【経済】凸版印刷、線幅20ナノの回路原版開発　米ＩＢＭと。回路線幅20ナノメートル台の半導体は、サムスン電子などが試作中[09/09]

凸版印刷、線幅20ナノの回路原版開発　米ＩＢＭと
2010/9/9 20:04

　凸版印刷は９日、米ＩＢＭと共同で、半導体の回路線幅を20ナノ（ナノは10億分の１）メートルまで微細化できる
フォトマスク（回路原版）の量産技術を確立したと発表した。
受注次第、量産に入る。フォトマスクで20ナノメートル台前半の量産供給を表明したのは凸版が初めてという。

　フォトマスクを使って回路をシリコンウエハーに焼き付ける露光装置には、現在の主流である
ＡｒＦ（フッ化アルゴン）レーザー光を使える。純水を使い光の集約度を高める液浸技術にも対応。
半導体メーカーは既存設備のまま、最先端の微細化技術を導入できる。

　回路線幅20ナノメートル台の半導体は、東芝や韓国サムスン電子などメモリー大手が試作中。
微細化のため、露光装置ではＥＵＶ（極紫外線）を使う新型装置の開発も進んでいる。
凸版が量産レベルで既存技術の延命にメドをつけたことで、半導体メーカーの投資戦略にも影響する可能性がある。

　フォトマスクは朝霞工場（埼玉県新座市）で生産する。新材料の採用で回路パターンの解像度を高めるなどした結果、
線幅を狭めることができた。マスクの製造は既存設備をほぼ流用でき、大きな投資は不要という。

http://www.nikkei.com/news/category/article/g=96958A9C93819696E2EBE290E08DE2EBE2EBE0E2E3E28698E2E2E2E2;at=ALL

注目点
凸版印刷は９日、米ＩＢＭと共同で、半導体の回路線幅を20ナノ

回路線幅20ナノメートル台の半導体は、東芝や韓国サムスン電子などメモリー大手が試作中。
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さむすん関係無いだろ？

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　　（｡・-・）　ナノ
　　 ﾟし-Jﾟ　

お夜食発見！


　　　..._,,._
　　 ﾟし-Jﾟ

ごちそー様

これ東亜か？

電子は通れんのかそんな狭い線で

>>5
メガ

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>>8
ナノ！

　・

>>7
電子よりは随分幅は広いですよ？ｗ

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　 　/〜ヽ 　
　　（｡・-・）　28nmで各社苦戦中・・・
　　 ﾟし-Jﾟ　

>>4
こっちでめ〜っけ♪
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　　 ヽヽ 　 /　　/　 ＼　　　 |　　　|　　　　　　　　　　 ,,,,,,,iiiiillllll!!!!!!!lllllliiiii,,,,,,,
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／　　　 ＿_ノ　　　　　　"'ｍ__｀＼ヽ_,,,, ヽ 　　　　　|　　　　　　　　　　　 　　 |
｀ー―￣　　　　　　　　　 ヽ､__｀/ー_,,,, ﾞﾞﾞﾞ!!!!!!!lllllllliii|　ダイエットの敵　　　　 |
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　＼ﾞﾞﾞﾞﾞﾞﾞ!!!!!lllllllliiiii|　　対プリン撲滅　 　　|
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ＼　　　ヽ　 　|　　　　大増量　　　 　 |
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ヽ　 　＼　 |　　　　　　　　　　　　 　 |
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　| 　 　 ＼.|　　　　１０００ｔ　　　　 　 |
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　｀ヽ､,,＿ノ|　　　　　　　　　　　　 　 |
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ﾞﾞ!!!,,,,,,,,　　　　　　 ,,,,,,,,,!!!ﾞﾞ
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　 　 　 　 　 　 ﾞﾞﾞﾞ!!!!llllliiiiiiiiiilllll!!!!ﾞﾞﾞﾞ
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　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（｡×-×）　>>114
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　／.// ･ｌ|∵ ヽ＼　グシャ！

>>2
20nmは、普通のプレーナー型トランジスタの最後の世代。
上手くすると15nmのプロセスルールまで生き残る。

んで、この辺のプロセスになると投資額が膨大になりすぎ、3つ位のグループ
しか生き残れないって言われてる。
現在参加してるのは、以下の５つ位のグループ。

・AMDから分離したグローバルファウンダー（GF）
・IBMと（日立・NEC・三菱）のルネサスと凸版
・東芝とSunDiskを中心にしたNANDフラッシュチーム
・台湾勢を取り込んでるエルピを含むとこ
・サムスン・LGなどの韓国勢


んで、生き残りそうなのは、上から３つが注目株で、下はかなり辛い。
特にいっちゃん下は、日本の半導体機器メーカを、不払いで潰しちゃって
技術的に転落中。

既に、次の世代の開発からこぼれ落ちそう。

実際に、15nm以降は３Dトランジスタのデュアルゲート・トライゲートタイプ
になると思われるけど、その2階建て、3階建てにするための光学機器メーカの
応援が皆無の状態。

その結果、フラッシュメモリでは、サムスンはもう落後したと言われてる。

参考になるから、ここ参照ね。
http://pc.nikkeibp.co.jp/article/trend/20100819/1026982/?P=2

>>10
m_(_ _)_m　全部、僕が悪いです！戻ってくだしぃ

何かが物陰からプリンを見ています

　 　 　 　 　　　　　　| |ｌ￣|
　゜　　　　:　.　　　　.:| |ｌ甘|
　　　　゜　　　　　:　..:| |ｌい|
　　　 __＿_＿_,._＿_, | |ｌ物|
　ﾟ　　 　 ｡　 : 　 　 ..:| |ｌは.|
:　　 　 　 　 。　 　 ..:| |ｌ別.|
　　　　゜　　　　　:　..:| |ｌ腹|
　　:　　　　　　 ﾟ 　 ..:| |ｌ＿|
　　　　ﾟ　　　: 　 　 ..:|;:;:.... |~' 、
　　　　　　゜　　:　　..:|;:;:.... |￣ ヽ
　 。 　 　 　 　 　 ﾟ ..:|;:;:.... |ﾉﾘ）)》
　　　:　　　　　:　　 ..:|;:;:.... |-ﾟﾉ|iﾘ　だわ…
　ﾟ　　｡　　:　　　:　 ..:|;:;:.⊂{介ﾐ i)〉
　　:　　　　　　:　　 ..:|;:;:.... |j≧ﾍ
　　　　　 ,,.,､-‐''"´~ `ｰ-‐'ﾞ

さすが凸凹印刷さんや。

>>2
今の20nm台の技術って、型取りみたいな原理でのダブルパターニングが主だから
あれは純粋に解像力を上げてやっている訳じゃないよ。

上の原理に頼らない場合、EUVでも無いともうどうにもならん状態。

EUVは10nm以下からなのかな？
しかし、例えば1nmとか可能なのかなｗ

>>18
確か10年位前に1nm焼いたと聞いたことあるが。
日本でのお話しです。

東芝は既に24nmのフラッシュを量産開始してるでしょ？

>>20
2012年量産開始じゃなかったっけ？
たぶん、量産用フォトマスクはこの凸版のを使うんだろうね
随分前に合弁会社作ってたし

>>21
http://www.toshiba.co.jp/about/press/2010_08/pr_j3101.htm

>>12
　　　＿
　 　/〜ヽ 　
　　（｡・△・）　ダメだよ
　　 ﾟし-Jﾟ　
>>15　腹ペコシスター?!

IntelやMicronはすでに量産してるが

>>10
量子閉じ込めっつって電子にとっても狭くなって来ているんだよ。

これは韓国を抜いた日本ＧＪの記事？

>>26
初めから韓国相手にしてないって記事

歴代売れ筋cpuの回路幅比較てどっかにない？
なんかμとかnmとかごっちゃでわけわからん。
大枚はたいて買ったペン�Uとかどんなもんだったんだろ。

>>28
nmで表記を統一してみた。
Intel
Pentium 900nm,600nm,350nm
MMX Pentium 350nm,250nm
Pentium Pro 500nm,350nm
Pentium II 350nm,250nm
Pentium!!! 250nm,180nm,130nm
Pentium 4 180nm,130nm,90nm,65nm
Pentium D 90nm,65nm
Pentium M 130nm,90nm
Core Duo 65nm,45nm
Core 2 65nm,45nm
Core i 45nm,32nm

AMD
K5 500nm,350nm
K6 350nm,250nm
k6-2,K6-III 250nm
k6-2+,K6-3+ 180nm
Athlon 250nm,180nm
AthlonXP 130nm
Athlon 64 130nm,90nm,65nm
Turion 64 90nm
Athlon X2 90nm,65nm
Turion X2 90nm,65nm
Phenom 65nm
Phenom II 45nm
Turion II 45nm

>>29
すごいなあ・・
おれのi7でペン�Uの約１／１０かあ・・

なんか使用目的がエロ関係ってとこは進化してないんだが。