【半導体】プラズマジェットを用いたアモルファスSi膜の結晶化技術を開発

独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構の産業技術研究
助成事業の一環として、広島大学大学院先端物質科学研究科の准教授、
東清一郎氏は、薄膜トランジスタ（TFT）の製造工程に不可欠なアモルファス
Siの結晶化を出力が安定していて低コストのアーク放電による熱プラズマ
ジェットで実現しました。

これまで液晶や有機ELの表示素子に不可欠なTFTの作製は、アモルファス
Siにエキシマレーザーを照射して、熱処理で結晶化する技術が主流に
なっていますが、エキシマレーザーは出力が不安定で、装置の価格も
ランニングコストも高額なため、新たな高性能かつ低コストな加工法が
求められていました。

プラズマジェットによる本結晶化技術はこれらの問題を同時解決する
有力な新技術です。

本技術により、今後需要の拡大が予想される、大型テレビや携帯情報
端末等の液晶や有機EL表示素子の製造に不可欠なTFTの作製を低
コストで、しかも高精度、短時間で実現できます。

熱プラズマジェット照射によるミリ秒超急速熱処理における基板温度を
測定するために開発した非接触温度測定技術は、集積回路の製造工程での
加工温度モニタリングヘの応用も期待されています。

（長文の為抜粋しました。詳細は以下のソースをご覧下さい）
ソース：http://www.nedo.go.jp/informations/press/201028_1/201028_1.html
画像：http://www.nedo.go.jp/informations/press/201028_1/img01.jpg
新エネルギー・産業技術総合開発機構プレスリリース　2008年10月27日

【参考】
■NEDO
成果プレスダイジェスト（PDFファイル）
http://www.nedo.go.jp/informations/press/201028_1/seika.pdf
■広島大学大学院先端物質科学研究科
http://www.hiroshima-u.ac.jp/adsm/

マジかよ！！
ぜんっっっっぜん、いってる意味わかんねぇ〜よ。

民主党は、独立行政法人を、原則廃止だったよね。

ニダーとシナーがアップしはじめました

製造ラインできてから発表しろ。

結晶方向とか揃えられるわけ？

なるほどこれは有効な技術だふいんき的におれにはわかる。
わかってしまうのだからしようがない。

エキシマレーザーの熱処理から、低コストの
~~~~~~~~~~~~~~~~~~
アーク放電(熱プラズマジェット)で実現しました。
~~~~~~~~~~~~~
て意味じゃね？

単に安くなっただけてことだろ。

その用途とは
薄膜トランジスタ（TFT）の製造工程
~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~

これってＴＦＴ液晶の話？

>>9
>>1を嫁。
薄膜トランジスタを使うフラットパネルディスプレイなら応用可能性があるということ。有機ELディスプレイとか。

モルスワァ

アルゴン？

>>8
十分すごいじゃん

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　　　　　　.| 'ー .ﾉ　　'ｰ-‐'　　　　）.|　　このような天下り官僚天国の独立行政法人は
　　　　　　|　　ﾉ(､_,､_)＼　　　　　 ノ 　　　我が民主党が片っ端から潰します！！　
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>>6
スレタイくらい嫁

アークジェットプラズマって、ものすごい前からあるけど。

アモルファスで結晶構造とか気にしなくていいから
堆積速度の速いこれがいいのかね。

結晶にするならMOCVDとかじゃないとだめぽ。

プラズマといえばＩＣＰだよね

この前プラズマのつきが悪くて
トーチを溶かしたのは、秘密・・・・

どういう理由で新しいトーチの予算申請しようかな・・・・

アモルファスなのに結晶とはこれいかに

>>3

独立行政法人が開発したというより
結局、実質､開発してるのは民間の
人々で､基本独立行政法人は天下り先
でしかないよ

>18
作成したアモルファスSi膜を
再結晶化することに成功したってことじゃね？

ポリシリコン？

この板レベル下がりすぎだろ

ｍｌｊｋ

時間とコストと精度、従来の物と比べて数値で示してほしい。
どれだけ凄いのか一般人には分からないお

>>19
そうだな、場所と資金を提供してるだけだな

NEDOの「成果」でモノになったのはほとんどね〜ど。これもその１個だろｗ

大韓民国に譲れば
こんなちんけな倭猿の特許なんて

プラズマジェットモーターが発売されると聞いて来ました

>>25
参加しないと裏でいろいろ手を回すらしいし微妙じゃね。

カセットデッキもVHSもアモルファスヘッドだったな。

>>20
そうだね。再結晶化に今まではエキシマーレーザを使ってたところを
プラズマジェットにしたって話。でも、安くなったのかも知れないが、
どれぐらい違うのかわかんないね。

大型テレビとか書いてるけど、それだと面内の特性分布を抑えられないとね。
それが出来たんなら結構凄いけど、どうかな？

比較表にその辺が出てないし、移動度も少し低いみたいだし。まあ、移動度は
７５cm2/Vsecも出てりゃ大型テレビ用の液晶でも有機ELでも、ドライブ阻止としては
確かに十分だけど。

学会発表はどの辺りでしてるのかな？

研究費を稼ぐ為のプロパガンダってのは結構有るからな。