【半導体】三菱重工 半導体製造装置に参入 常温で瞬時にウエハー接合 初の量産型 [06/04/18]
三菱重工業は、自動車やプリンターなどに使われるＭＥＭＳと呼ばれる微小な電気機械システム
や次世代電子部品を高効率、低コストで生産できる常温ウエハー接合装置を開発、十九日から
受注活動に入る。
室温と同じ常温でウエハー同士を瞬時に接合する本格的な量産対応型の装置は世界で初。同社は
これを機に半導体製造装置分野に参入する。
この装置は、熱を加えることなくシリコンのほか、金属、セラミックスなどさまざまな材料を
接合できるのが特徴。従来は難しかった異種材料による新タイプのＭＥＭＳや、重層化した半導体
の実現に道を開き、携帯電話などのＩＴ（情報技術）機器や自動車用機器の小型化、信頼性アップ
につながる技術として注目を集めそうだ。
これまでＭＥＭＳの製造では、機械要素部品をのせたウエハーと、ふたの役割をする封止用
ウエハーとを五百度に加熱し、ウエハー材料のシリコンの原子同士をくっつけており、加熱から
接合、冷却までに三−四時間かかっている。
三菱重工の新装置は、真空中でウエハー表面にアルゴンの原子ビームを照射して表面の酸化膜
などを取り去り、ウエハー表面の原子同士をくっつきやすくし、圧力をかけて接合させる仕組み。
常温で作業するため、処理スピードは二十分以内と従来の十倍以上に高速化。接合関係の生産
コストも従来の四分の一に削減するという。また、熱によるひずみなども発生しないため、
高品質のＭＥＭＳを量産できる。
>>2に続く
▽News Source FujiSankei Business i.on the Web 2006年4月18日
http://www.business-i.jp/news/ind-page/news/200604180020a.nwc
▽三菱重工業 株価 [適時開示速報]
http://company.nikkei.co.jp/index.cfm?scode=7011
http://smartchart.nikkei.co.jp/smartchart.cfr?scode=7011.1
や次世代電子部品を高効率、低コストで生産できる常温ウエハー接合装置を開発、十九日から
受注活動に入る。
室温と同じ常温でウエハー同士を瞬時に接合する本格的な量産対応型の装置は世界で初。同社は
これを機に半導体製造装置分野に参入する。
この装置は、熱を加えることなくシリコンのほか、金属、セラミックスなどさまざまな材料を
接合できるのが特徴。従来は難しかった異種材料による新タイプのＭＥＭＳや、重層化した半導体
の実現に道を開き、携帯電話などのＩＴ（情報技術）機器や自動車用機器の小型化、信頼性アップ
につながる技術として注目を集めそうだ。
これまでＭＥＭＳの製造では、機械要素部品をのせたウエハーと、ふたの役割をする封止用
ウエハーとを五百度に加熱し、ウエハー材料のシリコンの原子同士をくっつけており、加熱から
接合、冷却までに三−四時間かかっている。
三菱重工の新装置は、真空中でウエハー表面にアルゴンの原子ビームを照射して表面の酸化膜
などを取り去り、ウエハー表面の原子同士をくっつきやすくし、圧力をかけて接合させる仕組み。
常温で作業するため、処理スピードは二十分以内と従来の十倍以上に高速化。接合関係の生産
コストも従来の四分の一に削減するという。また、熱によるひずみなども発生しないため、
高品質のＭＥＭＳを量産できる。
>>2に続く
▽News Source FujiSankei Business i.on the Web 2006年4月18日
http://www.business-i.jp/news/ind-page/news/200604180020a.nwc
▽三菱重工業 株価 [適時開示速報]
http://company.nikkei.co.jp/index.cfm?scode=7011
http://smartchart.nikkei.co.jp/smartchart.cfr?scode=7011.1
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装置は、ウエハーを二枚一組で最大二十五セットまで全自動で接合でき、セットごとに接合の
条件を設定することも可能で、多品種少量のＭＥＭＳ生産に対応する。
対応できるウエハーのサイズは四インチと六インチ。今年度中に八インチ対応型も開発する。
価格は一台二億円弱で、今年度は五億円、二〇一〇年度には二十億−三十億円の売り上げを目指す。
今回の装置は、独立行政法人産業技術総合研究所のもつ常温接合技術と、三菱重工が工作機械
製造で培ってきた精密機械技術を融合させることで実現。今後も、同研究所の協力を得て、
電子部品製造分野の新技術開発を進める計画だ。
【用語解説】ＭＥＭＳ
「Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ」の略。微細加工技術
を駆使してつくられた微小な機械要素部品やセンサー、電子回路を数ミリ角の一つのシリコン基板
上に集積化した電気機械システム。マイクロマシンやＭＳＴ（Ｍｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍ
ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）などとも呼ばれる。
プリンターのインクジェットヘッドや、自動車のエアバッグ用加速度センサー、バイオチップ
などで実用化され、世界市場は２００５年が６６００億円、０８年には１兆円程度に拡大すると
みられている。
条件を設定することも可能で、多品種少量のＭＥＭＳ生産に対応する。
対応できるウエハーのサイズは四インチと六インチ。今年度中に八インチ対応型も開発する。
価格は一台二億円弱で、今年度は五億円、二〇一〇年度には二十億−三十億円の売り上げを目指す。
今回の装置は、独立行政法人産業技術総合研究所のもつ常温接合技術と、三菱重工が工作機械
製造で培ってきた精密機械技術を融合させることで実現。今後も、同研究所の協力を得て、
電子部品製造分野の新技術開発を進める計画だ。
【用語解説】ＭＥＭＳ
「Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ」の略。微細加工技術
を駆使してつくられた微小な機械要素部品やセンサー、電子回路を数ミリ角の一つのシリコン基板
上に集積化した電気機械システム。マイクロマシンやＭＳＴ（Ｍｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍ
ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）などとも呼ばれる。
プリンターのインクジェットヘッドや、自動車のエアバッグ用加速度センサー、バイオチップ
などで実用化され、世界市場は２００５年が６６００億円、０８年には１兆円程度に拡大すると
みられている。
3 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 07:58:18 ID:NWkc8K8N
プラザ合意 談合死刑
4 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 07:59:33 ID:5D7BNwgX
3チャンネル
5 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 08:04:42 ID:KMFshf0R
／ワ＼
6 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 08:04:56 ID:FIE7N8OF
半導体製造装置も機械的な部分多いし、石川島播磨重工や
住友重機械、三井造船も参入してるからねぇ。
ただ、Nikonもやろうとしてるけど競合して良いんかねぇ？
住友重機械、三井造船も参入してるからねぇ。
ただ、Nikonもやろうとしてるけど競合して良いんかねぇ？
7 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 08:07:03 ID:u4nilnpO
三菱軽工
8 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 08:17:25 ID:TkDya8Da
接合は韓国起源ニダ
9 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 08:51:47 ID:oBQf/IF+
近い未来に重工のほうも復活希望！！
10 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 09:42:55 ID:sxhXSolU
ウェーハハハーってあったよね？
なんだっけ？
なんだっけ？
11 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 09:44:29 ID:kqAOJ3A8
こうやってまた日本企業同士でつぶしあう
12 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 10:08:16 ID:50qvsdAH
こうもあっさりと造れてしまうのは、やはり実力があるからなんだろうねぇ。
13 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 10:09:04 ID:COiCyAEF
半導体製造装置販売している会社は何故自前で半導体を作らないのか？知ってる人教えてちょーだい
14 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 10:18:13 ID:O0sXYB5u
>12
いやぁ、使い物になるかどうか、まだワカランだろう。
こういう話は、眉に唾つけた方がイイと思うよ。
いやぁ、使い物になるかどうか、まだワカランだろう。
こういう話は、眉に唾つけた方がイイと思うよ。
15 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 10:20:35 ID:cDBB3+iE
ジェロ戦作ってたミチュビシからは買わないニダ！ と半島の人がそっぽ向いてくれると向こうは競争力低下。
ま、ありえないんだけど。
ま、ありえないんだけど。
16 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 10:21:34 ID:druzQ4zB
半導体製造装置の会社の株はこれの影響無さそうだから
フーンって感じなんじゃねえの？
フーンって感じなんじゃねえの？
17 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 10:57:55 ID:1rgjcXuX
18 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 11:13:45 ID:uiUt3nIX
戦犯
19 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 13:38:27 ID:VOQ7+Khu
三菱が半胴体だと。
脱輪して人を真っ二つにするハブが完成したんだな。
脱輪して人を真っ二つにするハブが完成したんだな。
20 ：REI KAI TSUSHIN：2006/04/18(火) 13:43:08 ID:r4ntPocY
人肌接合（´Д｀）ハァハァ
21 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 14:36:30 ID:UzNUKIC3
>>20
笑った。
笑った。
22 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 15:22:44 ID:21zyAOzn
考えてもみろ
この半導体製造装置さえあれば東芝はあと10年は戦える
この半導体製造装置さえあれば東芝はあと10年は戦える
23 ：名刺は切らしておりまして：2006/04/18(火) 16:19:19 ID:gOffC8Gh
重工萌え
>>13
半導体自前で作って外販したら、装置納入先はライバル企業になっちゃうから。
昔はあったんだけどね、日立なんかはそういう関連企業いくつももってた。
仮にやったとしても、自分のとこの半導体開発の技術課題を装置開発課題として
優先しちゃうようになるので、結局技術トレンドからトリノコ族化。
三菱重工で物になるのかなぁ。
前に何かのCVD装置もこんなニュースリリースしてた希ガス。
半導体自前で作って外販したら、装置納入先はライバル企業になっちゃうから。
昔はあったんだけどね、日立なんかはそういう関連企業いくつももってた。
仮にやったとしても、自分のとこの半導体開発の技術課題を装置開発課題として
優先しちゃうようになるので、結局技術トレンドからトリノコ族化。
三菱重工で物になるのかなぁ。
前に何かのCVD装置もこんなニュースリリースしてた希ガス。