【ナノ】 「使える」亀裂　材料破壊をうまく使ってナノ構造を加工する−梨花女子大・KAIST

Cover Story： 「使える」亀裂：材料破壊をうまく使ってナノ構造を加工する

http://www.natureasia.com/japan/nature/images/v485/n7397/cvst-1.jpg
切り込みや亀裂止め構造などにより制御された基板上の亀裂。切り込みや亀裂止め構造
などにより制御された基板上の亀裂。Credit : Koo Hyun Nam

亀裂伝播は、通常、材料破壊を伴うので避けるべき事象である。しかし、適切な場所で発生
させれば、亀裂も役に立つ可能性がある。今回、韓国の研究チームが、亀裂の発生、伝播、
停止をうまく使って、シリコン基板上に堆積させた窒化ケイ素薄膜にパターンを形成する手法を
開発した。

Namたちは、基板上への堆積の際に応力が集中して自然に亀裂が発生するように、シリコン
基板に切り込みを入れている。また、3種類の亀裂伝播様式を明らかにして、シリコン基板に
多段構造を形成して特定の位置で伝播が止まるようにした。さらに、光の屈折に似せて、亀裂を
曲げられることも示している。

この考え方は、破壊力学を使うことで、ナノテクノロジーやマイクロ流体素子などへの応用に関して、
ナノ加工やパターン形成に新しい可能性を開くものだ。

表紙は、この技術を使ってシリコン基板に刻み込んだ構造である。（Letter p.221, N&V p.177）

Nature ハイライト Nature 485, 7397 (May 2012)
http://www.natureasia.com/japan/nature/updates/index.php?i=88437

亀裂制御によるパターン形成
Patterning by controlled cracking
Koo Hyun Nam, Il H. Park & Seung Hwan Ko
Nature 485, 221–224 (10 May 2012) doi:10.1038/nature11002
http://www.nature.com/nature/journal/v485/n7397/full/nature11002.html

シュミレーションとして腐るほど出てるだろ？

最近のNatureって糞になったのか？

↓ＱＢＫが一言

急にボクはクソがしたくなった

<丶｀∀´> ＜ ウェーハッハッハ
<丶｀∀´> ＜ ウリナラの科学力は日本を超えたニダ

女子大生の股間の亀裂がどうのこうの

使える亀梨　　に見えた

か・・・亀裂

ちょっと無理があるような