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【ナノテク】「短波長化せずに解像度を高められる」、多光子フォトレジスト技術を米大学が発表
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名無しのひみつ
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2011/02/18(金) 01:23:24 ID:PY+GoUkl
シリコンの板の表面に感光物質を塗って回路の形に光を当てて焼き付けるとCPUが出来上がるんだが
より回路の集積度をあげようとすると、光の波長を短くしなければいけなかった(紫外線寄りの光)のを、
レーザー当ててるところだけに感光するような仕組みをつくりましたよ、と。
(参照
http://ja.wikipedia.org/wiki/フォトリソグラフィ
)