ナノチューブをLSI配線に応用する新技術開発＝富士通研究所[020708]

富士通研、ナノチューブをLSI配線に応用する新技術

　富士通研究所は7月8日、カーボンナノチューブをLSIの配線に応用できる
新技術を開発したと発表した。実用化すれば、配線の低抵抗化や微細化が
期待できる。

　開発したのは、MOSFETの電極となるシリサイド層（シリコンと金属が
結合した層）上に、多層カーボンナノチューブを垂直成長させる技術と、
チューブの直径を制御する技術。

　メタンと水素の混合ガスを利用する「プラズマ化学気相成長法」を
利用して、基板に垂直な電界と同じ方向にチューブを成長させる。
与える電界の向きによって、チューブの成長方向を制御できる。

　またシリサイド層の組成を工夫することで、チューブの直径を約半分に
できる直径制御技術も開発した。
（略）
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※以上引用。全文・詳細は原典記事参照。
※原典記事：http://www.zdnet.co.jp/news/0207/08/njbt_07.html
※ZDNet News JAPAN（http://www.zdnet.co.jp/）2002/07/08配信
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※画像あり
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※関連リンク：http://pr.fujitsu.com/jp/news/2002/07/8-1.html

デアルカ

久々の2？

2

２

にげと

ちっ

ｷﾀ━━━━━━（ﾟ∀ﾟ）━━━━━━!!!

科学って素晴らしい

あー夏やすみーナノ？チューブ

カーボンなの。

俺の妹のミンキーモモのステッキで男二人で変身ごっこをしたことがある。
部屋の中にありったけの服を引っ張り出し、次々と変身しまくった。奇声をあげ、ステッキと共に回った。
ベランダに出て、二人で協力して悪者退治もした。
暴れ過ぎてステッキの先の電動でクルクル回るところが外れてしまった。
その晩、妹がそのステッキを見て泣いていた。
俺達も妹も、もうそのステッキでは変身出来なくなってしまった

ちっ！2だと思わなかったら，書き込まなかったんだが
信長めー、昨日の本能寺で死んだはずなのに・・・

カーボンナノチューブ？知らんねー
炭素にレーザー当てて出来るﾔｼだったけ
立体構造がダイヤモンドに似てるﾔｼだっけ？
よく分からんｗ

1読んだけど さっぱり意味わかんない 科学の進歩か〜

カーボンナノチューブキター!!!!!!!!

なはなはー

>>12
せつない・・・。

>>13
カーボンがナノ（10のマイナス9乗）メートルで
チューブ条になっているものです。
伝導性とか期待される性質いっぱい。
フラーレン（サッカーボール状に炭素が並んだ物質）を
作るときに一緒にできます。
割と安い。
でも、狙って成長させるのはなかなかむずいね･･･。

誤字発見。
チューブ条→チューブ状

エノキタケみたいだね。

カーボンナノチューブ実用化キター！！

アンドロイド誕生の予感

この際はっきり言っとくが、

難　し　す　ぎ　で　す

何のチューブ？

>>23
カーボン。C。

金属内包フラーレンはぁ〜〜？？♪

>>18
細かいこと気にするなよ。

難しいのでスレが伸びない予感・・・。

シリコンのフラーレンとかシリコンナノチューブってないの？

メリットとしては低抵抗化で熱が抑えられるってことと
低電力で動かせるてことなのかな。

微細化できる理由がよくわからないな。
熱を発生しづらいから配線間の間隔をせまくできるってことかな？

>>28
ないよ。あれは炭素だからこそできるんじゃないかと｡

なんだこれ？
アルミ層の代用ってことか？

LSIとかに使ったら。(ﾟдﾟ)ｳﾏ-

Cuよりいいのか？

>>33
何が？

この前ウチの先生がフラーレンについて講義で熱く語ってたよ。



いや、俺は寝てたけどね。うん。

配線材料の事だろ？

よくわかった
まったく理解できないということが
先生ーわかりやすく、噛み砕いて説明お願いします

アスロンに使ったら二酸化炭素に変化するのは必至ですか？

>>30
シリコンフラーレン
http://www.semicon-news.co.jp/forum/htm/ev011114-j.htm

シリコンナノチューブ
http://www.ricoh.co.jp/abs_club/Science/Science-2001-0817.html

>>37
>>17を見れ｡

つけ加えると、形はトイレットペーパーの芯を想像するとよい｡
芯は中が空洞でしょ？その空洞の部分に何かしら入れると、
凄い性能を発揮するんじゃないか？と期待されている物質｡

>>39
情報サンクス。おいらが無知でした｡

(　´�D｀)ノ<　ちくわにキュウリを入れて、しょうゆにつけて食べると
　　　　　　　　ちくわだけよりおいしいということれすか？

この前ウチの先生がプラレールについて講義で熱く語ってたよ。



いや、俺もいっしょにレイアウト組んでたけどね。うん。

>>40
ありが�d

フラーレンって最近テレビで見た気がする
何年も前に発見してたのに気づかなかったとかいうやつ

実際に配線に使うには、チューブ同士を導電材で繋ぐのかな？

>>41
キュウリの代わりに、チーズをいれるとまた違った味わいが楽しめるということです。

カーボンナノチューブってなに？

>>45
おもしろい。

>>44
金属の間に蒸着させるんじゃないの？

パイプカットしましたがなにか？

激しくslashdot向けの情報だとオモタ。

難しすぎてレスが伸びない模様。

カーボンナノチューブ期待あげ。