《 材料・物性 ＠ ニュース速報 》
産総研など、50ナノピットパターンの描画に成功 超高密度光記録技術への応用に期待
産業技術総合研究所の近接場光応用工学研究センターと韓国サムスン電子のデジタルメディア
Ｒ＆Ｄセンターは28日、可視レーザー光と熱で体積が変化する特殊薄膜を組み合わせた「熱リソグ
ラフィー法」と呼ばれる方法により、最小50ナノメートルのピットパターンを描画することに成功したと
発表した。低コストの微細リソグラフィー技術として、超高密度光ＲＯＭディスク原盤作製への応用が
期待できる。 (略）
http://www.jij.co.jp/news/soft/art-20030828201314-OUEUQOFFVN.nwc
http://release.nikkei.co.jp/detail.cfm?relID=53797
潤滑油不要の切削〝刃〟 都立産技研などが開発
東京都立産業技術研究所、東京大学先端科学技術研究センター、上島熱処理工業所などの産学
官の研究グループは、潤滑油を使わなくても従来通りの加工ができる切削用チップをつくる技術を開
発した。チップの表面を被覆する窒化チタン薄膜に塩素イオンを注入することで実現した。薄膜表面の
摩擦を従来の約4分の1に低減でき、削りくずがチップにまとわり付く“凝着”が起きないので、潤滑油
が不要になる。 （略）
http://www.jij.co.jp/news/chemical/art-20030828192644-OUWHJFOQFD.nwc
産業技術総合研究所の近接場光応用工学研究センターと韓国サムスン電子のデジタルメディア
Ｒ＆Ｄセンターは28日、可視レーザー光と熱で体積が変化する特殊薄膜を組み合わせた「熱リソグ
ラフィー法」と呼ばれる方法により、最小50ナノメートルのピットパターンを描画することに成功したと
発表した。低コストの微細リソグラフィー技術として、超高密度光ＲＯＭディスク原盤作製への応用が
期待できる。 (略）
http://www.jij.co.jp/news/soft/art-20030828201314-OUEUQOFFVN.nwc
http://release.nikkei.co.jp/detail.cfm?relID=53797
潤滑油不要の切削〝刃〟 都立産技研などが開発
東京都立産業技術研究所、東京大学先端科学技術研究センター、上島熱処理工業所などの産学
官の研究グループは、潤滑油を使わなくても従来通りの加工ができる切削用チップをつくる技術を開
発した。チップの表面を被覆する窒化チタン薄膜に塩素イオンを注入することで実現した。薄膜表面の
摩擦を従来の約4分の1に低減でき、削りくずがチップにまとわり付く“凝着”が起きないので、潤滑油
が不要になる。 （略）
http://www.jij.co.jp/news/chemical/art-20030828192644-OUWHJFOQFD.nwc
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