【機械】キヤノン、第8世代ガラス基板対応の液晶露光装置をシャープ亀山第2へ出荷 [06/02/22]
キヤノンは第８世代（８Ｇ）のガラス基板対応（２１００ミリ×２４００ミリメートル級）
の液晶露光装置を出荷したことを明らかにした。同社にとっては初めての８Ｇ対応機。
まずシャープの亀山第２工場（三重県）のカラーフィルター（ＣＦ）用に複数台納入された模様。
同社は０６年の液晶露光装置の販売台数計画を７３台（０５年は１１３台）に設定している。
０６年１２月期から８Ｇ機の売り上げが計上される見込みで、今後高額の薄膜トランジスタ
（ＴＦＴ）アレイ用で採用が増えるかが焦点になる。
キヤノンの液晶露光装置はミラープロジェクション方式を採用。同方式はガラス基板の
大型化に不向きといわれてきたが、ミラーの大口径化や大型ステージの導入で課題を克服した。
通常のＴＦＴアレイ用とＣＦ用の２種類の装置がある。
シャープへ納入したＣＦ用はブラックマトリックス（ＢＭ）と呼ばれる工程に使われる
可能性が高い。シャープは亀山第２工場のＣＦ製造工程の一部でインクジェット方式を導入
することを表明している。亀山第２工場のＴＦＴアレイ用露光装置は現段階でニコンがすべて
納入している模様。ＴＦＴアレイ用はＣＦ用に比べ高解像度が求められ、現状でキヤノンと
ニコンの２社しか供給できるメーカーはなく、受注競争を繰り広げている。第８世代向けは
１台３０億円程度するとみられる。
キヤノンは液晶露光装置事業の売り上げ規模や用途を明らかにしていないが、販売台数の
３０―４０％がＣＦ用といわれている。開発費を回収するためには今後、ＴＦＴアレイ用の
納入実績が事業収益を左右する。シャープのほかに韓国サムスン電子と同ＬＧフィリップス
ＬＣＤが０７年中の稼働に向け第８世代ラインへの投資を検討中。キヤノンはサムスンとの
関係が深く、サムスンとソニーの合弁「Ｓ―ＬＣＤ」の第７世代工場にはキヤノン製が
採用されている。８ＧもＴＦＴアレイ用の最初の受注はサムスンからの可能性が高い。
>>2に続く
▽News Source Business Line 日刊工業新聞 2006年2月22日
http://www.nikkan.co.jp/hln/nkx0120060222030bjaj.html
▽キヤノン
http://canon.jp/
の液晶露光装置を出荷したことを明らかにした。同社にとっては初めての８Ｇ対応機。
まずシャープの亀山第２工場（三重県）のカラーフィルター（ＣＦ）用に複数台納入された模様。
同社は０６年の液晶露光装置の販売台数計画を７３台（０５年は１１３台）に設定している。
０６年１２月期から８Ｇ機の売り上げが計上される見込みで、今後高額の薄膜トランジスタ
（ＴＦＴ）アレイ用で採用が増えるかが焦点になる。
キヤノンの液晶露光装置はミラープロジェクション方式を採用。同方式はガラス基板の
大型化に不向きといわれてきたが、ミラーの大口径化や大型ステージの導入で課題を克服した。
通常のＴＦＴアレイ用とＣＦ用の２種類の装置がある。
シャープへ納入したＣＦ用はブラックマトリックス（ＢＭ）と呼ばれる工程に使われる
可能性が高い。シャープは亀山第２工場のＣＦ製造工程の一部でインクジェット方式を導入
することを表明している。亀山第２工場のＴＦＴアレイ用露光装置は現段階でニコンがすべて
納入している模様。ＴＦＴアレイ用はＣＦ用に比べ高解像度が求められ、現状でキヤノンと
ニコンの２社しか供給できるメーカーはなく、受注競争を繰り広げている。第８世代向けは
１台３０億円程度するとみられる。
キヤノンは液晶露光装置事業の売り上げ規模や用途を明らかにしていないが、販売台数の
３０―４０％がＣＦ用といわれている。開発費を回収するためには今後、ＴＦＴアレイ用の
納入実績が事業収益を左右する。シャープのほかに韓国サムスン電子と同ＬＧフィリップス
ＬＣＤが０７年中の稼働に向け第８世代ラインへの投資を検討中。キヤノンはサムスンとの
関係が深く、サムスンとソニーの合弁「Ｓ―ＬＣＤ」の第７世代工場にはキヤノン製が
採用されている。８ＧもＴＦＴアレイ用の最初の受注はサムスンからの可能性が高い。
>>2に続く
▽News Source Business Line 日刊工業新聞 2006年2月22日
http://www.nikkan.co.jp/hln/nkx0120060222030bjaj.html
▽キヤノン
http://canon.jp/
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▽露光装置
半導体や液晶パネルの基板の作成などに用いられる、回路パターンなどをレーザー光で
「現像」する装置。また、その過程。フォトリソグラフィ、ステッパーとも呼ばれる。
露光装置では、「フォトレジスト」と呼ばれる感光剤を塗布したシリコンやガラスなどの基板上に、
焼き付けたいパターンを書き込んだ「マスク」(レクチル)と呼ばれる遮光材を通じレーザー光線を
照射する。一つのチップを形成するのに、多色刷り印刷のように工程ごとに分解された十数種類の
マスクが必要とされる。半導体ウェハーでは、露光したあと感光した部分を化学的に腐食(エッチング)
させ、リンなどの不純物を打ち込むことにより半導体素子を形成する。
照射に用いられるのは主に発信波長200nm程度の紫外線で、最も密なもので数十nm〜百数十nm程度の
電極パターンをエッチングすることができる。
近年では光学技術の向上によりマスクを用いることなくレーザー光線の制御により微細なエッチング
を実現することが可能な「マスクレス露光」が注目されている。これは、基板ごとに異なるパターンの
マスクを用意することがなく低コスト化が実現し、また仕様変更を柔軟に行えることが注目されている。
露光装置によるパターン作製は半導体や液晶パネルなどの基板作製とともにCD-RW、DVD-RAMなどの
相変化光記録ディスクにおける記録ピットの作製でも用いられる。CD-RW、DVD-RAMの場合、
ディスク表面にランドグルーヴ、およびウォブルと呼ばれる記録の際のトラッキングの役割を果たす
数十nm程度の溝を作製する。
▽News Source e-Word
http://e-words.jp/w/E99CB2E58589E8A385E7BDAE.html
半導体や液晶パネルの基板の作成などに用いられる、回路パターンなどをレーザー光で
「現像」する装置。また、その過程。フォトリソグラフィ、ステッパーとも呼ばれる。
露光装置では、「フォトレジスト」と呼ばれる感光剤を塗布したシリコンやガラスなどの基板上に、
焼き付けたいパターンを書き込んだ「マスク」(レクチル)と呼ばれる遮光材を通じレーザー光線を
照射する。一つのチップを形成するのに、多色刷り印刷のように工程ごとに分解された十数種類の
マスクが必要とされる。半導体ウェハーでは、露光したあと感光した部分を化学的に腐食(エッチング)
させ、リンなどの不純物を打ち込むことにより半導体素子を形成する。
照射に用いられるのは主に発信波長200nm程度の紫外線で、最も密なもので数十nm〜百数十nm程度の
電極パターンをエッチングすることができる。
近年では光学技術の向上によりマスクを用いることなくレーザー光線の制御により微細なエッチング
を実現することが可能な「マスクレス露光」が注目されている。これは、基板ごとに異なるパターンの
マスクを用意することがなく低コスト化が実現し、また仕様変更を柔軟に行えることが注目されている。
露光装置によるパターン作製は半導体や液晶パネルなどの基板作製とともにCD-RW、DVD-RAMなどの
相変化光記録ディスクにおける記録ピットの作製でも用いられる。CD-RW、DVD-RAMの場合、
ディスク表面にランドグルーヴ、およびウォブルと呼ばれる記録の際のトラッキングの役割を果たす
数十nm程度の溝を作製する。
▽News Source e-Word
http://e-words.jp/w/E99CB2E58589E8A385E7BDAE.html
3 ：名刺は切らしておりまして：2006/02/22(水) 22:16:19 ID:kwGroF1L
サムスンとかに最新の機器を納めるなよ
4 ：名刺は切らしておりまして：2006/02/22(水) 22:23:52 ID:FrqWOkuU
サムソンは第７世代が最新で、８世代の計画はいまのところ無し。
台湾メーカーが今年から７．５世代の投資を始める。
まあこんな時代
台湾メーカーが今年から７．５世代の投資を始める。
まあこんな時代
5 ：名刺は切らしておりまして：2006/02/22(水) 22:27:32 ID:a6TQmRPT
＞【ハイアマチュア】シャープ、キャノンのプリンタでパターンを貼り付け【○ンハヤト】
まで読んだ。
まで読んだ。
6 ：名刺は切らしておりまして：2006/02/22(水) 22:31:00 ID:ETcIAQIf
キャノンとニコンヵ･･･
7 ：名刺は切らしておりまして：2006/02/22(水) 22:32:17 ID:oKJERJb+
キヤノンの
新しいテレビはどうなったの？
新しいテレビはどうなったの？
8 ：名刺は切らしておりまして：2006/02/22(水) 22:35:47 ID:uroKIvyK
サムスンの7Gもキヤノンだったな
9 ：名刺は切らしておりまして：2006/02/22(水) 22:36:58 ID:UWH7EEGs
ニコンの露光装置の方が上なんだろ？
キヤノンは、6-7Gの露光装置で、三星や台湾の立上げでトラブルに
なっただろう。なんで、シャープは、ニコン使わないんだ？
キヤノンは、6-7Gの露光装置で、三星や台湾の立上げでトラブルに
なっただろう。なんで、シャープは、ニコン使わないんだ？
10 ：名刺は切らしておりまして：2006/02/22(水) 22:37:51 ID:LqmZtXuv
>キヤノンはサムスンとの 関係が深く、
キャノンお前もか！
キャノンお前もか！
11 ：名刺は切らしておりまして：2006/02/22(水) 22:38:58 ID:mq4Vc9Uu
12 ：名刺は切らしておりまして：2006/02/22(水) 22:42:30 ID:UWH7EEGs
記事をしっかり読んだら、TFTアレイ用はやはりニコンか。
精度が低くて良い、CF用をキヤノンにしているわけね。
精度が低くて良い、CF用をキヤノンにしているわけね。
13 ：名刺は切らしておりまして：2006/02/22(水) 22:46:40 ID:8/xH7p0g
電話ごときに「世代」なんてバカみたい。
最終的には、人類も我々と同じテレパシーを手に入れるのだろうか？
最終的には、人類も我々と同じテレパシーを手に入れるのだろうか？
14 ：名刺は切らしておりまして：2006/02/22(水) 23:48:20 ID:7xSmKMsi
ガンキヤノン
15 ：名刺は切らしておりまして：2006/02/23(木) 01:14:31 ID:ZHozfQ2V
韓国には売却しない見通し
16 ：名刺は切らしておりまして：2006/02/23(木) 01:19:44 ID:papOlElt
いや普通にサムスンにも売るでしょ
ただでさえ不具合を出した借りもあるし、何よりお得意様
ただでさえ不具合を出した借りもあるし、何よりお得意様
17 ：名刺は切らしておりまして：2006/02/23(木) 01:33:46 ID:5hkgPqIM
サムスンは9Gも10Gも予定してるしな。
後はパネルメーカー同士チキンレースしてもらった方が
装置メーカーは儲けるチャンスがあるだろう
後はパネルメーカー同士チキンレースしてもらった方が
装置メーカーは儲けるチャンスがあるだろう
18 ：名刺は切らしておりまして：2006/02/23(木) 11:22:32 ID:vpG4c+3I
19 ：REI KAI TSUSHIN：2006/02/23(木) 11:29:04 ID:lLK9AaFQ
1台納品しただけで大げさだな。
この方式はCanon自身も認める古い技術方式で、発展性・将来性が期待できない
最終バージョンみたいなものです。
この方式はCanon自身も認める古い技術方式で、発展性・将来性が期待できない
最終バージョンみたいなものです。
20 ：REI KAI TSUSHIN：2006/02/23(木) 11:57:20 ID:lLK9AaFQ
ここで面白いことに気づくと思うのだがCanonは上層部の仲が悪い。
【自社製品を使っていない。】
せっかく宇都宮で液晶露光装置や半導体露光装置を製造しても、
平塚の半導体事業部は買ってくれない。
【事業部を越え 一括した部品調達ができない。】
宇都宮のカメラ事業部が調達した半導体部分を
取手・阿見のコピー・LBP・IJPの事業部が使いたいから
まわしてくれと言っても。
『せっかく苦労して安く調達したのに。
何故お前の所に部品を供給する必要があるんだ？』となる。
【自社製品を使っていない。】
せっかく宇都宮で液晶露光装置や半導体露光装置を製造しても、
平塚の半導体事業部は買ってくれない。
【事業部を越え 一括した部品調達ができない。】
宇都宮のカメラ事業部が調達した半導体部分を
取手・阿見のコピー・LBP・IJPの事業部が使いたいから
まわしてくれと言っても。
『せっかく苦労して安く調達したのに。
何故お前の所に部品を供給する必要があるんだ？』となる。
21 ：名刺は切らしておりまして：2006/02/23(木) 11:59:02 ID:yFMfASXT
なに、キヤノンとキヤノン販売でガンキャノンじゃなかったのか
22 ：名刺は切らしておりまして：2006/02/23(木) 12:02:57 ID:asPFM0OE
>>20
単純な考え方ができる方はうらやましいです。
単純な考え方ができる方はうらやましいです。
23 ：名刺は切らしておりまして：
大阪弁で話してると、他人からは絶対に喧嘩してると思われるが
当事者はまったく普通といった様子なわけですね