【半導体】次世代半導体の新技術開発、大容量実現にめど−大阪大[08/02/21]

★次世代半導体の新技術開発＝大容量実現にめど−大阪大

　大阪大レーザーエネルギー学研究センターの西原功修教授らの研究グループが２１日、
次世代半導体に不可欠なシリコンウエハーの露光装置について、「極端紫外線（ＥＵＶ）」を
使った新技術を開発したと発表した。実用化できれば、ブルーレイ・ディスク（単層）の
１枚分以上の容量に当たる３２ギガバイトのフラッシュメモリー製造が可能になる。

　西原教授は炭酸ガスレーザーをスズに当ててＥＵＶを放出させる方法に着目。新技術では、
液状化させたつぶ状のスズにまず別のレーザーを当てて加熱膨張させ、そこに炭酸ガス
レーザーを照射することでエネルギー変換効率を上げた。スズは超高温になりイオン化するが、
そのままではＥＵＶを集光する鏡に付着して効率を下げるため、磁場を作ってスズを集める
仕組みも開発した。

　現行技術の光源を使った露光装置は回路線幅３２ナノメートル（ナノは１０億分の１）を
実現しているが、今後さらに幅を狭めて大容量化するには波長の短い光源の開発が必要。
西原教授らの技術は露光装置への応用までには安定性の確立などの課題が残されているが、
実用化にめどを付ける変換効率が達成できたという。


ソース：時事ドットコム（2008/02/21-18:33）
http://www.jiji.com/jc/c?g=soc_30&k=2008022100839

そーなんだ。

いくらがんばっても、作って売るのは朝鮮企業

<丶｀∀´>　サムスンのためにカムサハムニダ　シリコンウエハー ウエハッハー

後はレンズの開口率を上げるだけだな

液侵でやるのかな？

>>3
特許を握れば、鵜と鵜匠

スパイに注意を！

>>3

この技術を使うのはステッパー。
ステッパー作っているのはニコンとかで韓国企業はないから、直接は関係ない。

てか、東北大とパイオニアがテラクラスの開発してなかったっけ？

NANDメモリの大幅値下げ来る？

価格下げて売る必要もないからそのままだろ

>>5
EUVだとレンズじゃ難しくねえか？

半島植民地の大学だから捏造かもしれんな

>9
テラクラス、テラスゴス、テラワロス

ここの大学に援助してんのどこだと思ってんの？
大阪民国なんだよｗ

じゃ どうやってマスクのパターンを縮小するんだい

やはりレンズは必要だと思う

なんかコンプ紛いが沸いてるな

そのうち、ガンマ線で露光するようになるんじゃね？

そしてチョン国のメモリ工事では、働く人の子どもがみんな女に。

×工事
○工場

最近、東大以外の旧帝大は頑張ってると思うのですがが、、、
日本の最高学府様は、いかがお過ごしでしょうか

そうだな「東大」以外がんばってるな

>>16
全部ミラーだよ。ニュートンの反射望遠鏡知ってるか？

ミラー使うのはステッパの基本的なのだが

フライアイレンズ コンデンサレンズ 必要だろ

>>18

ステッパー使うところに人いるのか？

光源とレンズの問題が解決したら次はレジスト問題。
感度とエッジラフネスの解決。これも難しそう。
22nmの実現にはまだ巨大な壁がある。

EUVほどの短波だとレンズを透過できず光のほとんどをレンズに吸収されてしまう。
だからミラー投影系が必要なのだよ。

キヤノン、ASMLはそれを見越してカタディオプティクスを現行機種に採用して
技術の蓄積をしている。

原稿用紙が今だに400字だ。これはどういうことだ！
そろそろ四万字にする技術革新があってもおかしくないだろ。

何がどうすごいのか
低能児でも分かる解説キボンヌ。
さっぱりワカンネ〜。
専門的すぎるとスレも伸びないし国民の理解が得られないよ。

究極は電子ビーム

>>27

つ　ワープロ

>>25
たしかにレンズでの減衰は大きいな、反射に寄る縮小しかないのか
そして　レジストだな

どこまで塗布の厚さを必要とするかは、エッチングでの耐プラズマ性により決まるだろな

厚さが薄いとプラズマに弱ければ厳しく　厚くすると倒れたり剥がれたりしやすくなるしな

さてさてレジストの開発が次の過大だろな

なんだ実用化はまだ先か。
日本はこんなんばかりだな。
実用化にメドが立ってからスレたてろよ。

なんで大阪や京都の関西って、凄い発見があったり新しい技術がポコポコ生まれるんだろうか？
やっぱり頭の構造が普通の日本人とちょっと違うんだろうな。
きっと。最近そんな感じがしてきた。

灯台は文系だろ

サムスンも東芝もこの露光装置ってパターンを形成する奴が無ければ
メモリとか作れんのさ。
○○ナノのメモリを作った！とか言う発表は最新の露光装置を導入したって意味。
細かいパターンを作れる装置をさも自社が作ったかの様にサムスンとかは発表する訳だ。

そしてニコン、キヤノン、ASMLで独占しており、韓国企業は手も足も出ない。

液晶にも露光装置が要るのだが（TFT用とカラーフィルター用）
高性能で高価なTFT用はキヤノンとニコンで独占しており、韓国は手も足も出ない。
カラーフィルター用は結構色々な企業が作っているが、やはり日本企業が殆ど。

また大阪大ILEか！

ここは宇宙発電のやつもやってるんだよな

|　|ｽｯ
|　| ∧
|　|∀´>　　
|||||⊂）
|　|∧|
￣￣￣￣￣

SD->SDHCこれで 市場を牽引したが。
実際SDHCて３２GBまでだよな。
容量が増えれば用途もデジカメよりPCや小型の動画などの端末へ
以降する。
この急速な低価格と大容量化の流れをよめなかったのがSDHCの規格。
生まれて2年そこそこでもう上限がくる勢い。
次の規格もできていないとすれば。2番に位置しているCFの位置は安泰だろう
それにATA/IDE互換というのが大きい。137GBの上限が、2,3年で来たら
SDHCももう先が無い。この容量になると、デジカメではなく、HDDビデオの
容量になるわけだ。

小型の１．８インチHDDの大容量化も足踏みしていて、そろそろSSDの大容量
化に追い抜かされる勢い。2.5インチHDDではまだ勝てるだろうが、
UMPCのサイズでは、HDDではなくCFがメインになるだろう。
何故ならHDDでもCFでもコネクタ形状だけの問題で同じインターフェースだから。
SDはそのまま繋げない、という点が大きい。

シリコンウエハー、フラッシュメモリは世界中で製造されてるが
その製造装置は９割以上が日本製

http://www.mtex-fukuoka.com/index.html

>>32
日本とか関係ないよ。
研究段階の情報への需要がビジネス板にはあるってこと。
商品を買う参考にする情報はカカクコムにあるよ。

>>34
もともと官僚養成のための学校だったしね。

>>33
東大は割と流行りにのっていくタイプの人が多い気がする。

>>33
京都は古来職人の町という側面もあったとか。

>>43
昔は産業都市なんて首都ぐらいにしか成り立たなかったんじゃないか

>>44

つ　大坂