【工学】回路描く光の微細化に成功　半導体も容量１０倍に？/宇都宮大・長岡技科大など

　半導体を使った電子部品の小型化に向け、研究を進めていた宇都宮大（宇都宮市）や長岡技術科学大
（新潟県長岡市）などのグループが、半導体に回路を描く光の微細化に成功した。
波長が従来の３０分の１で、より小さな回路を描くことができる。

　グループの東口武史・宇都宮大准教授は「実用化すれば同じサイズの電子部品でも容量が１０倍以上になる。
スマートフォン（多機能携帯電話）でＤＶＤが見られるほど性能が上がり、コストダウンにもつながる」としている。

　研究論文は米専門誌に掲載され、英専門誌「ネイチャーフォトニクス」でも取り上げられた。

　宇都宮大によると、回路はレーザー光を使って半導体の表面に描く。波長が短いほど細い線を描けるが、
最先端の装置でも波長は１９３ナノメートル（ナノは１０億分の１）。
線の幅は細くて３０ナノメートル程度だ。

　グループは、金属にレーザー光を当てると金属自体からより波長の短い光が出ることに着目。
以前から金属のスズで実験していたが、レアアース（希土類）を材料にしたところ６・５〜６・７ナノメートルと、
より短い波長の光が得られた。幅１０ナノメートル以下の線も描けるという。

▽画像　従来の約３０分の１という短い波長の光を発生させる実験装置＝７日、宇都宮市の宇都宮大学
http://img.47news.jp/PN/201102/PN2011021901000455.-.-.CI0003.jpg

▽記事引用元　共同通信（2011/02/19 16:58）
http://www.47news.jp/CN/201102/CN2011021901000357.html

どんくらい凄いの？

リーク電流は考えてないみたいだな

微細化すると腺と腺が近すぎて漏電してしまう。
微細化はどう絶縁するかが問題で空間ってのが一番の絶縁体らしいが

30nmの光って既に兵器じゃね？ｗ

>>3
それは、その後事だろ。

サムスンとの比較で記述して欲しい。
そうでないと技術的・工学的（製造可否）に価値判断できない。
なお私は１２代遡っても日本人です。それ以上前は寺に記録は有りません。

近接場光って何処でもやってそうなんだが。

ガラケーでもすでにDVDのmpeg2よりデコードが重そうなH.264が再生できてるよ

こういう技術いつ出てくるんだよ

回路猫ってなんぞ

さすが韓国。日本を超越しちゃってるね。

>>7 いちいちそっちを見るな。

高出力化が簡単ならば使いようもあるだろうけど
EUVの半分くらいの波長だけだと使い道ないだろうなー

問題はスループット。
電子ビーム露光すらプロダクトには使えないとの判断が下された。

ミニマルファブ向けなら可能だが、一筆書きじゃ大規模生産は無理。

>>15
と思ったが、レーザーじゃなく光源なのか？

スマートフォン（多機能携帯電話）でＤＶＤが見られるほど性能が上がり
↑って今のCPUじゃ出来ないの？
もっとも出来ても専用チップやGPUでデコードするだろうけど

特許取れ

どうして公表する。
生産技術的なことは、公表しないのが当たり前だろ。

もうγ線で描けよ

なんか、これ、おかしい

基本的に無理がありそう

さすがにこれほど微細な回路では紫外線での転写じゃ無理か
半導体の技術進歩のスピードはハンパじゃねぇな。

お願いだから特亜から守り抜いてくれ
この手の技術は。

日本の工学系研究室の半分は留学生だ。
特に亜細亜からの留学生が多い。
実は彼らが日本に貢献しているというのが事実かもしれん。

スマフォなら既にDVD並のmpeg2は再生できそうだけどな
BD並のmpeg4が再生できるようになっちゃったりはさすがに無いか

そのかわり電池が数時間しかもたないけどなｗ

5年くらい前に聞いた話では、EUVが最後の光源で、これより短い波長の光源が
無いとの事だった。

シリコンだと１０ｎｍ位がトランジスタの限界のようだから、本当に最後の光源になるかも。

あと、サムソンは半導体製造装置の光源は自作してないから比較対象ですら無いよ。

次世代半導体のエッチングに使う極短紫外線はレンズで曲げることが出来ず、
光学系を全部反射系で作り直すんだよ。
装置の大きさがとんでもないことになって投資が膨大で半導体業界は悩んでいる。

問題は光源ではなく、光学回路なんだよ。

手彫り職人の時代は終わったのか…

これ可視光じゃないだろ、X線の幅じゃん

>>7
在日13世乙w

>>31
その通り、めったなことでは曲がらない、つーか貫通するｗ
問題は光源じゃない。半導体業界の会合とかに出てないじゃねーのこいつら。

DVDの解像度じゃ低すぎるからBlu-rayを携帯/スマホ用にエンコしてる人が
結構いると思うんだが、東口君は研究室に入り浸りで浦島太郎になってんじゃ
ないかい？

>>25
何いってんの、既に1920×1080のmp4もaviもmkvもAndroid2.2のスマフォならヌルヌル再生できるよ。
（国産除く）
iPhone4もできるけどaviは無理。

長波長光あてて短波長光得るってのに驚きなんだけど、
これって何の法則？

>>19
シナチョンにスパイさせるために決まってるだろ

>>1の写真、もっとかっこよく撮ればいいのに。
グルーポンのおせちを思い出した。
　

俺ら仕事は？

>スマートフォン（多機能携帯電話）でＤＶＤが見られるほど性能が上がり

DVDドライブつけたら、でっかいスマホになるな。
誰も買わないぞｗｗｗ

このレベルのデバイスって
どうやって製品の確認してんの？
ＴＥＭ？

>40
良く読め、DVDが1/10になるって話だろ

>>41
現行はFE-SEMでも見れたと思うけど
このレベルだとTEMかな？

描くとしたら数nmの位置制御の方が難しいんじゃない？

日本大勝利

DVDが直径1.2センチになんの？ちっさちっさちっさｗｗ

10nmってX線くらい？レーザーっつか放射線じゃね

回路猫に見えた　orz

>1
論文
"Rare-earth plasma extreme ultraviolet sources at 6.5--6.7 nm"
Takamitsu Otsuka, Deirdre Kilbane, John White, Takeshi Higashiguchi,
Noboru Yugami, Toyohiko Yatagai, Weihua Jiang, Akira Endo,
Padraig Dunne, and Gerry O’Sullivan
ttp://apl.aip.org/resource/1/applab/v97/i11/p111503_s1

>>41

ＥＵＶは確認技術の開発を怠っていきづまりぎみ

誰か、これがどれくらい凄いことか
わかりやすく交通事故で例えて！

俺の実験室よりたいしたことねえな

エロが見えたら　何でも良い。

>>33
貫通じゃなくて吸収じゃね？
あと>>48見る限りMOミラーで40%くらい反射するよ的なこと書いてあるしEUVの専門家が現状知らないということはないだろう。
光源やマスクレジスト、>>49が言うような検査装置と問題山積なのは間違いないが。
ただ13nm帯より更に短波長にする意味は…

全部貫通してたらレントゲンはマックロだぜ

193nmってことはArFエキシマーレーザーか
エキシマーとしてはさらに短波長がでるのもあるが
出力弱くなるんだよな
193nmでも空気の吸収がバカにできないくらいすごいし

EUVより短波長にしてもそもそも半導体の微細化がそこまで
進むかどうか分からないし
生産技術としては課題が山ほどあるんだろうな

大量生産には向かないが
細かくするだけなら電子ビーム直描とかでもいいし

わからないｯ
DVDの大きさが1/10になるの？
処理能力が上がるの？

教えて情強さんｯ

>>50
小さな軽自動車が小さな不注意で急ブレーキをかけたら、
よけようとした後続の大型トラックがスリップして、大惨事。

>>24
スパイの間違いだろ

>>57
これでDVD作る訳じゃないです。
チップの微細化ができて、性能が上がると言いたいようです。

でも書いてあることは、詳しく突っ込めば２重３重に間違いある。

EUVで微細化してどうこうってのはハイパフォーマンス向けCPU。
こいつは微細化しても電気食いなので、モバイルには向かない。

まあ、安価な民生品LSIは45nmとかせいぜい32nmぐらいがコスト的にベストかも
しれんて。今の光学露光装置は面単位で露光できるから有利だが、電子線で
走査しながら点で線をプロッタのように引きながら露光していくのでは、
時間が掛かりすぎで、製造コストが莫大になる。

もしかしたら、ダイレクトに型を相手に押し付けてパターンをメカニカルに
転写するという方法もありかと思ったが、それだと母型が磨耗するので、
やはり難しかろうな。

意味分からんけど特許とれよ

これぐらい細いとトンネル電流とか大丈夫なの？

　　　　 ∧＿∧
　　　　（　;´Д`）￣"⌒ヽハァハァ　　　　餃子でも喰ってろ。　ＮＧＰの開発に間に合わねーだろ。
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