【電機】エバテック、シリコン薄膜太陽電池に進出−阪大とPECVD装置開発 [2/21]

★エバテック、シリコン薄膜太陽電池に進出−阪大とＰＥＣＶＤ装置開発

エバテック（京都府久御山町、井野英二社長）はシリコン薄膜太陽電池事業に乗りだす。大阪大学と
共同でコア技術のプラズマ化学気相成長（ＰＥＣＶＤ）装置を開発、近く受注活動を開始する。
また、太陽電池のセル工程などの装置類を一式で提供するエンジニアリング事業も展開する。
ＰＥＣＶＤだけで年間１２台の受注を目指す。

阪大接合科学研究所の節原裕一教授と共同で、基板上にアモルファスシリコンとマイクロクリスタル
（微結晶）シリコンを成膜する装置を開発した。通常の真空成膜装置と同じ放電周波数で微結晶
シリコンを毎秒１・２ナノメートル（ナノは１０億分の１）の高速で成膜できる。放電電力を有効活用して
膜厚の均一性を向上させ、１・１×１・４メートルの大型基板に成膜したサンプルも出荷する。

（掲載日 2008年02月21日）
http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0320080221090bjac.html
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http://news24.2ch.net/test/read.cgi/bizplus/1203287155/

ようわからん

値段ださない時点で糞以下