【技術/半導体】岸田製作、硬度・耐久性10倍のシリコンウエハー用ホルダー開発 [07/08/07]

岸田製作所（神奈川県逗子市）は、ダイヤモンドの性質に近い炭素膜
「ダイヤモンド・ライク・カーボン（ＤＬＣ）」を成膜し、硬度と耐久性を１０倍超に高めた
半導体シリコンウエハー用ホルダーを開発した。

回路線の断線を招く金属イオン不純物の発生を防ぎ、歩留まり向上を実現する。
直径は６００ミリ―８００ミリメートルで、後工程のポリッシング研磨に使用する。

半導体シリコンウエハーは回路線幅の極小化が進み、研磨工程における不純物の発生を防ぐ
装置部品の開発が急務になっている。
シリコンウエハーは通常、研磨時に溶液（スラリー）を注入すると、ホルダーの金属が腐食し不純物となる。
また研磨材が、ウエハーを研磨するだけでなく、同時にホルダーに接触して、金属粉が発生し、シリコン上に残る。

ソース
http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0220070807009baal.html

地味にいい仕事してるね

僕のも硬度、耐久性が10倍になりましたが、未だに実用化の目処が立ちません＞＜

早くアメで特許とらんとまたパクられるぞ

メイドインコリアン

近くのスナックの支那女や、チョソン女には気を付けなさいよ！
大浴場の垢すり女にも気をつけなさいよ！

CMP技術か、ところで装置は何処のメーカーに合わせるんだろう
見る限りアプライド用では無さそうだけど。

アホルダー乙

岸田健作に見えた