【技術】放射光を用いたガリウムひ素半導体成長モニターの開発

大型放射光施設（SPring-8）の放射光X線を用いて、結晶成長中の半導体表面の
原子配列と原子の種類とを同時に特定できる画期的なモニター手法を開発した。

この成果を利用することで、半導体製造過程をより精密に制御できるようになり、
携帯電話・無線LAN・光通信・カーナビなどに使われる半導体素子の性能向上や、
新素子開発の迅速化が期待できる。

今回、原子力機構では、半導体素子を作製する結晶成長装置をSPring-8の
ビームラインに組み込み、結晶成長中のガリウムひ素半導体の表面を観察した。
従来技術では、白黒の影絵に相当する原子配列の骨格だけが得られていたのに対し、
原子力機構では、複数の波長のX線を用い、原子の種類が特定される
カラー画像相当の構造を得ることに成功した。その結果、結晶成長中に現れる
c(4x4)と呼ばれる表面２）が、ガリウムとひ素の原子のペアーからできていることが
実験的に初めて確認された。（一部要約）
（以下省略）

ｿｰｽ　2006年02月21日
http://www.spring8.or.jp/ja/current_result/press_release/2006/060221-1
実験をおこなった放射光ビームラインの装置
http://www.spring8.or.jp/ja/current_result/press_release/2006/060221-1_fig/fig1_html
今回観察に成功したガリウムひ素の表面構造
http://www.spring8.or.jp/ja/current_result/press_release/2006/060221-1_fig/fig2_html
X線回折強度がX線のエネルギー（波長）でどのように変わるかを測定したデータ
http://www.spring8.or.jp/ja/current_result/press_release/2006/060221-1_fig/fig3_html

オレ、来世では放射能に生まれることにするよ

わからん

>>2
加速器で高速に回して速度を当てた粒子使ったもので
透過性が強いのでレントゲンの変わりに使うとハッキリ映る
http://www.kek.jp/ja/news/press/2004/Xray.html

遺灰を核融合でエネルギーに変換

Spring-8使って成長過程の観察ができても
量産過程の制御に役立つのか？

>>6
量産過程はこういった研究に基づいているため
役に立つのは当然だと思われ‥‥

>>3
わかり易くいうと、
１２インチの液晶モニタを買うと一年後には成長して１７インチになってるってこと。

リアルタイムに複数の波長で同時に測定できるってのがポイントなのかな。

たんぱく３０００

あぼーん

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