荏原　　【精密・半導体部門】

大日本スクリーン製造（DNS）と米Applied Materials, Inc.（AMAT）の共同出資会社である
SOKUDO（京都市）は，ウエーハ処理速度が250〜300枚/時と「世界最高速」（SOKUDO）を
うたう塗布・現像装置を発売した（リリース）。液浸露光やダブル・パターニングを使う最先端の
LSI製造ラインに向ける。既に国内外のLSIメーカーへの出荷を開始した。この製品の投入により，
塗布・現像装置で80％以上の市場シェアを握る東京エレクトロン（TEL）と「戦う準備ができた」
（SOKUDO 代表取締役社長の須原忠浩氏）とする。
今回の製品は，SOKUDOにとって2006年7月の会社設立以来，初めての新機種となる。
「（DNS時代のプラットフォームを踏襲した）これまでの製品は，スループットやレジスト消費量などで
競合の製品に劣る面があった。今回，ようやく競合の一歩先に出ることができた」
（SOKUDO 副社長の山野章氏）。
同社は，今回の製品をテコに，現状で10％程度にとどまる塗布・現像装置の市場シェアを
「2010年度末までに，まずは20％に高める」（須原氏）狙いだ。同年度末までに今回の製品を
「市況にもよるが最低40台以上出荷したい」（同氏）とする。価格は3億〜7億円。
今回，高スループットを実現できたのは，「デュアル・トラック・システム」を導入したことによる。
装置内に塗布・現像処理用のレーンを二つ設け，同時並行で処理を行う。これにより，
「従来技術の限界だった200枚/時の壁を突破できた」（山野氏）。この方式では，
二つのレーンから交互に一定間隔で処理済みウエーハを排出できるように，
各レーンでのウエーハの動きを制御する必要がある。ここでは，
「AMATが強みを持つソフトウェア技術を生かした」（同氏）という。
もう一つの特徴は，量産ラインで生産を止めることなく，装置をメンテナンスできること。
一方のレーンを止めてメンテナンスする間，もう一方のレーンを動かし続けることができる

大日本スクリーン製造（DNS）と米Applied Materials, Inc.（AMAT）の共同出資会社である
SOKUDO（京都市）は，ウエーハ処理速度が250〜300枚/時と「世界最高速」（SOKUDO）を
うたう塗布・現像装置を発売した（リリース）。液浸露光やダブル・パターニングを使う最先端の
LSI製造ラインに向ける。既に国内外のLSIメーカーへの出荷を開始した。この製品の投入により，
塗布・現像装置で80％以上の市場シェアを握る東京エレクトロン（TEL）と「戦う準備ができた」
（SOKUDO 代表取締役社長の須原忠浩氏）とする。
今回の製品は，SOKUDOにとって2006年7月の会社設立以来，初めての新機種となる。
「（DNS時代のプラットフォームを踏襲した）これまでの製品は，スループットやレジスト消費量などで
競合の製品に劣る面があった。今回，ようやく競合の一歩先に出ることができた」
（SOKUDO 副社長の山野章氏）。
同社は，今回の製品をテコに，現状で10％程度にとどまる塗布・現像装置の市場シェアを
「2010年度末までに，まずは20％に高める」（須原氏）狙いだ。同年度末までに今回の製品を
「市況にもよるが最低40台以上出荷したい」（同氏）とする。価格は3億〜7億円。
今回，高スループットを実現できたのは，「デュアル・トラック・システム」を導入したことによる。
装置内に塗布・現像処理用のレーンを二つ設け，同時並行で処理を行う。これにより，
「従来技術の限界だった200枚/時の壁を突破できた」（山野氏）。この方式では，
二つのレーンから交互に一定間隔で処理済みウエーハを排出できるように，
各レーンでのウエーハの動きを制御する必要がある。ここでは，
「AMATが強みを持つソフトウェア技術を生かした」（同氏）という。
もう一つの特徴は，量産ラインで生産を止めることなく，装置をメンテナンスできること。
一方のレーンを止めてメンテナンスする間，もう一方のレーンを動かし続けることができる

大日本スクリーン製造（DNS）と米Applied Materials, Inc.（AMAT）の共同出資会社である
SOKUDO（京都市）は，ウエーハ処理速度が250〜300枚/時と「世界最高速」（SOKUDO）を
うたう塗布・現像装置を発売した（リリース）。液浸露光やダブル・パターニングを使う最先端の
LSI製造ラインに向ける。既に国内外のLSIメーカーへの出荷を開始した。この製品の投入により，
塗布・現像装置で80％以上の市場シェアを握る東京エレクトロン（TEL）と「戦う準備ができた」
（SOKUDO 代表取締役社長の須原忠浩氏）とする。
今回の製品は，SOKUDOにとって2006年7月の会社設立以来，初めての新機種となる。
「（DNS時代のプラットフォームを踏襲した）これまでの製品は，スループットやレジスト消費量などで
競合の製品に劣る面があった。今回，ようやく競合の一歩先に出ることができた」
（SOKUDO 副社長の山野章氏）。
同社は，今回の製品をテコに，現状で10％程度にとどまる塗布・現像装置の市場シェアを
「2010年度末までに，まずは20％に高める」（須原氏）狙いだ。同年度末までに今回の製品を
「市況にもよるが最低40台以上出荷したい」（同氏）とする。価格は3億〜7億円。
今回，高スループットを実現できたのは，「デュアル・トラック・システム」を導入したことによる。
装置内に塗布・現像処理用のレーンを二つ設け，同時並行で処理を行う。これにより，
「従来技術の限界だった200枚/時の壁を突破できた」（山野氏）。この方式では，
二つのレーンから交互に一定間隔で処理済みウエーハを排出できるように，
各レーンでのウエーハの動きを制御する必要がある。ここでは，
「AMATが強みを持つソフトウェア技術を生かした」（同氏）という。
もう一つの特徴は，量産ラインで生産を止めることなく，装置をメンテナンスできること。
一方のレーンを止めてメンテナンスする間，もう一方のレーンを動かし続けることができる

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