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子会社化された半導体メーカの井戸端
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04/10/13 14:09:51 ID:t99hSTb3
>>240
>うちところでは、設計段階では電子ビーム露光で、量産段階になると
レーザビーム露光だよ。失敗コストの低減
束乏のこと?
http://www.toshiba.co.jp/tech/review/2004/08/59_08pdf/a03.pdf