゃった・・・・

ベークもできそうにないし・・

基盤交換恐怖症

質問があります。

・ターボがｷﾝｷﾝ言い出すのって壊れる前兆なんですか？あと、この音は
　どっから聞こえてくるんですか？
・ターボの寿命って(あるとすれば)何ｈくらいですか？

詳しい方教えてくださいお願いします。

固定が悪いと台と共振してでかい音がすることがあります。
本体でしてるとすると、熱膨張とかで接触があるのかも。
あとグリス式のやつだったら、定期メンテは必須。

数万時間以上持っているターボが身の回りにはたくさん
ありますが、製品によっては 2 年くらいで壊れてしまう
こともあるそうです。あと、ON/OFF を頻繁に行ったり、
ガスの負荷をかけたりするともちろん寿命は短くなります。

うーん…冬だったこともあり温度は３０℃前後だったので、熱膨張ってこと
はないと思うんですけどねえ。
70000ｈ近く稼動しているのは頑張っているほうですか？

>>582
さすがに 7万h 経過後の不調は、自分なら寿命と思って
あきらめると思いますｗ　連続運転で 7 年以上だもんなあ。

>>582-583
ざっと8年になる罠
新しいの買っても怒られないと思われ

はい、DPの油を逆流させてしまいました。
鬱。

この前、基板加熱してたらどこからか
リークしていて、基板加熱版が真っ黒になった。

皆さんはターボを止めたあとベントバルブを緩めてますか？
RPからの油の逆流を防ぐためにやったほうがいいって聞いたことが
あるんですけど。
あと、電力投入していないフリーラン状態(つまり、中の動翼が惰性だけで
回り続けている状態)ってターボにとって良くないんですか？

>>587
どんな世界の住人ですか？

RPを使う限り，油の逆流を防ぐためにポンプ側のリークバルブは
つかった後は開けておく必要がある．
これは先に何がつながってるかにかかわらず同じ．
ちなみに，油逆流はDPだとギャグになってもTMPだとシャレにならないので注意．

あと，システムにもよるけどTMPは使用していない時も真空中に
保持するのが普通．それと，TMPのフリーラン状態はいいも悪いもないと思われ．
ただ，何かトラブルがないと通常運転時からフリーランに落ちることはないので
そういう意味で縁起が良くない．

>>588
RF Sputteringです。
この前ターボを止めたとき、電力投入が０になっているのを確認した
あとベントバルブをゆっくり開けてみたら

「ｷﾞｭｩｩｩｩｩｩｩｩｩｩｩｳｳｳｳｳｳｳﾝﾝﾝﾝ」

という結構大きい音が聞こえてきて(多分、動翼がトルクを受けて減速して
いる音だと思うけれども)、気になったんで投稿した次第です。

大気導入乙

>>589
スパッタに使ってるTMPならたぶん大気導入大丈夫だろうから死なないだろうが，
回転停止まで待たない理由がわからない．

まあ，相当運が悪くない限り何もおきていないと思われ．

金を蒸着（基板加熱あり）した後、エタノール
でチャンバー内を掃除すると黒いすすが全体的
に付着しているのですがこれは金そのものなの
でしょうか？
また数回蒸着していると金は掃除しても
取れなくなるものなのでしょうか？

誰かご教授をお願いします。

Auの超微粒子だお。

数回蒸着しても頑張れば取れる。アルミナ粉とか使わんとならんかもしれんが。

いっぱい蒸着したほうが取りやすいと聞いたことあります。
厚みが増して、ポロリとハゲるらしい。

なんかターボ回ってるときはあんま近寄りたくないことない？
万一ぶっ壊れたとき凄そうで・・・。あの羽根ってえげつない速度で
回ってるし、殻ぶち破ってきそうで怖い（ｗ

ｹｰｼﾝｸﾞ(殻)って結構分厚いから耐えるお。



多分w

中の人まで真空になってるのでリークage

　　　　　　　　 ﾊ,,ﾊ
　　　　　 　 ('(ﾟ∀ﾟ∩_　おいらをどこかのスレに送って！
　　　　　　／ヽ 　 〈／＼　お別れの時にはお土産を持たせてね！
　　　　 ／|￣￣￣|.＼／
　　　 　 　| .ﾓﾂ煮..|／
　　　　　　 ￣￣￣
現在の所持品：たばこ・ライター・コーヒー・ブラックブラック・枕・ケータイ電話
睡眠薬・聖教新聞 ・ダッチワイフ・外付けSCSI340MHDD・地図帳・EGF・粉石鹸

質問です。
蒸着して、すべての工程を終えて、電源をきったら、最後に
ロータリーリークバルブをあけますよね？
一度開けたら、閉めても大丈夫ですよね？
油は上がってこないですよね？

>>600
俺が学生だった頃は特にそんなことは言われなかったが、
TMPの電源を切ってもまだしばらくは惰性でタービンが回ってるから、
リークバルブを閉めた段階でまだタービンが回っていると(音がしない程度でも)、
タービンの内外で圧力差が発生して最悪油が上がってくる可能性はある。
リークバルブを開けておけばその部分は大気圧だから逆流することはまず無い。
だから、どっちかと問われたらリークバルブは開けておいた方が無難だと思う。

リークバルブが閉じてあるとリークし忘れたんじゃないかと不安に思われるから，
リークが終わっても開けておいた方が無難だと思う．

確かにそうですね、
昨日実験をしたんですが、今日の朝に、リークバルブをどうしたか気になって
かなりあせりましたからね。

真空めんどくさいやめたい

DPしか使ったことありませんが何か？

>>605
DP使うならRPも当然使うんでないの？

フリーズドライ作りたい、ので連休中にMyポンプで鮭の切り身を引いてみよう。
楽しみ。

>>600
チャンバーを真空に保ったままなのだから、
荒引バルブを開けなければ
ロータリーポンプ内のリークバルブ操作のみなのだから
関係ないでしょ？

>>607
TMPのタービンよりチャンバ側までには油が来ちゃう可能性が残るからね
チャンバが汚れる危険はできるだけ避けたい

ターボポンプとロータリーのラフバルブ閉めておけば問題ないでしょ？

あー
うちにはターボとロータリーの間はトラップだけでラフバルブなかったからなー
ラフバルブあるなら油の件はいいのかもしらんけど
>>602みたいなこともあるからやっぱ開けておいた方がいいかも

>>609
自分の経験だとバルブがTMPとRPの間にあってもポンプをリークしないと，
TMPがおじゃんになる．
バルブで1回は止まるんだけど，その後何回か運転してるうちに上に上がって来るのか，
TMPが油まみれになって洗浄に出す羽目になった．

2ch最古参級のこのスレで
久々に活気のようなものを見たｗ

スパッターや蒸着はやっぱり、クライオポンプが一番いいなぁ。

いや、ターボだろ。

いや、両方だろ。

いやクライオだろ。

とりあえずオイルフリーロータリーも忘れないでやってくれよ。

オイルフリーで、-5？くらいまで引くか？

？＝Ｐａ

でもまーTMPにしろ大気から引けないポンプ使うなら
ロータリーは心の友のはず。

うちのディフュージョン１０時間くらい引くのにかかるんだが

>>621
ファイナルどれくらい？

オイル量チェックしてる？

ＤＰオイルが逆流してしまい、チャンバーがオイルで汚れた場合、どうやって掃除すれば良いのか困っています。どなたかご教授お願いいたします。

>>624

汚れかたによる
どれぐらいよごれたか、かいてみれ

むかしはトリクロロエチレンを染ませたキムワイプで一所懸命拭いたものだが、
いまはもうトリクレン使わなくなってるからなあ。イソプロパノールとか？

ふつうアセトンとエタノールでは？

ｳﾁの会社はアセかIPAですな。
槽内洗浄。

べべべ別にしょっちゅうおおおオイル逆流させてるワケじゃないっすよ。
ししし真空チャンバ積んだ装置つつつ造ってるんですってば。

>>628
IPAってイソプロパノールアルコール？
アセはアセトンでオーケー？

>>629
無視かよ　ハゲ！

オイルが入った、ついでに付着物も
とかいうなら、
一度、パーツをばらして
スコッチブライトあたりで磨いて
中性洗剤で洗って、純水につけて、
アセトンで超音波かければOK

チャンバー自体も、磨いて
丁寧にアセトンで拭けばOK

どう考えても、体に悪いので、
若い連中にやらせる方向で

汗：汗トン
VIPA：磯プロピル有るコール (磯プロパノール)

>>631
アセトンって使うと目が痛くならない？
スパッタの話をしているんだよな？

>>633
馬鹿？

皆さんとてもわかりやすく説明してくださり、ありがとうございます。
昨日アセトンでやってみて、今ベーキングしているところです。

発泡スチロールにアセトンかけると面白いよ。

>>632
アセトンは揮発性の溶剤で人体に余り良くないよ　
俺はアセトン拭きする時は必ずマスクを装着していたが

有機溶剤は通常揮発性。
マスクは吸収缶タイプじゃないと意味ないよ。
布マスクとかだと。

一応保守。

ヌードゲージってフィラメントだけ交換できるんですよね？
グリッドにタングステンの酸化物がびっしり付いてる状態じゃもうダメなのかな…

有機溶媒は基本的に発がん性だから気をつけろよな

まぁ俺は吸いまくってるけど

大気圧から使えるターボがあるらしい？と聞いたのですが
それは本当でしょうか？

本当ですよ

あるらしいな　うちは予算なくて組めなかったけど

そんなん使っても、
バックポンプがＲＰだったらあんまし変わらんと思う

書き逃げかよ！

図書館で「真空」
で検索すると
真空とび膝蹴り・・という本が最初に出てくるんだよ
絶対、洒落で入荷してるよ

無意味にガスケットの材質を金にしてみたいと思ったことない？

ない。
グラム数チェックするし。

>>647
沢村忠ナメんな

テーパーシールガスケットってのがイイらしいんだが…

誰か使ってる人いる？

RPとDPを使ってるんだけど、この前止めたときにRPをリークさせるのを忘れた気がするんだけど
これってやばい？やばくない？

最近の RP なら逆流防止弁がついてるから多分平気。
大昔の RP は回転を止めると油が真空側に吸い出されるので、
停止したらリークしましょうね、ということになっていた。
TP-RP の系なんかだと RP リークはしないことも多いしね。

なるほど、確か1990年代前半の遺品だった気がする。
それぞれにつながってるバルブは全部閉じたのは覚えがあるんだけど・・・

>>653
逆流防止弁がついていてもポンプはリークするものだと思うんだけど…
TMP-RPの系でRPリークしないというのも聞いたことがないし．ほんと？

まあ，RP-DPの系なら最悪自分でお掃除すればいいだけなんで，
気にすることは何もないんだけど．

DPの水冷用の管がどっかでつまったっぽい・・・
どうしよ・・・

>>656
つポット洗浄中

RPじゃなくて、スクロール使えばいいのに。

ＤＰの冷却水のチューブ踏んづけたら、ＳＥＭ止まった
今度の新型ＳＥＭはすげぇぜ！・・・って何がだよ

おまいらチャンバーのベイキングってどうやってる？

昔の研究室はリボンヒーター巻いて
その周りをアルミホイルの２重にした奴で上手く密封してた
→　3x10-11 torr

今の研究室は断熱の板で箱作ってチャンバーを密封して
中にコイルのヒーターを置く
→　良くて10-10 torr

ぶっちゃけめんどい、密封するだけで半日仕事
チャンバーを包むのに良い板や布などないかなぁ

>>660
うちはリボンヒーターを適当に巻き付けるだけで何もしない．
真空度は下と同じくらいだが，有機物用のチャンバーだから
そんなもんかなと思ってる．

周りに燃えるものがなければ，温度にもよるのだろうが包む必要があるのか疑問．

>661
サンクス、先生は「リボンヒーター使うと部屋が熱くなるので止めた」と言ってた
あと密封して、暖まった空気で暖めると温度ムラが出ないとか
でも、リボン巻き付けるだけが楽で良いんだろうなぁ

ちなみに今日、暖まりにくい部分のために、低ワット数のリボンヒーター買ったのだが
リボンヒーターって初回は空焚きして煙り出すんだったよな、忘れてた

>660
世の中にはベーキング機構組み込んだチャンバーっつう代物も存在するらしいが

ヒーターの電源切った
さてどこまで下がるかな♪
このひとときの楽しみの為、
アルミホイル巻きも苦にならないw

-10乗入らないかなぁ
ゲートバルブ交換で改善されてっかなー

あぁ、懐かしき真空待ち。
もう一度真空待ちのという一時を味わいたい。

今まで、RP・DP組み合わせの蒸着機を使っていたんだが
もうそろそろ古いので買い替えの話が上がってて
オイルフリーのターボ分子P・クライオPの組み合わせで考え中。
メンテナンスってオイル交換ないから楽かな？

オイル交換だってそんな面倒じゃないじゃん
結局必要最低限で一番安いポンプ買うことになるのさ｡･ﾟ･(ﾉД`)･ﾟ･｡

ちょっとチャンバーの中いじりたいが
せっかく10^-7 Paいってるチャンバーを開けたくないなー
作業する間、部屋全体を真空にしたい (・ω・｀)

すごい真空だな…
もう絶対開けるな、もったいない。

ちょっとお尋ねしたいのですが、deep vacuumの日本語、ご存じの方いらっしょいますか？
低真空？中真空？まったくど素人なので、お願いします。

約1週間べーク継続中。
あー真空あがんね…

1週間ってすごいですね
真空度どれくらいが目標なんでしょう？

目標は-8乗Pa前半代です。
まぁ、ほとんど初焼きに近いんで、厳しいかもしれないです。
ただいま7E-6Pa＠120℃。
台風も来てるしそろそろ降温始めるか。

わけわからん日本語打ってしまった。
訂正。
目標は-8乗Pa前半です。

このスレまだあったんだ。
漏れが、卒研の時の奴だよな。

みなさん教えてください<(_ _)>

アルミのフランジに傷を付けてしまい、リークが直りません・・・・
スコッチブライトで磨いてもダメ、微小にリークするのです。

何使ったら綺麗さっぱりなおりますか？

アルミフランジにも使えるものなのかどうなのか分かりませんが
エッジを使わずにシールするIPDガスケットとかいうものがあったりします
（私も使ったことは無いのですが・・・）
http://www.sev-vacuum.com/j_contents/products/cf_g/ipd.html

ちなみにアルミフランジ（アルミチャンバー）をどういった装置に
使ってらっしゃるのか興味があるんでもし差し支えなければ教えてください

（ULVACはアルミフランジの製造終了したらしいですね・・・）

>>678
レスありがとうございます。

搬送室がアルミで、ふたのシール面を傷つけてしまったんです。

リンク先のガスケットは使ったことがありませんが、今使っている物と交換って訳には
いかないですよね？
それに、シールする面の傷をなおさないと、どのみち使えないでしょうから・・・

>>677
#400→#800→＃1200→#2000→仕上に金属研磨剤

>>680
れすありがとうございます。
結局研磨剤で鏡面仕上げにしてやらんとダメですか、でもコンパウンド使っちゃうと
なかなかデガスが止まないので、出来るだけ使いたく無かったんですよね。

で、結局研磨剤入りのゴム（細目）でO-リングに当たる面にそって磨いて終了しちゃいました。
アルミは難しいです。

みなさんありがとうございました<(_ _)>

スパッターあまりやると、癌になるよ。
強い電磁波で。
他にも。

19:50:処理室（通常３×１０＾-１１torr）のゲートバルブを開ける
19:51:処理室のSIPを切る
19:52:イオンガンのデガス開始
20:00:ArスパッタのためArガスを暴露開始
20:03:TMPの回転が急に落ちる，NIG異常停止（４乗代より悪い）
20:10:TMP復活
20:15:NIG７乗代へ
20:20:Qマスに水のピークが…。しかもArのピークの比じゃなく多い
20:25:NIG８乗代へ
21:30:NLG ９乗代前半へ
21:40:イオンポンプ再生　
21:45:９乗代後半まで真空度が悪くなるもイオンポンプの
ゲージは安定→ゲートバルブ閉鎖←今ここ

ホラー英語並に恐怖だな．特に20:03のあたりとか．
なにはともあれ復活おめ？（まだか）

>>684
論文（プロシー）締め切り１ヶ月前の追い込みの時期にショックだよ。
油逆流とかしてないとうれしいんだが…。

ちなみに現在2.93×10^-11[torr]TMPの回転が急に落ちた原因は
TMPのリークバルブに足があたったことによるみたい。

TMPは罵詈案製、しかも新品の３５０。TMPをLS（３６KRPM）にして空気を入れて止める直前に
TMPのリークバルブを指で押してみると、TMPの回転数が落ちだすし…。

こんなことは初めてだ。（トランスファーロッド操作時に足が近くにくるので
前々から危険とは思っていたんだが）

>なにはともあれ復活おめ？（まだか）

TMPだけで1×10^-9までいったんで、SIPのみで引いた状態で
このくらいまではいくだろうが、問題は3×10^-11まで引くかどうかだ。
9乗代でSIP動かしてるからゲージもけっこうヤバソウだしもう泣きそう。


素直にベイクというのが王道っぽいんだが、いったん大気開放するといろいろな
パラメータが変わるからやりたくないし。（４乗まで悪くしたらいろんなもんデガスせんと
不味い気もするが）

リークバルブからなら油の逆流はないでしょ．
まあ，自分は -9乗までしか知らない人間なのであとはよくわかりませんが，
単純ミスする時は寝たほうが良いよとだけ言っとく．

いや、
TMP←→ロータリー
と接続してるので、TMPの回転が止まると超高真空側とロータリー
側が直繋ぎに近い状態になり、ロータリー側から超高真空側に油が
入り込むのではないかと…。最近ロータリーの引き悪いし。

一応フォアラインとラップはかましているが…。

＞単純ミスする時は寝たほうが良いよとだけ言っとく．
確かに。

というか、ロータリーにフォアライントラップを接続する部分の
ネジも緩んでいて、フォアライントラップが勝手に動き出すし…。
どういう管理のしかたをしてたんだ管理者は…。


って俺か。

>>687
TMPが停止した原因がリークバルブからの気体の進入なら
TMPの側の方がロータリー直後よりも真空度が低いはずだから
油は上がってこないかなあと．

なんか自分の認識の甘さを晒してる気がしてきたので退散．

>>688
確かに。俺がどうかしていた。
というかまじ泣きそう。

今1.73×10-9トル
>>685の値はミスで
2.93×10-9トル

したがって１時間で1×10^-9トルぐらい引いてる。
イオンポンプでorz。

スパッターあまりやると、癌になるよ。
強い電磁波で。
他にも。

>>689
Q-Massの値で、かなり現状が分かるはず、水や酸素や窒素や二酸化炭素などが入っているはず。
クラッキングパターンを考慮すれば、オイルが入っているかどうかも判断できると思う。オイルが
入っていたら泣くだろうが、私だったら時間が無いときに水が入った段階で泣きそうになる。
しかし、９乗まで引けているのなら、大して汚れていないような気がする。私だったら素直に、
真空引きをしたまま注意深くあちこちをメンテして（くれぐれも事故のないように）、その後
１日くらいベーキングするが、いかが。検討を祈る
　というか、もしかしてQ増すの性能が悪いとか？？？

アマテラス降臨！

ＥＲＲＯＲ：本文がありません！

やっとMBEから解放された！！

もう超高真空装置なんか扱わないモンねー！！！！！

>>694乙
俺も卒業してもうすぐ2年たつが
ちっとも真空度あがらんしちょっと蒸着するとすぐ真空度悪化するし、
厄介な装置だったなぁ

・・・てかこのスレ息長いな。
俺が研究室入った時にはもうあったし、Ｍ出て2年たってもまだ残ってる。

>>694
そのうちまた無性にベーキングしたくなる時が来ますよ

>>696
ははは…おっしゃるとおりです。
真空装置とか液体窒素とかが懐かしいなー。
TMPの起動音とかさ。

昔オイルポンプ勉強したよ。ダイオード作った30年前だけど｡

大気突入やってもうた。。。。。。。。。。。。。。。。。。。
あーーーーーーーーーーーーーーーーーーー！！「ｒｔｆｇｙふいｊこｌｐ；「

ｲ�`

こんなスレがあったとは…

30年ぐらい前のEBEなんだけどTMP使って10^-3[Pa]位で蒸着してますｗｗｗ

仕事柄年中やってるなぁ。。。
真空断熱容器とか、チャンバーとか。。
ウチのを使った事あるヤツいるかもね。

日電アネルバ？
大阪真空？

>>703
いまどき日電とは言わないですが、その社名になれていると言うことは
真空待ち歴が長いのですね。

昔の取扱説明書ばっかりだからね

キヤノンアネルバとかもう新しすぎる人たちですか

昔の取説見たら
「めくらフランジ」とか普通に使ってるね
ちょっとビックリした

キャネルバはごく最近ですね。

ところで、高真空にして蒸発源とかつかって成膜している方いますか？
低レートでどこまで低くレートを抑えて飛ばしたことあります？
今せいぜい０．０５Å／SECぐらいが限度なんですよ。この１０分の１とかやるには
どうしたらいいんでしょうか？

世の中と思いっきり逆行してませんか？w

>>709
まぁ、普通は高レートで低真空とかでガンガン成膜っていうのが主流なんでしょうけれど、
私のやってるのは常にコレばっかりなんですよね。

でも、割と最近のデバイスのつもりですよ。

あ

蒸着源からの距離をのばす

>>712
レスありがとうございます。

はい、確かに蒸発源からの距離を伸ばすのも手なのですが、膜厚センサーの位置も
基板の位置も変えられず、殆どセンサーのノイズを減らすだとか、その手の地味な事を
延々やらないとダメなのかなって感じています。

手っ取り早いのは、レートコントロールしている側で、ノイズフィルターを強力にかけてしまう
事だろうけれど、それをやりすぎると、材料が飛んでいるのか、ノイズを拾っているだけなのか
よーわからん、ってことになってしまいそうなので、出来ればその他の工夫で何とかしたいのですよね。

なかなかこの手のノウハウは、教えてもらえないので困っていますが、地道に見つけていくしか
ないのかな・・・・・

>>713
ソース−基板間距離を出来る限りのばし、膜厚センサーはソース近くにする。
あとはツーリングファクターで合わせればOK！
ってのはだめ？

>>714
レスありがとうございます。

＞ソース−基板間距離を出来る限りのばし、膜厚センサーはソース近くにする。
その辺は基本ですね。基板間距離のだいたい３分の１程度にしてあります。
ただあんまり近いと、分子線セルなんかだと熱すぎて熱の影響か、ノイズっぽくレートが
見えてることもあります。と言うことはもっと冷やせって事なのかな。

Toolingであわせる、というのは表示値が実際の１０倍で見えるようにしてコントロールするって
いう奴を既にやっています。
それじゃ１００倍にすれば目的達成できるかっていうと、ノイズも増幅されるのでちょっと
一筋縄ではいかないのですよね。

メーカー取説を読んでも、あまりつっこんで書いていないのですよね。
色々いじってみたいと思います。

>>715
もしや膜厚計はU社？

>>716
いいえ、その会社じゃありません。
オシレーターがちょっと・・・・・あと、会社そのものが好きじゃないので。
これを言い出すとキリがないので止めますが。

といっても、他社も性能的に似たようなモノだと思っています。

でも、膜厚計を用いた蒸発源なんて、結構昔からあると思うんですけど、それでも
未だにきちんと解決していないことがあるって言うのも変だなって思いますｗ

Kセル+職人芸でよければ、1A/minくらいで蒸着できるけどね。

水晶振動子割った奴ちょっどすこい

振動子くらいいいじゃん．どうせ消耗品だし．

>>720
いやいや、以外と再生できるんですよ。
それに、１０枚セット１万円ぐらいするじゃないですか。消耗品扱いではありますが、
大事に使えば結構使い回せますよ。

膜厚の均一性がそこまで気にならないなら、サンプルステージもしくは
基板自体を傾けるとか。89度傾ければ成長レートは約100分の1に　・・・理想的には

>>721
うちのバカはもう４枚割ってますｗｗ

4枚は消耗品とは言え擁護できないなw
というか，どんな状況で割るんだろ．取り出す時？

>>722
あぁ、そんなこともやれそうですね。
ただ膜厚分布は捨てられないし、Host材は普通に１Å／SEC程度で飛ばしたいし。

傾けて基板回転とかしたら分布取れるかもしれないなぁ、色々聞いてみるモノです。
ありがとうございました。

>>1
どこまで真空に引けた？

>>724
拭くときと、振動子を固定するキャップぎっちり締めすぎて粉々にしてたｗｗｗ

完了！

質問なのですが、
ある大きさの容器内、この場合１立方メートルとする、
この容器を水に付け底に穴を開けたら、水が半分入ってきたとすると、水が入る前は、何Paなのでしょうか。

できれば、式もお願いしたいのですが。
よろしくお願いします。

丸投げ死ね

>730　すいません。

>>729
これでいいかは分からないけど・・・・
水が半分入ってきたと言うことは、半分入ってきた所が大気圧と釣り合ったって事でいいのかな。
あとは状態方程式に数字入れたら終わり。
あとは適当にググればwikのリンクが出てくるだろうから、それ見てね。

>>732　ありがとうございます。
　　　　　　検索してみます。

なんという夏休みの宿題ｗ

このスレがまだあったことに少し感動ｗ
学生時代の自分の書き込みが残ってるｗｗｗ

さっき大気開放しなきゃ取れない所に
試料落としちゃったんで大気開放して
いまベーキング中orz

誰だよ交換室あけっぱにした奴！！

>>737
交換室の中にプレゼントが入っていなかったかい？
きっと忙しいサンタが開けっぱなしにして、次の家に行ってしまったんだよ。

プレゼント、水の壁面吸着だけど。

>>738
おかげで、年末年始・・・終わったな。

てか停電のたびにベーキングすんのやだ

ロータリーポンプから白いけむり?がでるですけど故障？
どうしたらいいですかね？

>>741
チャンバー排気したてなら、油煙は普通。
暫くしても油煙がでまくりなら、リークしてるんじゃないのかな。

焦げたにおいとか、そういうのありますか？

>>742
ありがとうございます．
焦げたにおいとかはしないと思います．とにかく油くさい
装置を一度バラして組み上げた後だからリークかも・・・

>>743
油くさいですか。油入れ過ぎじゃないですよね？
とにかくリークしているのなら、リークしている箇所を特定しないとですよ。
ディテクター繋いで検知できる領域まで排気できますか？ダメなら音と
アルコール（かけて良いところのみ）で探しましょう。

案外ガスケット入れ忘れとか、そんなモンだと思いますよ。

リーク箇所を探して増し締めしたら直りました．
それにしても卒論が終わらない・・・

実験終わってんならひたすらキーボードを叩け〜
実験終わってないんならひたすら実験あるのみ〜

最近の学生は徹夜をしなくなったそうな。

>>745
なおってよかったですね。
でも、増し締めして治ると言うことは、その箇所にも寄りますけど、リークの原因を
取り除いたことにならないかも知れません。
落ち着いた後でいいですから、ちゃんとシール面を見ておきましょう。

徹夜を美徳と考えると不毛でしょ。
無理・無駄・ムラをなくすよう、マネジメントできるのが生産性を上げる秘訣。
できてないのに最後に徹夜もしないやつはアレだが。

>>748
徹夜は美徳じゃない。健康に良くないし、さくっと終わらせて変えるのがベスト。

ただ、どうしても間に合わなくて、渋々徹夜はあるな。ここんところ１週間に１回のペースで
徹夜だ・・・・そのうち死ぬだろなｗ
世の中にはもっとしんどい仕事をしている人がいるのを知っているけど、それでも自分には
コレがいっぱいいっぱい。真空の仕事はこんなんばっかり。

そういえば、真空待ちの方々の装置は、どんだけの圧力上昇値なんですか？
私の立ち上げ装置、なんとか頑張って７乗Pa・ｍ３/SECがやっとです。

大画面薄型ディスプレイ　製造装置保守メンテナンススタッフ
掲載・更新：3/19(水)

新製品の装置保全のしくみをイチからつくるキヤノンの新会社「SED」の募集です。

キヤノンが独自開発した薄型ディスプレイ「SEDパネル」。
ブラウン管と同じ原理を用いた「SED」は、これまでにない高画質を実現した、まさに次世代のディスプレイです。
キヤノンは2004年にSEDを専門に開発・生産を行うSED株式会社を設立、本格的な量産化に向けた準備が進められています。

新製品の装置メンテナンスのしくみを立ち上げる大仕事に携わっているのが、
SED株式会社・開発生産本部のメンバー。
24時間稼動し続ける製造装置のメンテナンスを担う装置保全課では、
量産化に向けて組織体制を強化すべく、新たに人材を迎えることになりました。
世の中にない、新しいデバイスの誕生に関わりたい方をお待ちしています。


仕事の内容 ディスプレイ製造装置(含むＦＡ)トラブル対応・メンテナンス

【具体的には】
ディスプレイ量産ラインで使用される、製造装置のトラブル対応、メンテナンスをご担当いただきます。

・特にPDP・LCD・半導体製造工程に関する経験者を歓迎しております。
・製品問わず、量産ラインにて製造装置のメンテナンス業務の経験をお持ちの方を歓迎します。
・現在、ＳＥＤパネルは試作フェーズの段階にあります。
マシンコンディションをどれだけ安定・向上させられるかが重要なカギです。

キヤノン株式会社の転職・求人情報／リクナビＮＥＸＴ[転職サイト]
http://rikunabi-next.yahoo.co.jp/rnc/docs/cp_s01800.jsp?rqmt_id=0005580709


ついにSEDの本格的な量産体制が整ってきたようだな。
55インチのSEDが発売されれば、有機ELテレビの出る幕がなくなる。

相も変わらず待ってます。

>>3
たぶん直らないと思う

>>753
何年前にレスしてんだよ

まだ、あったのかｗｗ

５年前の俺今晩は

では、また５年後に

ターボ止めてリークしたはずなのにフランジが外れん。
ベークしたときに焼き付いたのかな〜？とおもってなんとか力ずくでフランジを開けたが、、、
止めたターボは隣のチェンバーのだった(・∀・)ｱﾋｬ!
ターボがんがんに回したまま大気開放したわけ(・∀・)ｱﾋｬ!
いや笑い事じゃないんだが・・・
とりあえず慌ててターボ止めてコーヒー飲んでタバコすってここにカキコして気分を落ち着けてた

そういうのってあまりの音に耳やられないの？

ターボのサイズによる？

10inchのターボを大気突入させたときはｷﾞｭｲｰいわせたが
音の大きさはそうでもなかった。

自分が聞いた話だと思わず近くの机に頭隠して尻隠さずな感じで
逃げ込むくらいの音がしたらしいが，

まあ，>>756は一人で作業してる時点で50L/sとか150L/sくらいなんだろうけど

ターボのダメージにもよるんかな。

磁気浮上しているやつは、とりあえず電源きればベアリングに落ちる。
落ちると音は小さくなるよ。

やりすぎに注意ね。大気突入すると、ちゃんとコントローラーでやっちゃった回数記録してるから。

>>754
7年前
今2008年だよ
そんなこともわからんのか？

アーク溶解の真空待ちだ
アークは腕が疲れるからやだな

真空待ちの時間にじっとしてると鬱になる
何もかも装置ぶっ壊して
しにたくなる

じゃあスクワットでもしてたら？

スクワットしてたらガラスのＢＡゲージにぶつかって壊してしまった…
ポンプもヤバいかも…

ICFが出てるならヌードゲージにしてれば良かったのに．

>>766
おつ・・・でもじっとしてても鬱になって装置ぶっこわしたくなるんなら
丁度よかったじゃん？ｗって764=766ではないか

ボーっとしててターボの電源切る前にリークし始めちゃって、
回転数の落ちる音にドキッ。すぐにバルブを閉めたけど…。
明日もいつも通りに動いてくれますよーに！

真空展行った？

大気突入やってもうた…orz

>>771
やっちゃったか、で、復旧した？
デフュージョンポンプなら油変えないと、TMPなら壊れてないか見ないと。

ターボが壊れてるかどうかは大気突入した時点で音で分かるだろw
ディフュージョンで大気突入→オイル交換は初耳だ。

オイルが酸化するから交換するって聞いたことある
ターボは羽が割れてパリパリ聞こえるんだっけ

>>772
TMPだから修理だわ。
ああ欝だ…

うわぁ、ﾏｼﾞかよwww

ご愁傷様です　ﾁｰﾝ

>>775
TMPでもとりあえず再立ち上げしてみたら？
最近のは丈夫だから、回ってる最中にケーブル断線とかなかったら、大概大丈夫だよ。

大気突入には相当回数(数十回オーダー)は耐えるという
回答書をメーカからもらった俺が来ましたよ。
ただし、その数値はメーカの保証値ではないという但し書き
有り。
ポンプの大きさや軸受の種類にも大きく依存すると思われ。

お見舞いもうしageます

>>779
回答もらったってことは，一回大気突入やったってこと？
そのときポンプどーなった？

10inchのターボんときはｷﾞｭｲｨｰいってフリーラン状態に。
上流側で小さいO-リングが熱でお逝きになられて大気突入〜でした。
4inchのターボでは大した音もせず、気付いたらフリーラン状態。
どちらの場合も、次に動かした時は普通に起動したし、真空も問題なく引けた。

で、実際にはどうなんだろうwwwと思って問い合わせた次第です。

今までオレンジ色に光っていたプラズマ(Neガス)が急に白っぽくなって
あるぇ(ﾟд。)?
と思った瞬間に…。
ターボが高価だとは聞いていたのて、そん時はﾏｼﾞ焦った焦ったw
何せ4inchのサイズのチャンバを10inch2本パラレルで引く装置でしたから…。

>>782
なるほどｗｗ
わざわざ答えてくれてありがと，勉強になりました！

まだあったのかこのスレｗｗ

あと３時間待ち(´Д｀)

やばい真空破壊できなくなった。TMP逝ったかも

>>786
真空破壊できなくなると、なぜTMP逝ったことになるの？

最近ひいていないなぁ。
腕が落ちた気がするぜ

今朝地震があったなぁ．

アネルバ製の電離真空計（N1-10D）を使って真空引きをしています。
パネル上にエミッション電流の設定を変更する箇所（12と1.2）があるのですが、
12と1.2の使い分け方を御教授頂けないでしょうか。
当方、意味も分からず1.2に設定して使用していました・・・
取り説読んでも、よく分かりません。

どうぞ、おねがい致します。

メーカに直電した方が早い。

>>790
NI-10D な。ゲージ球によるんだが、UGD-1S なら 1mA で使うのが普通なので、
ツマミは 1.2mA、目盛を 10 に合わせるのが一番普通。

特殊な用途でエミッション電流を変えたいときに使うこともあるんだが、
圧力示度がそれに応じて変わるので要注意。実は単にエミッションに比例する
わけでもないっつーところもあって、結構いろいろ難しい。普通はあまり
悩まずに 1mA で使っていればよろしい。

クライオポンプで真空引きしていますがなにか？

>>793
デフュージョンポンプから買い換えたのですね、わかります。

真空待ちの間、アルミホイル巻きまくってます

こんな季節に焼き芋か。

電離真空計のフィラメントの寿命ってだいたいどのくらいですか？

>>797
１年はもつよ。
それ以上はしらん。デガスを暇つぶしに連発すると切れやすいかも。

チャンバーベントの際にちゃんとフィラメント切ること、メインバルブ開けてから
一呼吸開けてフィラメントオンするのを守れば、早々切れませんよ。

>>798
ありがとうございます。
「一呼吸」ってのが難しいですね。

すごいスレだな>>10とか>>13見て俺が遠い目になった
真空待ちなんてしたこと無いけどシミュレーションの計算終了待ちみたいなもんなのかな

ある意味そうかも。

実験屋は、真空引けてからが実験本番！

どんくらいからTMPつけ始めてる？？

大気圧から。

>>802
ちゃんと取説読みましょう、貴方の安全のためにもね。

TMPがオンできるのは、２次側排気が大体10paとかぐらいじゃないかな？
広域型だともっと上でもOKだけれど、起動するときは排気がちゃんと終わってからの
方が安全ですよ。

８０３みたいにやると、壊れるかアラーム出して止まります。
壊れ方によっては、生死に関わるのでまねしないでね。

TMPにゲートバルブが無くて、TMP自体が真空容器の粗引きラインを
兼ねているポンプ構成も無くはない(4inくらいのサイズ)。
そういう時は10^3PaオーダからTMPを回し始めても問題無い。

ほす

真空装置つけっぱなしで帰ってきてしまった。
先生にバレたらメッチャ怒られるな。

基本つけっぱなしじゃないのか

てｓｔ

ディフュージョンで真空引き開始〜
２時間くらいかな。めんどいなぁ。

圧力ってどのくらい違っても同じにしてもいいの？
１００Pa圧力違う部屋をつなげてもいい？
装置によるかな・・。

> 装置によるかな

yes

>>811
メインポンプの排気能力が違えば逆流してくることもある。
100paの圧力差で開閉できるバルブでチャンバー間を仕切っているか、確認しよう。

て

ロータリーしんだ。

半年に1回くらい真空引きするけど、
毎回微妙にレスがついてるこのスレが好き。

さて、ベーキングもうすぐ１５時間目。。。

コーデンシ、真空度測定できる０・８ｍｍ角チップ素子を開発
http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0620100216hhaf.html

【京都】
コーデンシ（京都府宇治市、中嶋郭和社長、０７７４・２３・７１１１）は、微小空間の真空度を測定できる０・８ミリメートル角チップ素子「マイクロ真空計」を開発した。
測定対象となる空間内部の気圧を計測し、気圧が低ければ真空度が高いと判断する。真空封止が必要なジャイロセンサー類の真空度評価に利用を見込む。
すでにサンプル出荷を始めており、需要拡大が見込めれば本格生産も検討する。
微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）技術を使って、小型化した。
低い真空度を示す高気圧下の場合に熱が逃げやすくなる関係を測定原理に応用。
素子に内蔵した超小型ヒーターで測定空気を加熱し、真空度が下がると温度維持に必要な電力が大きくなるなどの性質を利用して気圧を割り出す。
測定下限は０・１パスカル付近まで対応できる。

ようやくM論終わった。

>>817
0.1Paか。CVDに使うには中途半端な圧力だが…。
電離真空計と併用してバラトロンの代替として使うんだったら…精度次第だな。
まぁ、バラトロンも決して精度がいいとは言えないが。
ペニングよりはマシだろうか？

加熱していたのでチャンバ内のヒーターが冷めるのにあと２０分。さらにそこからDP停めて冷めるのを
３０分またなければいかん。これが深夜だから早く帰りたいのにめんどくさい。

冷却水のラインにタイマーと電磁弁付けてしまえ。

>>819
ＤＰって拡散ポンプの事？

クライオうちで買ってください、取り替え工事もやらしてください。