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ライン作業と半導体オペレーター働くならどっち?
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610
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名無しさん@そうだ登録へいこう
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2006/03/12(日) 20:50:55 ID:7vgX483W0
>>609
1989年12月13日、東京都小平市の日立製作所武蔵工場の半導体試作室クリーンルームで、
CVD(化学蒸散)装置に供給するモノシランガスの容器の交換作業中、
配管内のガスの排出を行うための真空ポンプからモノシランガスが漏洩し、
爆発、付近にいた作業員1名が死亡、1名が重傷、2名が軽傷を負った。