【社会】NEC関連工場でガス漏れか…従業員17人軽症 - 熊本
2日午後0時50分ごろ、熊本市八幡1丁目の半導体メーカー
「NECセミコンダクターズ九州・山口」第8工場で2階の空調機械室から煙が上がり、
警備員が119番した。従業員の男女17人が「気分が悪い」などと訴えて病院に運ばれたが、
全員軽症という。
熊本市消防局によると、現場には異臭がしており、工場内でガスが漏れた疑いがあるという。
ガスは約2時間後に除去され、近隣住民に被害はなかった。
熊本南署によると、空調機械室内には半導体製造に使う「シランガス」をためるタンクがある。
シランガスは空気に触れると熱を持つ性質があり、何らかの理由でガスが漏れ、
タンクと接している壁が焦げて煙が出たとみられる。同署が詳しい原因を調べている。
同社によると、この日は約220人が出勤。これまで工場内でシランガスの事故はなく、
人事総務部は「大変お騒がせして申し訳ない。原因を徹底究明して今後の対策を図りたい」としている。
*+*+ NIKKEI NET 2009/08/02[22:24] +*+*
http://www.nikkei.co.jp/news/shakai/20090802STXKA023202082009.html
シランがな
シランガナ
あらら…
5 :
名無しさん@十周年:2009/08/02(日) 22:30:24 ID:QOymRXq20
イカを焼いていた火が引火した事故
熊本市の八幡って何処だ?
7 :
名無しさん@十周年:2009/08/02(日) 22:39:17 ID:VpchOc0AO
最近、一酸化炭素中毒の事故とか続いてるな。こういうのは冬に多いと思い込んでいたよ
なんにせよ死者が出なくて何より
8 :
名無しさん@十周年:2009/08/02(日) 22:46:13 ID:C/b55ayA0
屁こいた
経費削減でいろいろ追いつめられたのかな?
工場ごとのリストラフラグがたたなければいいけど
10 :
名無しさん@十周年:2009/08/02(日) 22:57:38 ID:jac5A4MU0
シランガスなんて知らん!
11 :
名無しさん@十周年:2009/08/02(日) 22:58:09 ID:GxA44BZi0
以前半導体工場の設備関連で仕事してましたが、
クリーンルームの床下の洩れてる液体も危ないし、
ガスボンベ交換に来た人がこのガスほんのちょっと洩れるだけで大変な事になりますとか言うしw。
こえーよw
12 :
名無しさん@十周年:2009/08/02(日) 23:10:15 ID:jac5A4MU0
>>11 知り合いは靴を溶かして足までいったため入院したおw
(モノ)シラン、とは、空気に触れただけで爆発するガス。
燃えかすに酸化珪素の灰が残る。
特殊高圧ガス7種のウチの1つ。よく事故があるから扱いに気を付けてる。
大体ガス漏れは検知器があるから分かるだろうけど、どうだったんだろうね。
まぁ、アルシンとかじゃなくてよかった。
モノシランなら、爆発ってほどでもねえだろ 自然発火
ジシランなら爆発に近いが
シリコンの工場だから、アルシンなんか使わんだろ
シランて超猛毒て聞いたんだけど
燃焼するとガラスになるんじゃなかったっけ?
毒性はあるが、超猛毒ってほどじゃないぞ
しかも、空気と触れると自然発火して無くなるので、漏れたままで
残ってることはないから、心配はいらないと思うよ
17 :
名無しさん@十周年:2009/08/03(月) 00:45:08 ID:U2EQ5NJw0
知らんわ〜
18 :
名無しさん@十周年:2009/08/03(月) 03:55:03 ID:d8WeZidN0
物知らん(´・ω・`)
字知らん(´・ω・`)(´・ω・`)
鳥知らん(´・ω・`)(´・ω・`)(´・ω・`)
手虎知らん(´・ω・`)(´・ω・`)(´・ω・`)(´・ω・`)
19 :
名無しさん@十周年:2009/08/03(月) 04:36:10 ID:8EpPGeA0P
しらんがな('・ω・`)
20 :
名無しさん@十周年:2009/08/03(月) 06:56:38 ID:8YbEQpwS0
富士通だと富士通ファシリティーズエンジニアリングみたいな専門集団があるんだけど、NECはそういうのないの?
21 :
名無しさん@十周年:2009/08/03(月) 07:05:06 ID:tHWEXf1F0
シランガスって超やばい奴だろ。
一歩間違ってたら、大事故になっててもおかしくない。
この程度で済んで本当に良かったな。
22 :
名無しさん@十周年:2009/08/03(月) 07:08:21 ID:8YbEQpwS0
>>13-14 アルシンならイオン注入で普通に使うよね。あとホスフィンも。
ホスフィンの生成物が発火して消火したことがあったけど。
CVDと拡散成長(DIFF)の装置裏って独特のニオイがして、あれ微妙に漏れているんだろうなって思った。
24 :
名無しさん@十周年:2009/08/03(月) 09:54:56 ID:8YbEQpwS0
>>23 「たくあん」みたいなニオイだと自分では思っていたんだけど、すっぱいのかな。酸っぱいのはフォトリソ。
>>20 あるけど
富士通ファシリティーって専門集団じゃないから
大気社みたいな空調サブコンに丸投げしてるし
NECも富士通も大差ない
>>22 漏れていれば検知器が作動するはずです。
ニオイがアルシンやホスフィンそのものによるものなら、とうに人体に影響が出ています。
作業員じゃそんなこた分からんだろ
作業員だからこそ知ってなきゃならないことです。
29 :
名無しさん@十周年:2009/08/03(月) 12:36:43 ID:bTSZR/jD0
シランガナスレにwwwwwwww
熊のおならなんかシランガナ
CVD用のガスって怖えんだよな…。
目に見えないし。
>>22 自分の師匠が、Asは後が色々大変で、装置を廃棄するのに海溝に捨ててきたとか、
色々聞かされてね。最近は積極的には使わないらしい。
ヤバイ系のガスは、醤油せんべいのにおいがしたって言ってた。
とりあえず元気にお仕事されてます。
巴さんにお願いして、ビデオ見せてもらえばヤバイの分かるよね。
あれ見てから、誰もCVDやりますって手を挙げなくなったorz
俺だけかよw
>>独特のニオイがして
チャンバークリーニング後に綺麗にしてないと、反応生成物のにおいがすることがあるかも
しらんよ。漏れてたら警報なるから。
しらがかな(´・ω・`)
実験装置だと配管内を手動でパージするけど、手順でボンベの元栓締め忘れないか
ちょっと怖かったな。