X線解析ってどうやるの？

どもひさしぶりです。このスレがまだ生きていると思っていませんでした。みなさんありがとうございます。
おかげさまで大学を卒業して大学院に行っております。

最近、また疑問が出てきたのですが、原子間隔オーダーの面間隔の回折像をX線でみることは可能でしょうか？TEMだと試料つくりに大変手間がかかるらしく、しかも自分の研究室にはTEMはありません。

具体的には
InGaP/GaAs基盤でInGaP層のInとGaのオーダリング（自然超格子：Cu-Pt型の超格子）の有無をみたいと思っています。