【技術】古河機械金属 GaN基板の新製法を開発、結晶欠陥と歪み低減を実現

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1 ◆EMP2/llDPmnz @透明な湖φ ★
 古河機械金属は、窒化ガリウム(GaN)基板を作製するハイドライド気相成長法(HVPE)において、
結晶欠陥の大幅な低下とGaN基板の歪み低減を実現する新製法「Random island FIELO法」
(rーFIELO法)を開発した。

 今後需要拡大が見込まれるパワーデバイス用途などにおいて求められる高品質、大口径GaN基板
の作製に寄与する製法として開発を進め、同基板の本格量産へ向け準備を進めていく。


ソース:化学工業日報
http://www.kagakukogyonippo.com/headline/2011/08/04-3024.html

★依頼スレ@レスhttp://toki.2ch.net/test/read.cgi/scienceplus/1308061081/201番より
2名無しのひみつ:2011/08/04(木) 23:16:30.40 ID:/uVLpZEF
全く意味がわからんので誰かわかりやすく解説してくれ
3名無しのひみつ:2011/08/04(木) 23:19:38.88 ID:ahfMQxD7
この板は、なんでもありになってきたね
4名無しのひみつ:2011/08/04(木) 23:31:14.57 ID:tWhyC0Ut
http://www.furukawakk.co.jp/csr/rd/rd_nitride.html
FIELO法
窒化ガリウム結晶中の転位を低減させる手法で、結晶の成長初期に、
結晶特有なファセット面を作製させることで、貫通転位の大幅な低減が可能となった。
これにより、窒化ガリウム基板全面に亘って、3x106cm-2以下の低転位密度を実現している。


うーん余計分からん。。。でもまぁ、青色LEDのおかげGaN基板の需要が高くなったから、その新しい製造方法を開発した、ってことだろ
5名無しのひみつ:2011/08/04(木) 23:34:14.81 ID:E4r/CqS8
>>2
これはすごい。
ガリウムへ窒化水素を使うMOCVDみたいなものだが、何がすごいって12インチウエハをいきなり一晩でミクロン単位の成膜が出来ちゃう。
おまけにマイクロチャネル無し、歪みなし、基板はSi使えると良いとこだらけ。
バワーデバイスじゃSiCがダメだと見切りがつけられた。
古川電工は高純度のGaを鉱床から大量生産できるし、ケミカルドーピングでバンドギャップもいじれるし、業界的にGaNしかないってなった時にこのニュース。タイミング良すぎる。
6名無しのひみつ:2011/08/04(木) 23:45:53.65 ID:1CLM8WAl
パワーデバイスは時代の華。
7名無しのひみつ:2011/08/04(木) 23:52:49.66 ID:IY9rJFdH
この会社、社員数200人ちょいなんだけどホールディングスなの?
8名無しのひみつ:2011/08/05(金) 00:23:20.15 ID:+QyrI9me
HVPEでGaN基板つくるのは住友化学がすでにやってるし
ファセット成長で転位減らせるのもよく知られている

どこが新しい技術なのか分からんな
特許の関係で細かいところは公開できないのかな
9名無しのひみつ:2011/08/05(金) 05:28:50.35 ID:wgTEcXnv
で、いくら儲かるんだ?
10名無しのひみつ:2011/08/05(金) 09:50:27.64 ID:R1Cc8Cl0
ハイドライドなつかしす
11名無しのひみつ:2011/08/05(金) 14:00:26.53 ID:VrVv5Eho
よくわからんけど
日本バンザイ\(^o^)/
12名無しのひみつ:2011/08/06(土) 01:06:55.15 ID:4llPzyrp
この技術は青色LEDとそれを応用したタイプの白色LEDの低価格化に役立つかな?

10年くらい前、青色LEDの材料のGaNを成長させるのが難しく高価なサファイア基板を使っていた。
その後、徐々に安い基板が開発されていったが。
13名無しのひみつ:2011/08/06(土) 06:59:10.25 ID:GbsVwZah
大電力系のデバイスが安くできるのかな?
MOSFETくらいの値段で出来ればいいのだけれど。
14名無しのひみつ:2011/08/06(土) 13:09:22.86 ID:I+oqLiUt
>>12
LEDの低価格化には役立ちません
サファイア基板は数万円なのに対し、GaN基板は数十万円もするし
今回の技術も低価格化のための技術じゃないし

それに今も青色LEDのほとんどはサファイア基板使ってるよ
15名無しのひみつ:2011/08/06(土) 14:23:10.69 ID:X807t9dx
だ、大出力LEDは?
16名無しのひみつ
成果の価値が高ければスレ立てるのか?
科学+に相応しいかどうかの方が重要じゃないのか