【新技術】薄型シリコン膜、液体材料で形成

セイコーエプソンは5日、液体材料を使ってガラスの基板上にシリコン膜を形成するのに成功したと発表した。
薄型テレビなどに搭載する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）製造向けで、実用化すれば製造コストと日数が大幅短縮できるという。

素材メーカーのＪＳＲと共同開発した。
水素とケイ素からなる化合物を有機溶剤で溶かして液体にする。
液体にすることでエプソンのインクジェットプリンターを使い直接基板にシリコン膜を吹き付けることが可能。

通常は原料物質を含んだガスを化学反応させて基板にシリコン膜を吸着させる「化学的気相成長法（ＣＶＤ）」が一般的。
ただ、この方法は真空装置や露光装置などが必要で、ＴＦＴができるまで２週間ほどかかる。

エプソンでは液体原料とインクジェットプリンターを使ってシリコン膜を形成した場合、これらの装置が不要となるうえ、ＴＦＴ製造日数も4?5時間に短縮できるという。

ソース
ttp://www.nikkei.co.jp/news/sangyo/20060405AT1D0503W05042006.html

中小企業での納期短縮とｺｽﾄ削減に期待できるかな？

2get

特許で守って、日本を環境立国にしてくらさい

薄型シリコン処女膜、液体材料で形成

＞4?5時間
これなんていう意味？

実用化までに他国に技術盗まれるなよ
関係者にSPつけろ

日本人はこういう地味なことでもコツコツがんばるよな
いいことだ

>>5
-

なんかコピペできなかった文字。

ＪＳＲの株価が上がりますように。
*･゜ﾟ･*:.｡..｡.:*･゜(n‘∀‘)ηﾟ･*:.｡..｡.:*･゜ﾟ･*

4―5時間

2週間から5時間に短縮って67分の1だなスゲー

<丶｀∀´>ﾆﾔﾘﾆﾀﾞ

製造コストが半分になるそうです。
スレタイにこれを入れないと意味がない！

『蒸着っ！』てシャイダーだっけ？

にしこり

>>14
宇宙探偵556

それは「癒着！」だろう

キヤノンはやるのかな。

肝心の水素とケイ素からなる化合物がさっぱりわからん。シラン？

ポリシランとシクロペンタシラン

>19
知らん。

April 06, 2006
材料 : スプレー塗布で半導体チップが作れる液体状シリコン

　今回新たに報告されたシリコンデバイスの作製法により、多くのエネルギーを必要とし、
コストがかさむプロセス方法は過去のものとなるかもしれない。今週号で古沢昌宏たちは、
マイクロエレクトロニクスに十分応用可能な品質の結晶シリコン膜を、「液体シリコン」の
ようなものから作製する方法について述べている。この液体状シリコンは、高速回転させた
表面上に滴下して薄く延ばしたり、あるいはインクジェットプリンターから吐出させること
で表面上に塗布できる。

　シリコンチップ上にマイクロエレクトロニクスデバイスを作製するのはハイテクな作業で、
極めて毒性が高い化学物質を扱う実験室と同程度の清浄さに保たれた場所で行われる。
シリコンなどの半導体の層は通常、高真空中でチップ上に蒸着され、極微量の汚染ガスや
ちりがあれば半導体層は使い物にならなくなってしまう。

　古沢たちのシリコン「ソフトプロセス技術」は、高真空・高温、あるいは超清浄な環境は
必要としない。このプロセスからは平坦な微結晶がモザイク状に並んだ、いわゆる多結晶
シリコンができる。その電気特性は、コストがかさむ従来の方法によって作製した多結晶
シリコン薄膜に匹敵する。

　今回使われた「液体状シリコン」は、実際には、シリコン原子が短い鎖状に結合し、水素
原子にキャップされた分子からなるポリシラン系物質である。この物質を合成するのには、
5個のシリコン原子が環状に結合したシクロペンタシラン分子が出発物質として使われた。
この液体化合物に紫外光を照射すると環のいくつかが開裂し、鎖がつながってより長くなる。
次にこの混合液体をトルエンなど有機溶媒で希釈し、それを表面上に薄く延ばすか、スプ
レーで塗布する。この液体膜を500℃付近でベークすると、膜が多結晶シリコンに転換され
るのである。

http://www.natureasia.com/japan/nature/updates/index.php?id=1298&issue=7085

材料：溶液プロセスにより作製したシリコン薄膜とトランジスター
Tatsuya Shimoda, Yasuo Matsuki, Masahiro Furusawa, Takashi Aoki, Ichio Yudasaka, Hideki Tanaka, Haruo Iwasawa,
Daohai Wang, Masami Miyasakaand Yasumasa Takeuchi
Nature 440, 783-786 (6 April 2006) | doi:10.1038/nature04613
http://www.nature.com/nature/journal/v440/n7085/abs/nature04613.html

News and Views: 半導体：スプレーオンシリコン
Lisa Rosenberg
http://www.nature.com/nature/journal/v440/n7085/full/440749a.html

k

,l

k