スパッタについて
1 ：只今卒論真っ最中：
すごく初歩的な質問なんですが，スパッタでArガスを使うのは何故？
他のガスを使ったときはどんな影響がでるんでしょか。
他のガスを使ったときはどんな影響がでるんでしょか。
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2 ：774ワット発電中さん：04/12/14 01:37:09 ID:9vTB2neX
3 ：774ワット発電中さん：04/12/14 01:41:26 ID:rtr9i/Mh
アルゴンじゃなくてもものによっては窒素でもいけるものもあるけど。
4 ：只今卒論真っ最中：04/12/14 01:54:11 ID:ImhE/1Ht
希ガスならなんでもOKってことでしょか？
5 ：774ワット発電中さん：04/12/14 01:55:00 ID:+m5HLGpz
>>1
水素と酸素を混合してでやってみ
水素と酸素を混合してでやってみ
6 ：774ワット発電中さん：04/12/14 02:04:36 ID:FD7PX3Fi
アパレル関係は板違いだろ
7 ：774ワット発電中さん：04/12/14 02:07:46 ID:rRoiddiE
>希ガスならなんでも
希ガスでもクリプトンとかゼノンは高価な希ガスる
ラドンでやってみるかい？
希ガスでもクリプトンとかゼノンは高価な希ガスる
ラドンでやってみるかい？
8 ：774ワット発電中さん：04/12/14 13:51:54 ID:hhDahJCT
スパッタは機械板では？と思ったら
溶接のアレではなく、真空蒸着の方ですたか。
溶接のアレではなく、真空蒸着の方ですたか。
9 ：774ワット発電中さん：04/12/14 16:51:31 ID:aGltbdML
なんだよ、スパッツの親戚ではなかったんかい
10 ：774ワット発電中さん：04/12/14 23:10:21 ID:+l2Nk4MS
通りすがりのものですが、電電板の皆様はとても優しい希ガス。
他の板なら「糞スレ」「板違い」「単発質問スレ立てるな」で
煽りAA貼られまくりのような希ガス。
>>1
・Arは比較的安定にプラズマを立てやすい希ガス。
・Arは大気中に大量に存在し、安価である希ガス。(液化窒素や液化酸素の副生成物)
・反応性のガスを使うと化合物が成膜される場合がある希ガス。(反応性スパッタ)
スパッタではスパッタガスはターゲットを削った後、反跳して、一部は成長中の
膜を叩くことがある希ガス。スパッタガスの種類を変えると分子の重さ=運動量が
変わるから膜のモフォロジが変わることがある希ガス。
関係無いけど、希ガススレ@化学板
http://science3.2ch.net/test/read.cgi/bake/1101812412/l50
他の板なら「糞スレ」「板違い」「単発質問スレ立てるな」で
煽りAA貼られまくりのような希ガス。
>>1
・Arは比較的安定にプラズマを立てやすい希ガス。
・Arは大気中に大量に存在し、安価である希ガス。(液化窒素や液化酸素の副生成物)
・反応性のガスを使うと化合物が成膜される場合がある希ガス。(反応性スパッタ)
スパッタではスパッタガスはターゲットを削った後、反跳して、一部は成長中の
膜を叩くことがある希ガス。スパッタガスの種類を変えると分子の重さ=運動量が
変わるから膜のモフォロジが変わることがある希ガス。
関係無いけど、希ガススレ@化学板
http://science3.2ch.net/test/read.cgi/bake/1101812412/l50
11 ：774ワット発電中さん：04/12/15 01:10:06 ID:fIpuXHVg
スパタリング現象―基礎と薄膜・コーティング技術への応用
金原 粲
にいろいろなガスに対するスパッターイールドの実験結果が
でています。原子番号順に並べると希ガスで極大になります。
この本はもう持っていないので記憶だけになりますが、スパッタは
運動量の移動にともない原子を飛び出させるので、質量の思い
ガスのほうがイールドが高かったはずです。
なっるべく重く存在量の多いアルゴンを使うことが一般的になります。
論文を調べると膜のモフォロジを帰るためにクリプトンをもちいた
スパッタといのもあるはずです。
不活性でないガスを使うと反応性スパッタができます。
窒化物がや酸化物のコーティングが一般的でしょうか。
スパッタをやるなら、上記の本くらい読みなさい。
それとThornton（綴りに自信がないが）の論文を探してきて
各ゾーンのモフォロジーがどのような条件のときにできるか
くらいは最低知っておくこと。
金原 粲
にいろいろなガスに対するスパッターイールドの実験結果が
でています。原子番号順に並べると希ガスで極大になります。
この本はもう持っていないので記憶だけになりますが、スパッタは
運動量の移動にともない原子を飛び出させるので、質量の思い
ガスのほうがイールドが高かったはずです。
なっるべく重く存在量の多いアルゴンを使うことが一般的になります。
論文を調べると膜のモフォロジを帰るためにクリプトンをもちいた
スパッタといのもあるはずです。
不活性でないガスを使うと反応性スパッタができます。
窒化物がや酸化物のコーティングが一般的でしょうか。
スパッタをやるなら、上記の本くらい読みなさい。
それとThornton（綴りに自信がないが）の論文を探してきて
各ゾーンのモフォロジーがどのような条件のときにできるか
くらいは最低知っておくこと。
12 ：774ワット発電中さん：05/02/04 19:23:30 ID:jpx5pQF1
ん〜。たしかにそれもあるけど、一番は安いってこと、これにつきる。
他の希ガスを使ったスパッタ膜の論文も発表されているけど、まだ
系統立てて研究はされていないね。作る膜によってはスパッタ原子が
重い方が良かったりするっていう論文は読んだことがある。
他の希ガスを使ったスパッタ膜の論文も発表されているけど、まだ
系統立てて研究はされていないね。作る膜によってはスパッタ原子が
重い方が良かったりするっていう論文は読んだことがある。
13 ：774ワット発電中さん：2005/05/16(月) 01:55:00 ID:rJfat5NC
スパルタ式ってのはそういうことだったのですか・・・・
14 ：774ワット発電中さん：2005/06/22(水) 16:51:45 ID:7Lqck829
15 ：774ワット発電中さん：2005/06/28(火) 21:49:36 ID:ccPiCxzv
イオンスパッタリングあげ
スパッとまるっとお見通しだ！
17 ：774ワット発電中さん：2006/07/31(月) 16:17:11 ID:BWG/GWp0
アリの巣コロリってあるじゃん。
蟻の行列にポンと置くと、一瞬ビックリして列が乱れる。
邪魔だなと言わんばかりに迂回する列が出来る。
そのうち好奇心旺盛な一匹がアリの巣コロリに入る。
そいつをマネして何匹も入る。
毒とも知らずにツブツブを運び出す。一匹が一粒づつ。
いつのまにか行列はアリの巣コロリが折り返し地点になる。
黄色い粒と黒い蟻が作り出す模様は綺麗で見てて楽しい。
一匹が一粒づつ、丁寧にせっせと毒の粒を運ぶ。
せっせと、せっせと、せっせと、せっせと。
蟻さんって働き者だなと思う。俺も頑張らなきゃなと思う。
次の日、あれほど沢山いて俺を困らせた蟻が一匹もいない。
ほんとにいない。探してもいない。泣きたくなった。
このレスを見た人は４日後にあなたの大切な人がいなくなるでしょう・・・・
それが嫌ならこのレスを５つの板にレスしてください。
信じるか信じないかはあなた次第です。
蟻の行列にポンと置くと、一瞬ビックリして列が乱れる。
邪魔だなと言わんばかりに迂回する列が出来る。
そのうち好奇心旺盛な一匹がアリの巣コロリに入る。
そいつをマネして何匹も入る。
毒とも知らずにツブツブを運び出す。一匹が一粒づつ。
いつのまにか行列はアリの巣コロリが折り返し地点になる。
黄色い粒と黒い蟻が作り出す模様は綺麗で見てて楽しい。
一匹が一粒づつ、丁寧にせっせと毒の粒を運ぶ。
せっせと、せっせと、せっせと、せっせと。
蟻さんって働き者だなと思う。俺も頑張らなきゃなと思う。
次の日、あれほど沢山いて俺を困らせた蟻が一匹もいない。
ほんとにいない。探してもいない。泣きたくなった。
このレスを見た人は４日後にあなたの大切な人がいなくなるでしょう・・・・
それが嫌ならこのレスを５つの板にレスしてください。
信じるか信じないかはあなた次第です。
18 ：774ワット発電中さん：2006/09/16(土) 01:49:03 ID:BmYYZPeC
斉藤
19 ：774ワット発電中さん：2007/09/10(月) 14:50:13 ID:LSW0Brtg
スパッタやってるけどほとんど論文なんて読んだことないなあ
英語じゃない文章がいいわ
英語じゃない文章がいいわ
20 ：774ワット発電中さん：2007/09/10(月) 15:08:10 ID:kW5sU9dH
ももひきみたいな衣料品だべ
21 ：774ワット発電中さん：2007/09/10(月) 15:28:07 ID:y3aDNFXJ
ナウシカが穿いてるヤツね
22 ：774ワット発電中さん：2007/09/10(月) 15:41:27 ID:CReNyDDp
ん？
SEM用試料のイオンスパッタ（C,Au）はロータリーポンプとか使って真空でやってるけど・・
SEM用試料のイオンスパッタ（C,Au）はロータリーポンプとか使って真空でやってるけど・・
23 ：774ワット発電中さん：2007/09/12(水) 20:36:33 ID:JHeD9iU8
age
腹減ったなぁ〜
パスタかと思って
上げちゃったよ
腹減ったなぁ〜
パスタかと思って
上げちゃったよ
24 ：774ワット発電中さん：2007/09/12(水) 20:57:53 ID:+cxzykAz
（片手剣）全種
Ｄ14 隔227 命中+2
Lv11〜 戦赤ナ暗
Ｄ14 隔227 命中+2
Lv11〜 戦赤ナ暗
25 ：774ワット発電中さん：2008/05/26(月) 21:38:33 ID:YAUSuLbz
てすとろっさ
26 ：使いM：2009/03/27(金) 11:30:51 ID:r+Jyn7sm
CターゲットとMgターゲットでArスパッタした場合の危険性ってありますか？
27 ：774ワット発電中さん：2009/03/28(土) 19:38:14 ID:36GhAdLl
スパッツかとおもた
28 ：774ワット発電中さん：2009/03/28(土) 19:43:57 ID:RDQ5RP1n
スパッタ斉藤で元気か？
29 ：774ワット発電中さん：2010/01/26(火) 20:07:18 ID:ciuhxbgS
test
過疎スレで貼りテスト
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