薄膜プロセス

富士通とかFESTA（今はもうないが･･･）はAFMで20nmくらいの
選択的に酸化させる技術あるよね。でエッチングして再成長で
量子ドットの位置制御やってたけど。

基板上に成膜した薄膜をエッチングして3次元構造を作るっていうような
ことを卒論でやっていました。
中間発表会のときに別の研究室の理論屋さんの助手から
最初っからそういう形に成膜すればいいじゃん
と言われた。本人は笑いをとったつもりらしい。

１１１面のピラミッドを成長してその上にドットを作るとか良くあるよな。

薄膜への下地層付加による保磁力増大の原理を
知ってる方いたら教えてください

保磁力増大？

バッファーつけた目的は？

卒研でMPCVDで薄膜を作成する実験をやることになったんですが

原料にフッ素が含まれているため対向電極の銅が
腐食される問題を何とかできないかと考えています。
何かいい知恵があったらお貸し願えませんか？

電極の材質かえろ

>>243
有機分子では自己整合とかもあるし。一概に理論屋の助手の
いうことがおかしいとはいえない。ま、この場合はおかしいけどな。
一応研究と名のつくことをやるんなら、エッチングで作るような
至極当たり前のことでなく、なんか新しい手法で構造を作るような
ことを考えられるようになりたいものだ。

スプレー法

KAPを用いた配向性薄膜の作成法を知っている人がいましたら教えてください。悩んでいます。

スプレー

なんでゾルゲルはなんや？

フタル酸水素カリウム結晶ををガラス基盤に配向させた後、その上に有機物を配向させたいのですが、フタル酸水素カリウム（論文ではKAPと略されていました）を配向させる方法が分かりません。誰か、助言をお願いします。

>239
採算度外視でやるならエキシマレーザーで可能

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卒研で銅フタロシアニン薄膜の単分子膜
を作っているんですが、膜厚計がなくてどのく
らい蒸着していいのか分かりません。真空度、
昇華温度等にもよると思いますが、
助言よろしくお願いします。

膜厚計も何もないのに薄膜を蒸着で作製しようと言う企画がダメ。
そもそもどうやって膜を評価するつもりなの？

酸化物超伝導体YBCOの薄膜だって蒸着で作ってるんだから出来るだろ！
　組成の制御が難しいんだよねこれが・・・　

産業応用性とか実用性のある金属薄膜って言ったら何がありますかねえ？

薄膜ってどれ位までの厚さのことをいうんですか？

薄膜ポリマーって破裏拳ポリマーみたいだよな

>>262
特に定義はないと思うけど、感覚的には１μm未満、
都合により、１０μm弱あたりまで使ってたりするけど。

はじめまして。
CuPcとF16CuPcの配向の比較をしてみようと試みておりますが、フッ素が付加されたことで違いが出るでしょうか？
アモルファスではちょっと…。

窒化物の製膜には、超高真空でなければいけないらしいのですが、その理由がよくわかりません。
このことについてご存知の方いらっしゃいましたら教えていただけますでしょうか。
単に酸素や水素分子が存在すると、そちらと反応してしまうから、という理解でよろしいのでしょうか？

>>266
おいおい、CVDはどうすんだよ・・・。

スパッタ成膜で、
膜が柱状構造（多結晶）になる場合、
アモルファスにするには、一般的には、
圧力やパワーをどう振ればいいんでしょうか？
あと、単結晶にする振り方も教えてください。

>>262,264
分野によると思う．
うちでは100nmこえると厚膜って感じがする．
量子効果デバイスとかの超薄膜を扱う人たちは数十nmでも厚いイメージ．
いちいち超つけたりしないから，薄膜というと数nmを指す．
「一般的」ってのは無いんじゃないかなぁ．

結晶がエピタキシャル成長すると
（薄膜をデバイスと使用する際に）何か良いことがあるんでしょうか。
ご教授お願いします。

たとえば絶縁膜の場合、中途半端な結晶化はグレイン構造による絶縁性低下を
起こすことから回避され、アモルファス膜を使うのが常識です。これに対し、
完全な単結晶エピ膜は、絶縁性、界面特性の観点からアモルファスや多結晶より
も有利なのは明らかですよね。

ちなみに「結晶がエピタキシャル成長する」という表現はおかしい。原子また
は分子がエピタキシャル成長して結晶になるんだから。結晶にならない場合の
方が多いけど。その場合はエピタキシャル成長とは言わないですね。

薄膜での結晶成長でエピタキシャルというと、結晶基板の方位と
整合して膜の結晶方位も特定の向きになることを言う…のだと
思っていました。

ので、エピタキシャルではない結晶薄膜もありうるので、自分は
「結晶がエピタキシャル成長する」と言っても、間違いだとは
言い切れないなあ。まあ確かに違和感はあるけども。多結晶膜や
配向膜を「結晶膜」に含めるかどうかの違いですかね。

もう一回くらい大学にもどって薄膜作りたいなぁ・・・・
俺があの研究室ではじめて単結晶膜の作成に成功したときは教授も喜んでくれた
会社はつまんね

あいつらちゃんと研究進めてるかな・・・ﾃｰﾏ打ち切ってたら笑えるわ・・・

ガス流さないでスパッタしようしたのは漏れくらいだろう
今となればいい（？）思い出

スレ違いすまそ

レーザーーー

>>265
恐ろしく遅レスだが出ると思うよ．
実際にVOPcとF16VOPcでは配向に違いがでる．
むしろ ，既存論文の検索をしたほうがいいと思われ．すでにやられている可能性大．

Aerosol Jet Etching and Cleaning
ってどういうものなんですか？

プラズマＣＶＤでの膜質に関わる相関関係を示したいい資料どこかにありませんか？
SiH4酸化膜、TEOS酸化膜の成膜で、例えば膜厚均一性が悪いのは何が効いてるとか、
ｽﾄﾚｽ（反り）が小さいのはＬＦが弱いからとかの関係資料。
処理室の構造なんかでも変わるでしょうが、大まかなもので結構です。

HOPGへきかいする時にセロハンテープ
でやると凄く粗くなるんですが、セロ
ハンテープじゃだめなんですか？

どなたか知ってる人いたら教えてください…

今酸化皮膜作ってるんですが、試料の表面仕上げの違いで
表面に皮膜が付くものと付かないものがあるんです。

一つが鏡面仕上げで、もう一つが400番まで湿式研磨した炭素鋼です。
溶液はアルカリ溶液です。

やっぱ表面電位の違いとかそんな感じですかね？

あげ

AL系ｽﾊﾟｯﾀ装置でｸﾞﾚｲﾝのｺﾝﾄﾛｰﾙがうまくいきません。
基本的なﾚｼﾋﾟの振りは色々試したのですが何かよい策は無いでしょうか。
Al-Cu、Al-Si等です。

age

進工業って薄膜電子部品のトップメーカーなんですか？

>>ガス流さないでスパッタ
どうなったの？壁面溶けた？

high sp3 fraction film
これどうやって訳せばいい？

C 系の膜で sp3 結合の割合が多い膜ちうことなんでねか？

教えて厨でスミマセン。
真空蒸着で、使用する基板はPMMA　
これにＳｉＯ２を蒸着してみたいのですが
やってみた方いますか？

392 ：Appellation Nanashi Controlee：2008/05/20(火) 02:34:04 ID:e58SyeEK

「ここはワイン板だから」と、ワイン板であることを根拠に寝言を言ってるワイン板
新参者のチミ！ オマエさんがいるのは、サイゼリヤスレなんだぜ？
ワインの話なんか無くたって、食い物やビールの話題が延々と続いてもOKなのは、
言ってみればこのスレの伝統そのもの。文句があるのなら、 >1を百遍読み直すべき。
ま、言ってみれば、板ルールなどクソ喰らえの治外法権スレだな。香港にあった九龍城
みたいなもん。
これまでも正論を模した荒らしに耐えてきたし、今後も好きなようにやらせて
もらうよ。ここは俺たちの「サイゼリヤスレ」なんだよ。これは永遠に変わらないし、
ワイン板でやらせてもらうことも変わらない。文句があるならこのスレを汚さないで、
自治スレにでも書き込んでくれ。あまり俺たちを本気にさせないでほしいな。

http://food8.2ch.net/test/read.cgi/wine/1209713858/l50x

保守

PLDの条件出しやりたくないです助けて下さい