【テクノロジー】コーデンシ、真空度測定できる0.8mm角チップ素子を開発［10/02/16］

　コーデンシ（京都府宇治市、中嶋郭和社長）は、微小空間の真空度を測定できる０・８ミリメートル
角チップ素子「マイクロ真空計」を開発した。測定対象となる空間内部の気圧を計測し、気圧が
低ければ真空度が高いと判断する。真空封止が必要なジャイロセンサー類の真空度評価に
利用を見込む。すでにサンプル出荷を始めており、需要拡大が見込めれば本格生産も検討する。

　微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）技術を使って、小型化した。低い真空度を示す高気圧下の
場合に熱が逃げやすくなる関係を測定原理に応用。素子に内蔵した超小型ヒーターで測定空気を
加熱し、真空度が下がると温度維持に必要な電力が大きくなるなどの性質を利用して気圧を割り出す。
測定下限は０・１パスカル付近まで対応できる。


▽ソース：日刊工業新聞　（2010/02/16）
http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0620100216hhaf.html

真空が破られるといっきに壊れるわけですね。

プロセス系の研究室で真空計をトバシて怒られたのは良い思い出。。。

>>2
記事を読む限り逆っぽいよ。

10^-1Pa程度じゃ真空とは言わんだろ。ｗ
気圧計と呼べ気圧計と。

真空を測る素子って、
イオンを測ったり、感知しにくい元素が
あったり、真空度の領域が違うと測れないものも
あったり（例えば10Ｐａ〜0.1Ｐａは測れるけど
10ＥＸＰ-6Ｐａ位は測れない、また逆もある。）
測定素子で真空度変わるんだけど・・・

0.1じゃピラニだな。